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纳米三坐标测量机误差分离方法
被引量：
1
1
作者
杨洪涛
费业泰
陈晓怀
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期140-143,共4页
根据纳米三坐标测量机结构、误差分布特征和精度要求,选用微型三光束平面激光干涉仪分离测量机误差。设计了误差分离装置,实现了干涉仪平移、偏摆、俯仰和垂直高度的调整以及反射镜垂直角度的精密调整。从原理上分析了45°反射镜光...
根据纳米三坐标测量机结构、误差分布特征和精度要求,选用微型三光束平面激光干涉仪分离测量机误差。设计了误差分离装置,实现了干涉仪平移、偏摆、俯仰和垂直高度的调整以及反射镜垂直角度的精密调整。从原理上分析了45°反射镜光路转折对干涉仪测量结果的影响,实验结果证实了该装置可以实现标准量示值误差、导轨直线度线值误差和俯仰、偏摆、滚转误差的一次性分离,减小传统仪器分离方法由于发热、振动和非实时测量带来的附加误差,误差修正精度可以提高5倍。
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关键词
纳米三坐标测量机
误差分离装置
设计
试验
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职称材料
题名
纳米三坐标测量机误差分离方法
被引量：
1
1
作者
杨洪涛
费业泰
陈晓怀
机构
安徽理工大学机械工程学院副教授、博士
合肥工业
大学
仪器科学与光电
工程
学院
出处
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期140-143,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(项目编号:50420120134)
文摘
根据纳米三坐标测量机结构、误差分布特征和精度要求,选用微型三光束平面激光干涉仪分离测量机误差。设计了误差分离装置,实现了干涉仪平移、偏摆、俯仰和垂直高度的调整以及反射镜垂直角度的精密调整。从原理上分析了45°反射镜光路转折对干涉仪测量结果的影响,实验结果证实了该装置可以实现标准量示值误差、导轨直线度线值误差和俯仰、偏摆、滚转误差的一次性分离,减小传统仪器分离方法由于发热、振动和非实时测量带来的附加误差,误差修正精度可以提高5倍。
关键词
纳米三坐标测量机
误差分离装置
设计
试验
Keywords
Nano-CMM, Error separating device, Design, Experiment
分类号
TH721.1 [机械工程—精密仪器及机械]
TH161.5 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
纳米三坐标测量机误差分离方法
杨洪涛
费业泰
陈晓怀
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
1
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