基于深度学习算法的G-M制冷机低温泵冷头故障诊断研究

1

作者 彭刚 王玉青 +5 位作者 王辉 朱剑豪 王旭迪 何智 武义锋 邓家良 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第5期408-413,共6页

G-M制冷机低温泵是一种广泛应用于半导体制造等领域的重要设备,对超高真空的获得与维持至关重要。由于其长期连续运行,容易引发机械磨损等故障,导致制冷能力和抽气特性下降。因此,开展有效的故障诊断显得尤为关键,文章提出一种改进型遗... G-M制冷机低温泵是一种广泛应用于半导体制造等领域的重要设备,对超高真空的获得与维持至关重要。由于其长期连续运行,容易引发机械磨损等故障,导致制冷能力和抽气特性下降。因此,开展有效的故障诊断显得尤为关键,文章提出一种改进型遗传算法与反向传播神经网络的故障诊断方法,克服了传统反向传播神经网络依赖初始权重与阈值设置、优化效率低的问题。研究结果表明,该方法在故障诊断中的准确率达98.05%。为低温泵健康监测与故障预警提供了科学依据。 展开更多

关键词 G-M制冷机低温泵 故障诊断 深度学习 遗传算法

在线阅读 下载PDF 职称材料

水热-还原法制备纯净硫氧化钆粉末及其工艺调控

2

作者 李响 罗时峰 +5 位作者 王楠 林国建 王衍 杨新宇 邓家良 张久兴 《功能材料》 北大核心 2025年第3期3188-3193,共6页

采用正交实验法,系统研究了S/Gd原子比、还原温度和还原时间对水热-还原制备的硫氧化钆(Gd_(2)O_(2)S)粉末纯净度的影响。XRD分析结果表明,当S/Gd原子比为0.7或还原时间为32 h时,还原产物中包含Gd_(2)O_(2)S和Gd_(2)O_(3)两相,所得产物... 采用正交实验法,系统研究了S/Gd原子比、还原温度和还原时间对水热-还原制备的硫氧化钆(Gd_(2)O_(2)S)粉末纯净度的影响。XRD分析结果表明,当S/Gd原子比为0.7或还原时间为32 h时,还原产物中包含Gd_(2)O_(2)S和Gd_(2)O_(3)两相,所得产物的纯净度不高。当增大S/Gd原子比和降低还原时间时,所得还原产物仅含有Gd_(2)O_(2)S单相,纯净度较高。正交实验分析结果表明,还原时间对Gd_(2)O_(2)S粉末的纯净度影响最大,S/Gd原子比次之,还原温度的影响最小。最佳的水热-还原制备纯净Gd_(2)O_(2)S粉末的工艺参数为:S/Gd原子比0.9,还原温度为725℃,还原时间为24 h。 展开更多

关键词 正交实验 硫氧化钆 水热-还原法 S/Gd原子比 还原温度 还原时间

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于蒙特卡罗方法的低温冷阱流导、抽速仿真计算

3

作者 陆广宝 杨杨 +3 位作者 武义锋 曾环 王君 邓家良 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第6期484-489,共6页

随着半导体工艺的快速发展,对分子泵的抽气性能,特别是抽离水汽的能力提出了更高的需求,这使得搭配分子泵使用的组合型低温冷阱被广泛应用。氮气流导和水汽抽速是衡量低温冷阱性能的关键参数,与其内部冷凝板形状息息相关。水汽抽速因水... 随着半导体工艺的快速发展,对分子泵的抽气性能,特别是抽离水汽的能力提出了更高的需求,这使得搭配分子泵使用的组合型低温冷阱被广泛应用。氮气流导和水汽抽速是衡量低温冷阱性能的关键参数,与其内部冷凝板形状息息相关。水汽抽速因水分子的强吸附性使得通过实验测量变得极为困难。文章通过蒙特卡罗方法系统地研究了冷凝板大小、冷凝板折边对低温冷阱的氮气流导和水汽抽速性能影响。另外根据模拟结果研发设计了一款低温冷阱EWP200N,并且搭建了一套流导测试平台验证了EWP200N的氮气流导。结果表明,该款低温冷阱的氮气流导为2140 L/s,这与模拟结果2023 L/s非常吻合,证明此模拟计算方法准确性较高,可以定量评估低温冷阱的氮气流导和水汽抽速,具有较高的工程参考价值。 展开更多

