期刊文献+
共找到5篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
基于数字微镜的无掩模数字光刻系统的研制
1
作者 陈劲松 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第6期856-858,862,共4页
研究了一种基于数字微镜的无掩模光刻系统。利用数字微镜输出的高精度数字掩模,结合高质量的高倍精缩投影光学系统,理论上完全可实现亚微米级衍射微光学元件的制作。该文从照明系统、数字微镜芯片、精缩物镜设计等方面进行了系统总体设... 研究了一种基于数字微镜的无掩模光刻系统。利用数字微镜输出的高精度数字掩模,结合高质量的高倍精缩投影光学系统,理论上完全可实现亚微米级衍射微光学元件的制作。该文从照明系统、数字微镜芯片、精缩物镜设计等方面进行了系统总体设计。利用该系统成功制作了5×5达曼光栅、8台阶闪耀光栅和8台阶菲涅耳透镜,进一步论证了该系统的可行性。 展开更多
关键词 数字微镜 灰度掩模 数字光刻
在线阅读 下载PDF
基于谱分解技术的两通道因果稳定IIR滤波器组的设计(英文)
2
作者 殷仕淑 高玲 于帅珍 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期27-33,共7页
提出一种新的两通道因果稳定IIR滤波器组的设计方法.首先基于所定义的一种余弦滚降IIR滤波器,两通道滤波器组所要求的平坦条件完全被满足;其次该方法是依赖于分析滤波器的功率谱特性,而不是该滤波器的幅度频率特性来设计滤波器组.IIR滤... 提出一种新的两通道因果稳定IIR滤波器组的设计方法.首先基于所定义的一种余弦滚降IIR滤波器,两通道滤波器组所要求的平坦条件完全被满足;其次该方法是依赖于分析滤波器的功率谱特性,而不是该滤波器的幅度频率特性来设计滤波器组.IIR滤波器的设计问题可转化成一个准凸问题,采用凸优化算法来求解;然后对所得优化解进行谱分解,得到目标滤波器组.该滤波器组具有合理的完全重构误差,并且其多相因子的分母相同,简化了完全重构条件.采用该滤波器组作为约束非线性优化法的有效初值,进一步优化得到完全重构2通道IIR滤波器组. 展开更多
关键词 因果稳定的IIR滤波器 余弦滚降 滤波器组 近似完全重构和完全重构 谱分解
在线阅读 下载PDF
基于余弦滚降特性的IIR余弦调制滤波器组的设计(英文)
3
作者 殷仕淑 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期95-100,共6页
提出一种新的近似完全重构因果稳定的IIR余弦调制滤波器组的设计方法.基于所定义的一种IIR余弦滚降原型滤波器,滤波器组所要求的平坦条件完全被满足.在预先给定极点值的条件下,滤波器组的设计问题可以写成一个凸极大极小优化问题,从而... 提出一种新的近似完全重构因果稳定的IIR余弦调制滤波器组的设计方法.基于所定义的一种IIR余弦滚降原型滤波器,滤波器组所要求的平坦条件完全被满足.在预先给定极点值的条件下,滤波器组的设计问题可以写成一个凸极大极小优化问题,从而采用二阶锥规划法求解.求出的滤波器组具有合理的完全重构误差,且原型滤波器的多相因子的分母相同,简化了完全重构条件.采用该滤波器组作为约束非线性优化法的有效初值,进一步优化得到完全重构IIR余弦滤波器组. 展开更多
关键词 因果稳定的IIR滤波器 余弦调制滤波器组 余弦滚降 近似完全重构
在线阅读 下载PDF
数字掩模灰度细分技术研究
4
作者 陈劲松 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期569-572,共4页
数字掩模技术是一种很有发展前途的衍射微光学元件制作技术。实际制作时,由于感光材料具有感光非线性,实际可利用的灰度数目将小于256。即使256级灰度全部可用,也无法实现曝光量的精细控制以达到一般的加工要求。文中提出了2种灰度细分... 数字掩模技术是一种很有发展前途的衍射微光学元件制作技术。实际制作时,由于感光材料具有感光非线性,实际可利用的灰度数目将小于256。即使256级灰度全部可用,也无法实现曝光量的精细控制以达到一般的加工要求。文中提出了2种灰度细分的方法,即多SLM组合调制和彩色等效灰度技术。从理论上分析了2种方法均能实现灰度的细分,从而达到曝光量的精细控制。 展开更多
关键词 数字掩模 空间光调制器 灰度细分
在线阅读 下载PDF
近似完全重构IIR余弦调制滤波器组的优化设计
5
作者 殷仕淑 《现代电子技术》 2010年第15期117-120,共4页
提出一种新的近似完全重构因果稳定的IIR余弦调制滤波器组的设计方法。基于预先给定的极点值,IIR原型滤波器的设计问题可以简化成一个凸极大值极小化的优化问题,从而采用二阶锥规划法求解。所得余弦调制滤波器组具有良好的频率特性和合... 提出一种新的近似完全重构因果稳定的IIR余弦调制滤波器组的设计方法。基于预先给定的极点值,IIR原型滤波器的设计问题可以简化成一个凸极大值极小化的优化问题,从而采用二阶锥规划法求解。所得余弦调制滤波器组具有良好的频率特性和合理的完全重构误差。所设计的原型滤波器是因果稳定的,并且其多相因子分母相同,简化了完全重构条件,可以用来进一步优化得到的完全重构系统。 展开更多
关键词 因果稳定的IIR滤波器 余弦调制滤波器组 近似完全重构 二阶锥规划法
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部