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题名基于声表面波微流转换微器件研究
被引量：3
- 1
-
-
作者
章安良
张小权
胡文艳
付相庭
-
机构
常州工学院电子信息与电气工程学院
宁波大学微纳电子系统研究所
-
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期515-518,共4页
-
基金
常州工学院科研基金资助项目(YN1404)
常州工学院大学生创新基金资助项目(J140029)
+1 种基金
江苏省大学生创新基金资助项目(201511055039X)
浙江省重点学科基金资助项目(Xkl11077)
-
文摘
提出了压电基片上液滴转换为微通道内微流体的方法。在128°YX-LiNbO3基片上采用微电子工艺制作两叉指换能器,软光刻工艺制作聚二甲基硅氧烷(PDMS)微通道,镂空印刷电路板,内嵌压电子器件和微通道。两叉指换能器激发声表面波控制液滴与带细孔钢针的接触时间,实现一定量的微流转换。当两叉指换能器上电信号切换时间为9.667s,水微流体输运速度为0.365μL/s时,微流转换量为3.525μL。
-
关键词
压电基片
印刷电路板
声表面波
微流转换
微通道
-
Keywords
piezoelectric substrate
printed circuit board
surface acoustic wave
microfluidic transformation
mi-crochannel
-
分类号
TN371
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名基于声表面波微通道内微液滴选择性输运研究
被引量：2
- 2
-
-
作者
王保成
付相庭
章安良
-
机构
襄阳职业技术学院电子信息工程学院
宁波大学微纳电子系统研究所
常州工学院电气与光电工程学院
-
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期639-642,共4页
-
基金
常州工学院科研基金资助项目(YN1404)
常州工学院大学生创新基金资助项目(J140029)
浙江省重点学科基金资助项目(Xkl11077)
-
文摘
提出了声表面波实现微通道内微液滴选择性输运的方法,并研制了相应的微器件。它包括128°YXLiNbO3基片上光刻有两叉指换能器的压电子器件、微隔板和聚二甲基硅氧烷微通道。通过软光刻工艺制作聚二甲基硅氧烷微通道,采用内嵌塑料薄片微隔板,将微通道分割为两分支微通道,并贴合于压电基片上。叉指换能器激发的声表面波结合进样器进样的石蜡油驱使待输运微液滴向目标分支微通道运动,实现微通道内微液滴选择性地输运到目标分支微通道。以水液滴为研究对象,进行了微液滴选择性输运实验,结果表明,声表面波可以实现微通道内微液滴选择性输运到目标分支微通道,从而为压电微流器件进行微流分析提供前提条件。
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关键词
压电基片
选择性输运
声表面波
微液滴
微通道
-
Keywords
piezoelectric substrate
selective transportation
surface acoustic wave
droplet
microchannel
-
分类号
TN371
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名基于声表面波油包水微液滴分裂研究
被引量：2
- 3
-
-
作者
王保成
付相庭
章安良
-
机构
襄阳职业技术学院电子信息工程学院
宁波大学微纳电子系统研究所
常州工学院电气与光电子工程学院
-
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期811-814,共4页
-
基金
常州工学院科研基金资助项目(YN1404)
常州工学院大学生创新基金资助项目(J140029)
浙江省重点学科基金资助项目(Xkl11077)
-
文摘
提出了声表面波(SAW)实现油包水微液滴的分裂方法,并在128°YX-LiNbO3基片上研制了分裂油包水微液滴的微器件。在压电基片上采用微电子工艺制作叉指换能器,其激发的SAW部分作用于油包水微液滴,瞬间降低电信号幅度,油相内水微液滴在惯性力作用下发生分裂,油相微液滴由于较大的表面张力发生形变而不分裂。以石蜡油包裹蓝色水相微液滴为研究对象,进行了油包水微液滴分裂实验和理论分析,结果表明,当电信号从功率为12.3dBm瞬间关断时,可实现油相内水微液滴分裂。
-
关键词
声表面波(SAW)
液滴
叉指换能器(IDT)
分裂
辐射
-
Keywords
surface acoustic wave（SAW）
droplet
interdigital transducer（IDT）
split
radiation
-
分类号
TN371
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名基于声表面波热膨胀微阀研究
- 4
-
-
作者
章安良
王新彪
付相庭
查燕
-
机构
常州工学院电气学院
宁波大学微纳电子系统研究所
-
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第6期880-882,887,共4页
-
基金
浙江省科技厅基金资助项目(2009R50025)
浙江省重点学科基金资助项目(Xkl11077)
-
文摘
研制了一种新的声表面波控制开关的微阀。在128°YX-LiNbO3基片上光刻叉指换能器,其激发的声表面波加热微槽内石蜡油,熔融其上方微腔内固体石蜡,石蜡由于相变化而体积膨胀,使得微腔顶部的聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜发生形变,微阀由开态转变为关态。红色染料溶液微流体为实验对象进行微阀操作实验,结果表明,声表面波可有效实现微阀的控制,且微阀开关时间随所加电信号功率增加而减少,在32dBm电信号功率作用下,微阀关闭时间为3min。
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关键词
微阀
热膨胀
声表面波
微通道
微流器件
-
Keywords
micro-valve
