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热等静压工艺对Yb:YAG复合激光晶体性能影响
被引量：
1
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作者
陈照
刘文鹏
+8 位作者
孙彧
蒋金宏
高进云
王小飞
孙贵花
窦仁勤
张德明
罗建乔
张庆礼
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第11期92-103,共12页
由于施压不均匀、升温时温场分布不均匀等因素,键合晶体键合面上会产生气泡、孔洞、裂纹等缺陷。将热等静压技术与热键合技术结合,控制热等静压参数,可减少或消除键合晶体烧结后的内部缺陷。对键合晶体在不同温度、压强、恒温时间进行...
由于施压不均匀、升温时温场分布不均匀等因素,键合晶体键合面上会产生气泡、孔洞、裂纹等缺陷。将热等静压技术与热键合技术结合,控制热等静压参数,可减少或消除键合晶体烧结后的内部缺陷。对键合晶体在不同温度、压强、恒温时间进行热等静压实验,并通过弯曲强度、维氏硬度、透过光谱和光学均匀性测试对热等静压后的元件进行表征。借助金相显微镜观察键合晶体内部孔隙消除与缺陷的闭合情况,通过分析颗粒间应力变化,研究了热等静压工艺缺陷减少或消除机理。实验结果表明,热等静压后键合晶体元件键合面上的气泡与缺陷大幅度降低,弯曲强度较热等静压前提升185.29%,维氏硬度提升16.14%,透过率和光学均匀性明显提高。
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关键词
热键合
热等静压
复合激光晶体
YB:YAG
透过光谱
弯曲强度
光学均匀性
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职称材料
题名
热等静压工艺对Yb:YAG复合激光晶体性能影响
被引量：
1
1
作者
陈照
刘文鹏
孙彧
蒋金宏
高进云
王小飞
孙贵花
窦仁勤
张德明
罗建乔
张庆礼
机构
中国科学院合肥物质科学研究院
安徽
光学精密机械研究所
安徽省
光子器件与材料
重点
实验室
中国科学
技术
大学
安徽省先进激光技术重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第11期92-103,共12页
基金
安徽省科技重大专项(No.202203a05020002)
国家自然科学基金(No.52272011)
+1 种基金
国家重点研究发展计划(Nos.2022YFB3605703,2023YFB3507403)
中国科学院青年创新促进会(No.2023463)。
文摘
由于施压不均匀、升温时温场分布不均匀等因素,键合晶体键合面上会产生气泡、孔洞、裂纹等缺陷。将热等静压技术与热键合技术结合,控制热等静压参数,可减少或消除键合晶体烧结后的内部缺陷。对键合晶体在不同温度、压强、恒温时间进行热等静压实验,并通过弯曲强度、维氏硬度、透过光谱和光学均匀性测试对热等静压后的元件进行表征。借助金相显微镜观察键合晶体内部孔隙消除与缺陷的闭合情况,通过分析颗粒间应力变化,研究了热等静压工艺缺陷减少或消除机理。实验结果表明,热等静压后键合晶体元件键合面上的气泡与缺陷大幅度降低,弯曲强度较热等静压前提升185.29%,维氏硬度提升16.14%,透过率和光学均匀性明显提高。
关键词
热键合
热等静压
复合激光晶体
YB:YAG
透过光谱
弯曲强度
光学均匀性
Keywords
Thermal bonding
Hot isostatic pressure
Composite laser crystal
Yb∶YAG
Transmission spectrum
Bending strength
Optical uniformity
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
热等静压工艺对Yb:YAG复合激光晶体性能影响
陈照
刘文鹏
孙彧
蒋金宏
高进云
王小飞
孙贵花
窦仁勤
张德明
罗建乔
张庆礼
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
1
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