关键词 低温冷阱 水汽抽速 氮气流导 蒙特卡罗方法

在线阅读 下载PDF 职称材料

6W隔离反激式AC/DC电源设计 被引量：2

4

作者 冯欣宇 黄阿娟 《现代电子技术》 北大核心 2015年第16期152-155,共4页

介绍了基于UCC28910的5V／1．2A隔离反激式开关电源。电路结构简单，所需外部元件较少，有效减少了电路板占用面积。电源可实现AC85-265V宽电压输入，在无需光耦合器的情况下实现恒定电压与恒定电流输出。具有700V高压启动和小于30mw待... 介绍了基于UCC28910的5V／1．2A隔离反激式开关电源。电路结构简单，所需外部元件较少，有效减少了电路板占用面积。电源可实现AC85-265V宽电压输入，在无需光耦合器的情况下实现恒定电压与恒定电流输出。具有700V高压启动和小于30mw待机功耗的特点。采用DCM模式减少开关损耗，符合EnergyStarEPS2．0标准。 展开更多

关键词 反激式开关电源 UCC28910 AC/DC电源 高压启动

在线阅读 下载PDF 职称材料

一种新型大抽速CP1250Xe复合低温泵

5

作者 王君 杨杨 +2 位作者 曾环 邓家良 陆广宝 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第4期267-271,共5页

文章成功设计了一种新型大抽速CP1250Xe复合低温泵,通过结构优化显著提高了Xe抽速,并能够有效抽除N_(2)、H_(2)等常规气体。实验结果表明,该低温泵的Xe抽速高达65000 L/s,对N_(2)和H_(2)的抽速也分别达到了60000 L/s,抽氢容量为150 L。... 文章成功设计了一种新型大抽速CP1250Xe复合低温泵,通过结构优化显著提高了Xe抽速,并能够有效抽除N_(2)、H_(2)等常规气体。实验结果表明,该低温泵的Xe抽速高达65000 L/s,对N_(2)和H_(2)的抽速也分别达到了60000 L/s,抽氢容量为150 L。这些成果证实了新型大抽速CP1250Xe复合低温泵在提升氙气抽速方面的显著优势,解决了传统低温泵Xe抽速无法达到理想抽速的问题,同时具备常规气体的抽气能力,为真空获得提供了强有力的技术支持。 展开更多

关键词 低温泵 抽氙速度 真空获得

在线阅读 下载PDF 职称材料

一种低温现场红外光谱电化学池的制作和表征

6

作者 龚岳 范慧 +2 位作者 张海峰 章学华 金葆康 《安徽大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2014年第2期74-79,共6页

介绍一种自主设计的低温现场红外光谱电化学池,可用于常温下(水)体系以及低温下非水(乙腈)体系的光谱电化学实验.利用循环伏安法、现场红外光谱电化学法、循环伏吸法及导数循环伏吸法对该低温电化学池进行相关表征.对苯醌的低温现场红... 介绍一种自主设计的低温现场红外光谱电化学池,可用于常温下(水)体系以及低温下非水(乙腈)体系的光谱电化学实验.利用循环伏安法、现场红外光谱电化学法、循环伏吸法及导数循环伏吸法对该低温电化学池进行相关表征.对苯醌的低温现场红外光谱电化学实验结果表明,该电化学池性能良好,可以用于低温电化学、光谱电化学研究. 展开更多

关键词 低温现场红外光谱电化学池 循环伏安法 循环伏吸法 对苯醌

在线阅读 下载PDF 职称材料

高温红外光谱电化学薄层池的制作与表征

7

作者 朱云 洪亮 金葆康 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期107-113,共7页

为了拓宽光谱电化学研究范围,开展高温下电化学反应过程,本文研制了一种高温红外光谱电化学薄层池(HTC)。研制的HTC清洗方便,操作简单,适用于水体系和有机体系。该HTC可在室温至373 K(根据溶剂沸点,控温精度为±0. 5 K)温度范围内使... 为了拓宽光谱电化学研究范围,开展高温下电化学反应过程,本文研制了一种高温红外光谱电化学薄层池(HTC)。研制的HTC清洗方便,操作简单,适用于水体系和有机体系。该HTC可在室温至373 K(根据溶剂沸点,控温精度为±0. 5 K)温度范围内使用,具有良好的电化学性能,红外光谱采集谱图清晰信噪比好。利用铁氰化钾水溶液和对苯醌离子液体溶液的红外光谱电化学行为对HTC进行了表征,得到较满意的结果。 展开更多

关键词 高温红外电化学池 离子液体 对苯醌 铁氰化钾 红外光谱电化学

在线阅读 下载PDF 职称材料

传导冷却型低温超导磁体系统的设计与实验 被引量：17

8

作者 张海峰 叶海峰 +2 位作者 章学华 丁怀况 武义锋 《低温工程》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期28-32,共5页