thermal expansion
surface acoustic wave
micro-channel
micro-fluidic device
-
分类号
TN371
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名压电基片上微液滴沿球形表面输运特性研究
被引量：1
- 5
-
-
作者
章安良
董良威
刘尉悦
-
机构
武夷学院微电子系
常州工学院电子系
宁波大学微纳电子系统研究所
-
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第5期646-649,共4页
-
基金
江苏省高校自然科学研究基金资助项目(17KJB510004)
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文摘
研究了声表面波驱动压电基片上微液滴沿球形表面输运特性。球珠底部采用聚二甲基硅氧烷点粘在128°YX-LiNbO3压电基片上,并放在恒温箱中固化。压电基片上微液滴在声表面波驱动力和球珠阻力的共同作用下沿球珠表面输运。为便于观察,采用红墨水溶液为实验对象,对球形表面微液滴声表面波作用下输运特性进行了研究。结果表明,微液滴在球形表面上输运特性取决于激发声表面波的电信号功率、球珠直径和微液滴体积。3μL微液滴在28.7dBm电信号功率下,可以输运到直径2mm的球珠顶端。
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关键词
声表面波
输运特性
液滴
叉指换能器
显色反应
-
Keywords
surface acoustic wave； transporting characteristic； droplet； interdigital transducer； color reaction
-
分类号
TN371
[电子电信—物理电子学]
-
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题名基于声表面波聚二甲基硅氧烷薄膜形变研究
被引量：3
- 6
-
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作者
章安良
付相庭
查燕
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机构
常州工学院电气学院
宁波大学微纳电子系统研究所
-
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期6-9,共4页
-
基金
浙江省科技厅滚动支持基金资助项目(2009R50025)
浙江省重点学科基金资助项目(Xkl11077)
常州工学院校基金资助项目(YN1404)
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文摘
提出了一种新的聚二甲基硅氧烷薄膜形变方法。在128°YX-LiNbO3压电基片上光刻叉指换能器,其激发的声表面波在压电基片上亲水表面的阻力共同作用下挤压微槽内水相微流体,使得其上的聚二甲基硅氧烷薄膜发生形变。采用红色染料溶液微流体为实验对象进行聚二甲基硅氧烷薄膜形变实验,结果表明,所提出的方法可有效实现聚二甲基硅氧烷薄膜形变,且与激发声表面波的电信号功率、水相微流体的体积及薄膜厚度有关。在13μL水相微流体,薄膜厚为12.5μm,电信号功率为26.5dBm时,薄膜最小形变距离为280μm。
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关键词
薄膜
形变
声表面波
微阀
微流器件
-
Keywords
film
deformation
surface acoustic wave
microvalve
microfluidic device
-
分类号
TN371
[电子电信—物理电子学]
-
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题名聚二甲基硅氧烷薄膜对声表面波传播特性影响
被引量：2
- 7
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作者
章安良
张小权
胡文艳
付相庭
查燕
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机构
常州工学院电子信息与电气学院
宁波大学微纳电子系统研究所
-
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期748-751,共4页
-
基金
常州工学院科研基金资助项目(YN1404)
常州工学院大学生创新基金资助项目(J140029)
+1 种基金
浙江省重点学科基金资助项目(Xkl11077)
江苏省大学创新基金资助项目(201511055039X)
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文摘
研究了压电基片上聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜对声表面波(SAW)传播特性影响。在128°YXLiNbO3压电基片上光刻叉指换能器(IDT),其声传播路径上涂覆PDMS薄膜,IDT激发的SAW加热PDMS薄膜上石蜡油微流体,并测量不同PDMS薄膜厚度时石蜡油微流体的温度,进而计算薄膜对SAW的衰减量。实验结果和理论计算表明,压电基片上涂覆PDMS薄膜将衰减辐射入石蜡油微流体的声表面波强度,衰减幅度随基片上PDMS薄膜厚度的增加而增加。当压电基片上涂覆的PDMS薄膜厚度为100μm和150μm时,薄膜对SAW衰减量分别为23.3%和36.0%。
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关键词
压电基片
薄膜
声表面波(SAW)
衰减
微流器件
-
Keywords
piezoelectric substrate
film
surface acoustic wave
attenuation
microfluidic device
-
分类号
TN371
[电子电信—物理电子学]
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