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三自由度并联压电粘滑运动平台
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作者 孟令伟 杨依领 +2 位作者 吴高华 崔玉国 魏燕定 《光学精密工程》 北大核心 2025年第3期427-437,共11页
针对细胞穿刺、显微操作以及微装配任务中对宏行程、高精度、大负载和多自由度的性能要求,利用压电柔顺机构设计了三自由度并联粘滑驱动平台。将压电纤维片粘贴至拱形驱动机构,构成驱动单元并结合粘滑致动,实现并联平台的大范围高精度... 针对细胞穿刺、显微操作以及微装配任务中对宏行程、高精度、大负载和多自由度的性能要求,利用压电柔顺机构设计了三自由度并联粘滑驱动平台。将压电纤维片粘贴至拱形驱动机构,构成驱动单元并结合粘滑致动,实现并联平台的大范围高精度运动。柱形支撑增强了平台承载能力,万向轴承减小了移动平台的非驱动摩擦,提高整体运动性能。通过有限元法建立拱形柔顺驱动单元的静力学模型,并对输出位移和固有频率进行仿真分析。最后,搭建实验测试系统验证平台性能。实验表明,在步进模式下,压电粘滑平台沿X,Y向平动的最大单步位移可达294.7μm和304.5μm,绕Z轴转动的最大单步转角为9.96 mrad,最大垂直负载为110 N;在扫描模式下,平动和转动的位移分辨率分别为6 nm和0.28μrad。因此,所设计的并联压电粘滑平台满足精密微操作任务所需的性能要求。 展开更多
关键词 压电驱动 柔顺机构 粘滑运动 三自由度
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谐振型大流量阀式压电气泵的设计与实验
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作者 朱笑 许峥嵘 +1 位作者 李锦棒 崔玉国 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期333-342,共10页
针对阀式压电气泵工作频率低、流量小的问题,设计了一款由压电振子直驱的谐振型气泵。首先设计了压电谐振气泵的构型,并对其结构进行仿真分析,得到结构参数对气泵输出特性的影响。初步制作了压电谐振气泵的样机,并搭建实验测试装置,研... 针对阀式压电气泵工作频率低、流量小的问题,设计了一款由压电振子直驱的谐振型气泵。首先设计了压电谐振气泵的构型,并对其结构进行仿真分析,得到结构参数对气泵输出特性的影响。初步制作了压电谐振气泵的样机,并搭建实验测试装置,研究不同结构参数下压电振子的振动特性,以及气泵流量、压力的变化规律。基于仿真与实验的结果,确定了四臂阀片与压电振子谐振频率的匹配关系,当阀片的基频与振子一阶谐振频率接近且略高225 Hz时,两者的匹配性最好。优化后,当驱动电压峰峰值为120 V、驱动频率为1600 Hz时,所研制谐振型阀式压电气泵的输出流量为1241.28 mL/min,输出压力为7.56 kPa。 展开更多
关键词 压电振子 谐振 高频 大流量 压电气泵 被动阀
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