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催化剂对制备SiO_2减反膜的影响 被引量:6
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作者 靳瑞敏 肖东岳 +3 位作者 苍利民 阎韬 徐建军 韩香菊 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第S1期72-74,共3页
以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,乙醇为溶剂,NH3.H20和HCl为催化剂,采用溶胶-凝胶技术,通过调节催化剂控制SiO2纳米颗粒尺度,然后在玻璃上用旋涂法镀膜并对其进行热处理,制备低折射率SiO2减反膜.分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜... 以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,乙醇为溶剂,NH3.H20和HCl为催化剂,采用溶胶-凝胶技术,通过调节催化剂控制SiO2纳米颗粒尺度,然后在玻璃上用旋涂法镀膜并对其进行热处理,制备低折射率SiO2减反膜.分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜的结构、物性进行研究,研究不同性质和剂量的催化剂对薄膜结构、折射率的影响.结果表明:通过控制适量的碱酸催化剂可以制备出低折射率多孔结构的SiO2太阳电池减反膜. 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 SiO2减反膜 催化剂 薄膜结构
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PVA对SiO_2减反膜表面结构的影响 被引量:1
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作者 靳瑞敏 蔡志端 +3 位作者 苍利民 阎韬 徐建军 栗书增 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2013年第7期105-106,共2页
以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,乙醇为溶剂,NH3.H2O为催化剂,采用溶胶-凝胶技术,加入PVA(聚乙烯醇)添加剂,在玻璃上用旋涂法制备减反膜,并对其进行热处理;分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜的结构、物性进行研究,研究PVA添加剂对... 以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,乙醇为溶剂,NH3.H2O为催化剂,采用溶胶-凝胶技术,加入PVA(聚乙烯醇)添加剂,在玻璃上用旋涂法制备减反膜,并对其进行热处理;分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜的结构、物性进行研究,研究PVA添加剂对减反膜结构、折射率的影响。结果表明:适量的PVA添加剂可以控制SiO2太阳电池减反膜的开裂。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 SiO2减反膜 PVA添加剂 薄膜结构
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多晶硅薄膜结晶团晶化机理的研究
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作者 靳瑞敏 蔡志端 +3 位作者 苍利民 阎韬 徐建军 栗书增 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期278-281,共4页
本文用PECVD法在石英玻璃上沉积非晶硅薄膜,然后用快速光退火和传统电阻炉退火方法晶化生长多晶硅薄膜,用拉曼光谱仪、XRD和场发射扫描电镜观察分析薄膜,发现在制备的多晶硅薄膜表面存在结晶团现象,并对这一现象的晶化机理进行了分析。
关键词 非晶硅薄膜 二次晶化 多晶硅薄膜 结晶团现象 晶化机理
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光和传统热固化对SiO_2减反膜影响的对比
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作者 靳瑞敏 蔡志端 +3 位作者 苍利民 阎韬 徐建军 栗书增 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期461-463,共3页
以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,采用溶胶-凝胶技术,通过调节添加剂控制溶胶溶液性能,然后分别用光固化和传统电阻炉固化两种不同的热处理方案,制备出低折射率SiO2光学减反薄膜。分别采用椭偏仪、扫描电镜等对所制备薄膜的结构、物性进... 以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,采用溶胶-凝胶技术,通过调节添加剂控制溶胶溶液性能,然后分别用光固化和传统电阻炉固化两种不同的热处理方案,制备出低折射率SiO2光学减反薄膜。分别采用椭偏仪、扫描电镜等对所制备薄膜的结构、物性进行研究。研究结果表明:光固化比传统电阻炉固化减反膜折射率低。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶SiO2薄膜 光固化 传统电阻炉固化 表面结构 折射率
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