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题名计算全息零位补偿离轴非球面干涉检测技术(特邀)
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作者
王慎
曹耘
闫力松
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机构
中国人民大学
宁波市知行光学科技有限公司
华中科技大学光学与电子信息学院
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出处
《红外与激光工程》
北大核心
2025年第6期252-258,共7页
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基金
国家重点研发计划项目(2022YFC2203902)
宁波市重点研发计划项目(2024T007)。
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文摘
离轴非球面反射镜是高性能空间光学系统的核心部件,用于研制大视场、长焦距空间遥感相机。为了解决离轴非球面反射镜的高精度面形检测,保障空间遥感相机的成像效果,基于计算全息光学元件建立了一种离轴非球面反射镜的高精度面形检测方法。该方法通过设计基准光斑确定待测镜面的空间位置,通过像差调节可以高精度实现对于待测镜面的干涉检测,利用载频有效分离干扰衍射级次,从而实现对于待测镜面的高精度测量。为了验证所述方法的设计检测精度与有效性,完成对于目标离轴非球面反射镜的干涉检测补偿设计。设计结果表明,利用所述方法可以有效地实现对于离轴非球面反射镜的干涉测量,镜面全口径设计结果残差为0 nm RMS,验证了该方法的设计可靠性与实用性。
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关键词
干涉检测
零位补偿
计算全息
离轴非球面
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Keywords
off-axis aspherical surface
interferometry
null compensation
computer generated hologram
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
O436.1
[机械工程—光学工程]
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