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催化剂对制备SiO_2减反膜的影响
被引量:
6
1
作者
靳瑞敏
肖东岳
+3 位作者
苍利民
阎韬
徐建军
韩香菊
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第S1期72-74,共3页
以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,乙醇为溶剂,NH3.H20和HCl为催化剂,采用溶胶-凝胶技术,通过调节催化剂控制SiO2纳米颗粒尺度,然后在玻璃上用旋涂法镀膜并对其进行热处理,制备低折射率SiO2减反膜.分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜...
以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,乙醇为溶剂,NH3.H20和HCl为催化剂,采用溶胶-凝胶技术,通过调节催化剂控制SiO2纳米颗粒尺度,然后在玻璃上用旋涂法镀膜并对其进行热处理,制备低折射率SiO2减反膜.分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜的结构、物性进行研究,研究不同性质和剂量的催化剂对薄膜结构、折射率的影响.结果表明:通过控制适量的碱酸催化剂可以制备出低折射率多孔结构的SiO2太阳电池减反膜.
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关键词
溶胶-凝胶
SiO2减反膜
催化剂
薄膜结构
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职称材料
PVA对SiO_2减反膜表面结构的影响
被引量:
1
2
作者
靳瑞敏
蔡志端
+3 位作者
苍利民
阎韬
徐建军
栗书增
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第7期105-106,共2页
以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,乙醇为溶剂,NH3.H2O为催化剂,采用溶胶-凝胶技术,加入PVA(聚乙烯醇)添加剂,在玻璃上用旋涂法制备减反膜,并对其进行热处理;分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜的结构、物性进行研究,研究PVA添加剂对...
以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,乙醇为溶剂,NH3.H2O为催化剂,采用溶胶-凝胶技术,加入PVA(聚乙烯醇)添加剂,在玻璃上用旋涂法制备减反膜,并对其进行热处理;分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜的结构、物性进行研究,研究PVA添加剂对减反膜结构、折射率的影响。结果表明:适量的PVA添加剂可以控制SiO2太阳电池减反膜的开裂。
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关键词
溶胶-凝胶
SiO2减反膜
PVA添加剂
薄膜结构
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职称材料
多晶硅薄膜结晶团晶化机理的研究
3
作者
靳瑞敏
蔡志端
+3 位作者
苍利民
阎韬
徐建军
栗书增
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期278-281,共4页
本文用PECVD法在石英玻璃上沉积非晶硅薄膜,然后用快速光退火和传统电阻炉退火方法晶化生长多晶硅薄膜,用拉曼光谱仪、XRD和场发射扫描电镜观察分析薄膜,发现在制备的多晶硅薄膜表面存在结晶团现象,并对这一现象的晶化机理进行了分析。
关键词
非晶硅薄膜
二次晶化
多晶硅薄膜
结晶团现象
晶化机理
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职称材料
光和传统热固化对SiO_2减反膜影响的对比
4
作者
靳瑞敏
蔡志端
+3 位作者
苍利民
阎韬
徐建军
栗书增
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期461-463,共3页
以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,采用溶胶-凝胶技术,通过调节添加剂控制溶胶溶液性能,然后分别用光固化和传统电阻炉固化两种不同的热处理方案,制备出低折射率SiO2光学减反薄膜。分别采用椭偏仪、扫描电镜等对所制备薄膜的结构、物性进...
以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,采用溶胶-凝胶技术,通过调节添加剂控制溶胶溶液性能,然后分别用光固化和传统电阻炉固化两种不同的热处理方案,制备出低折射率SiO2光学减反薄膜。分别采用椭偏仪、扫描电镜等对所制备薄膜的结构、物性进行研究。研究结果表明:光固化比传统电阻炉固化减反膜折射率低。
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关键词
溶胶-凝胶SiO2薄膜
光固化
传统电阻炉固化
表面结构
折射率
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职称材料
题名
催化剂对制备SiO_2减反膜的影响
被引量:
6
1
作者
靳瑞敏
肖东岳
苍利民
阎韬
徐建军
韩香菊
机构
南阳理工学院太阳能电池研究所
安彩高科股份有限公司博士后工作站
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第S1期72-74,共3页
基金
国家高技术产业计划项目(No.发改办高技072490)
河南省基础与前沿基础研究项目(No.072300410310)资助
文摘
以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,乙醇为溶剂,NH3.H20和HCl为催化剂,采用溶胶-凝胶技术,通过调节催化剂控制SiO2纳米颗粒尺度,然后在玻璃上用旋涂法镀膜并对其进行热处理,制备低折射率SiO2减反膜.分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜的结构、物性进行研究,研究不同性质和剂量的催化剂对薄膜结构、折射率的影响.结果表明:通过控制适量的碱酸催化剂可以制备出低折射率多孔结构的SiO2太阳电池减反膜.
