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题名基于蒙特卡罗方法的低温冷阱流导、抽速仿真计算
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作者
陆广宝
杨杨
武义锋
曾环
王君
邓家良
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机构
安徽万瑞冷电科技有限公司
安徽省低温与真空工程研究中心
中国电子科技集团公司第十六研究所
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出处
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第6期484-489,共6页
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文摘
随着半导体工艺的快速发展,对分子泵的抽气性能,特别是抽离水汽的能力提出了更高的需求,这使得搭配分子泵使用的组合型低温冷阱被广泛应用。氮气流导和水汽抽速是衡量低温冷阱性能的关键参数,与其内部冷凝板形状息息相关。水汽抽速因水分子的强吸附性使得通过实验测量变得极为困难。文章通过蒙特卡罗方法系统地研究了冷凝板大小、冷凝板折边对低温冷阱的氮气流导和水汽抽速性能影响。另外根据模拟结果研发设计了一款低温冷阱EWP200N,并且搭建了一套流导测试平台验证了EWP200N的氮气流导。结果表明,该款低温冷阱的氮气流导为2140 L/s,这与模拟结果2023 L/s非常吻合,证明此模拟计算方法准确性较高,可以定量评估低温冷阱的氮气流导和水汽抽速,具有较高的工程参考价值。
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关键词
低温冷阱
水汽抽速
氮气流导
蒙特卡罗方法
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Keywords
Cold trap
Water vapor pumping speed
Nitrogen conductivity
Monte Carlo method
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分类号
TB752.53
[一般工业技术—真空技术]
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