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微小等离子体反应器的制作及性能测试
被引量：
3
1
作者
王海
夏小品
周荣荻
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期811-817,共7页
设计了基于并行探针驱动的扫描刻蚀加工系统,用于微纳米尺度的刻蚀加工。研究了系统的核心器件-微小等离子体反应器的电学特性和发射光谱特性,以了解反应器中产生的反应等离子体性能的变化规律。基于微机电系统(MEMS)加工工艺制备了中...
设计了基于并行探针驱动的扫描刻蚀加工系统,用于微纳米尺度的刻蚀加工。研究了系统的核心器件-微小等离子体反应器的电学特性和发射光谱特性,以了解反应器中产生的反应等离子体性能的变化规律。基于微机电系统(MEMS)加工工艺制备了中间带有倒金字塔形状微型空腔的金属-绝缘体-金属3层结构的微小等离子体反应器。搭建了可测量等离子体伏安特性和发射光谱特性的实验系统,对放电气体为SF6,工作气压在5～12kPa,直流驱动模式下的微小等离子体反应器的电学和光谱特性进行了测试。实验结果表明,放电电流随着放电电压的增加而近似线性递增,放电电流由5kPa时的2.1～2.82μA递增到12kPa时的3.6～4.2μA,表明所产生的微小等离子体处于异常辉光放电模态。当器件特征尺寸由150μm减小至30μm时,微小等离子体发射光谱中氟原子特征谱线(703.7nm)峰值增大了约56%,表明微小等离子体的浓度随尺度缩小而增强。实验结果表明,设计的微小等离子体反应器基本满足扫描刻蚀加工所需的高浓度等离子体源的性能要求。
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关键词
微小等离子体反应器
扫描刻蚀加工
伏安特性
发射光谱
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职称材料
题名
微小等离子体反应器的制作及性能测试
被引量：
3
1
作者
王海
夏小品
周荣荻
机构
安徽工程大学机械与汽车工程学院安徽省先进数控及伺服技术重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期811-817,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.50605061)
安徽高校省级科学研究项目资助项目(No.KJ2012A033)
安徽工程大学科研启动基金资助项目(No.2006yqq001)
文摘
设计了基于并行探针驱动的扫描刻蚀加工系统,用于微纳米尺度的刻蚀加工。研究了系统的核心器件-微小等离子体反应器的电学特性和发射光谱特性,以了解反应器中产生的反应等离子体性能的变化规律。基于微机电系统(MEMS)加工工艺制备了中间带有倒金字塔形状微型空腔的金属-绝缘体-金属3层结构的微小等离子体反应器。搭建了可测量等离子体伏安特性和发射光谱特性的实验系统,对放电气体为SF6,工作气压在5～12kPa,直流驱动模式下的微小等离子体反应器的电学和光谱特性进行了测试。实验结果表明,放电电流随着放电电压的增加而近似线性递增,放电电流由5kPa时的2.1～2.82μA递增到12kPa时的3.6～4.2μA,表明所产生的微小等离子体处于异常辉光放电模态。当器件特征尺寸由150μm减小至30μm时,微小等离子体发射光谱中氟原子特征谱线(703.7nm)峰值增大了约56%,表明微小等离子体的浓度随尺度缩小而增强。实验结果表明,设计的微小等离子体反应器基本满足扫描刻蚀加工所需的高浓度等离子体源的性能要求。
关键词
微小等离子体反应器
扫描刻蚀加工
伏安特性
发射光谱
Keywords
microplasma reactor
scanning plasma etching
V-I curve
emission spectrum
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
TN136 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微小等离子体反应器的制作及性能测试
王海
夏小品
周荣荻
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
3
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职称材料
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