关键词
溶胶-凝胶
SiO2减反膜
催化剂
薄膜结构
Keywords
Sol-gel process
Silica film
Catalytic agent
Structure of film
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
PVA对SiO_2减反膜表面结构的影响
被引量:
1
2
作者
靳瑞敏
蔡志端
苍利民
阎韬
徐建军
栗书增
机构
南阳理工学院太阳能电池研究所
安彩高科股份有限公司博士后工作站
郑州大学材料物理工程学院
出处
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第7期105-106,共2页
基金
国家高技术产业计划项目(发改办高技072490)
河南省基础与前沿基础研究项目(072300410310)资助
文摘
以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,乙醇为溶剂,NH3.H2O为催化剂,采用溶胶-凝胶技术,加入PVA(聚乙烯醇)添加剂,在玻璃上用旋涂法制备减反膜,并对其进行热处理;分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜的结构、物性进行研究,研究PVA添加剂对减反膜结构、折射率的影响。结果表明:适量的PVA添加剂可以控制SiO2太阳电池减反膜的开裂。
关键词
溶胶-凝胶
SiO2减反膜
PVA添加剂
薄膜结构
Keywords
sol-gel process, silica film, PVA, structure of film
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
多晶硅薄膜结晶团晶化机理的研究
3
作者
靳瑞敏
蔡志端
苍利民
阎韬
徐建军
栗书增
机构
南阳理工学院太阳能电池研究所
安彩高科股份有限公司博士后工作站
郑州大学物理工程学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期278-281,共4页
文摘
本文用PECVD法在石英玻璃上沉积非晶硅薄膜,然后用快速光退火和传统电阻炉退火方法晶化生长多晶硅薄膜,用拉曼光谱仪、XRD和场发射扫描电镜观察分析薄膜,发现在制备的多晶硅薄膜表面存在结晶团现象,并对这一现象的晶化机理进行了分析。
关键词
非晶硅薄膜
二次晶化
多晶硅薄膜
结晶团现象
晶化机理
Keywords
a-Si: H film
recrystallization
poly-Si thin film
phenomenon of crystal group
formation mechanism
分类号
TM914.42 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
光和传统热固化对SiO_2减反膜影响的对比
4
作者
靳瑞敏
蔡志端
苍利民
阎韬
徐建军
栗书增
机构
南阳理工学院太阳能电池研究所
安彩高科股份有限公司博士后工作站
郑州大学物理工程学院
出处
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期461-463,共3页
基金
国家高技术产业计划项目资助项目(发改办高技072490)
河南省基础与前沿基础研究资助项目(072300410310)
文摘
以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,采用溶胶-凝胶技术,通过调节添加剂控制溶胶溶液性能,然后分别用光固化和传统电阻炉固化两种不同的热处理方案,制备出低折射率SiO2光学减反薄膜。分别采用椭偏仪、扫描电镜等对所制备薄膜的结构、物性进行研究。研究结果表明:光固化比传统电阻炉固化减反膜折射率低。
关键词
溶胶-凝胶SiO2薄膜
光固化
传统电阻炉固化
表面结构
折射率
Keywords
Sol-gel process silica film
light treatment
furnace treatment
surface structure
refractiveindex
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
催化剂对制备SiO_2减反膜的影响
靳瑞敏
肖东岳
苍利民
阎韬
徐建军
韩香菊
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
6
在线阅读
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职称材料
2
PVA对SiO_2减反膜表面结构的影响
靳瑞敏
蔡志端
苍利民
阎韬
徐建军
栗书增
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2013
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
多晶硅薄膜结晶团晶化机理的研究
靳瑞敏
蔡志端
苍利民
阎韬
徐建军
栗书增
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
光和传统热固化对SiO_2减反膜影响的对比
靳瑞敏
蔡志端
苍利民
阎韬
徐建军
栗书增
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2013
0
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职称材料
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