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一种高精度微量气体泄漏检测仪的设计与研究 被引量:17
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作者 唐月生 伍先达 +2 位作者 李锋 万莅新 邢武 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第z3期59-62,共4页
密封器件气密性检测是一项重要的安全检测之一 ,这里采用微差压原理 ,利用高精度差压传感器、精密对称气路和单片机测控系统组成测试装置 ,实现了对一定容积和压力下密封器件气密性的高精度检测。介绍了该检测仪的工作原理、硬件软件结... 密封器件气密性检测是一项重要的安全检测之一 ,这里采用微差压原理 ,利用高精度差压传感器、精密对称气路和单片机测控系统组成测试装置 ,实现了对一定容积和压力下密封器件气密性的高精度检测。介绍了该检测仪的工作原理、硬件软件结构和系统性能。 展开更多
关键词 微差压原理 高精度 传感器 气体泄漏检测仪
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