采用4.2 K级小型低温制冷机作为冷源,可以将低温超导磁体冷却至5 K以下,使得超导磁体处在临界温度以下,从而实现无电阻运行。采用传导冷却的形式冷却超导磁体,具有系统结构简单等优点。讲述了一套采用单台1.5 W@4.2 K的制冷机作为冷源... 采用4.2 K级小型低温制冷机作为冷源,可以将低温超导磁体冷却至5 K以下,使得超导磁体处在临界温度以下,从而实现无电阻运行。采用传导冷却的形式冷却超导磁体,具有系统结构简单等优点。讲述了一套采用单台1.5 W@4.2 K的制冷机作为冷源的低温超导磁体系统,其中超导磁体由三组线圈对组成,使用Nb Ti线绕制。系统自常温开机运行,约60 h后,超导磁体降温至4K,进入超导状态,可进行加电实验。当电流加载至70 A后,中心磁场强度达到4.26 T,达到设计要求。 展开更多

关键词 低温超导磁体 传导冷却 G-M制冷机

在线阅读 下载PDF 职称材料

冷热气流冲击实验装置自动复叠制冷系统设计研究 被引量：3

9

作者 王铁军 高才 +1 位作者 毛雪东 章学华 《制冷学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期46-49,共4页

冷热气流冲击实验装置是一种用于对机械和电子产品进行高低温交变冲击检验的实验设备,冷源系统是其重要的组成之一。采用具有精馏装置的自动复叠制冷循环,选用二元非共沸混合工质R22/R23作为制冷剂,进行了制冷系统及其关键部件(精馏装置... 冷热气流冲击实验装置是一种用于对机械和电子产品进行高低温交变冲击检验的实验设备,冷源系统是其重要的组成之一。采用具有精馏装置的自动复叠制冷循环,选用二元非共沸混合工质R22/R23作为制冷剂,进行了制冷系统及其关键部件(精馏装置等)的研制及混合工质R22/R23的不同配比和不同分馏操作工艺参数的探究。通过对实验样机工作过程主要热力参数的实验研究和调试,冷源系统输出的冷气达到了高低温冲击实验的技术要求。 展开更多

关键词 热工学 制冷系统 设计研究 自动复叠 冷热气流冲击实验装置

在线阅读 下载PDF 职称材料

低温技术在太空监测领域的应用 被引量：2

10

作者 许令顺 张华标 +1 位作者 武义锋 仰叶 《低温工程》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期52-57,共6页

随着低温技术的发展,制冷机的各方面工作性能显著改进,低温技术在航天领域得到了广泛应用。介绍了低温技术在国外太空监测卫星中的应用情况,分析其发展趋势。对太空监测所需要不同温度区间的制冷方法进行了总结,最后以国外执行监测任务... 随着低温技术的发展,制冷机的各方面工作性能显著改进,低温技术在航天领域得到了广泛应用。介绍了低温技术在国外太空监测卫星中的应用情况,分析其发展趋势。对太空监测所需要不同温度区间的制冷方法进行了总结,最后以国外执行监测任务卫星上的制冷系统为例说明制冷系统设计过程。 展开更多

关键词 低温 太空监测 卫星 绝热去磁制冷 稀释制冷

在线阅读 下载PDF 职称材料

几种不同铜表面发黑技术的对比 被引量：1

11

作者 许令顺 李勇 +1 位作者 徐中堂 武义锋 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期75-79,共5页

金属表面发黑处理可以提高金属的抗腐蚀、耐磨等性能,可以根据具体的使用场合选择发黑方法,以1.5mm厚的紫铜合金片为样品,分别采用化学腐蚀法、热喷涂法和直接喷漆法3种不同的发黑技术对其表面进行处理。通过扫描电子显微镜、纳米压痕... 金属表面发黑处理可以提高金属的抗腐蚀、耐磨等性能,可以根据具体的使用场合选择发黑方法,以1.5mm厚的紫铜合金片为样品,分别采用化学腐蚀法、热喷涂法和直接喷漆法3种不同的发黑技术对其表面进行处理。通过扫描电子显微镜、纳米压痕仪和紫外可见分光光度计对其表面形貌、薄膜与基底结合强度曲线和吸附光进行了表征。结果表明:通过化学法发黑处理的表面覆盖了一层粉末状的固体小颗粒,表面比较平整疏松;而通过直接喷漆的表面覆盖了一层不规整的薄膜,同时还可以看到片状的不规则物质散落在膜的表面;用热喷涂法处理的表面比较粗糙和致密,性能最稳定。薄膜与基底的结合强度曲线表明采用热喷涂法获得的薄膜与基底的结合力最大。这3种不同表面对可见光的吸光度中,喷漆处理的表面吸光率最高。 展开更多

关键词 铜 发黑 热喷涂 化学腐蚀

在线阅读 下载PDF 职称材料