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题名MEMS铂薄膜温度传感器的电阻温度系数研究
被引量：13
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作者
侯晓伟
刘莉娜
吕阳
郑良广
张丛春
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机构
宁波中车时代传感技术有限公司
湖南汽车工程职业学院车辆工程学院
上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期825-829,共5页
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基金
国家重点研发计划项目(2016YFB1200401)
宁波市工业重大科技专项攻关项目(2017B10017)。
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文摘
采用MEMS工艺在硅衬底上制备了铂电阻薄膜温度传感器,在500℃、600℃、700℃和800℃四个温度点下对铂电阻样品进行了热处理,对样品在退火前后的电阻值进行了测试和对比分析。对800℃的退火样品的阻温特性进行了多次测量,其在零摄氏度的电阻温度系数可达3150×10^-6/K。另外还对退火后的铂电阻样品阻温特性进行了多次升温降温测试,其升温曲线和降温曲线基本重合,表明退火处理可以明显的改善铂薄膜温度传感器的稳定性和重复性。
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关键词
铂电阻
温度传感器
微机电系统
热处理
电阻温度系数
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Keywords
platinum resistance
temperature sensor
MEMS
heat treatment
temperature coefficient of resistance
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分类号
TP212.11
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名一种铂电阻温度传感器的密封性设计
被引量：7
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作者
孙炎
黄文斌
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机构
宁波中车时代传感技术有限公司
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第7期967-973,共7页
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基金
国家重点研发计划(2016YFB1200401)
宁波市工业重大科技专项攻关项目(2017B10017)。
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文摘
为满足轨道交通用的铂电阻温度传感器的密封性要求,结合ABAQUS有限元分析手段,研究了灌封胶在灌封和高低温循环工况下的热应力状态,并通过对灌封胶的优化,缩小各个部件之间的热膨胀系数匹配差异,提升胶对壳体基材的粘接性,以降低体系的热应力,从而实现传感器的可靠密封。
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关键词
温度传感器
密封可靠性
有限元分析
热膨胀系数
热应力
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Keywords
temperature sensor
sealing reliability
finite element analysis
coefficient of thermal expansion
thermal stress
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分类号
TB303
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名高精度铂电阻温度采集系统设计与实现
被引量：14
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作者
吕阳
刘莉娜
郑良广
侯晓伟
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机构
宁波中车时代传感技术有限公司中国中车传感测量技术研发中心
湖南汽车工程职业学院车辆工程学院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第5期774-778,共5页
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基金
国家重点研发计划资助项目(2016YFB1200401)
宁波市工业重大科技专项攻关项目(2017B10017)。
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文摘
针对当前铂电阻温度采集系统中存在的不能有效减小测量误差、现场接线可靠性低以及不能准确进行故障诊断等问题,设计了一种具备自诊断功能的四线制高精度铂电阻温度采集系统,包括铂电阻温度传感器、自诊断及标定模块、恒流源和电压采集模块。利用MATLAB软件对采集系统进行了建模与仿真分析,同时搭建了硬件电路并进行实物测试。仿真和实物测试结果表明,该温度采集系统不仅能够极大改善线路电缆误差和器件一致性误差问题,而且能够实现在线路发生断线故障时及时准确的对故障进行自诊断定位,能够大幅提升温度智能化诊断检测水平。
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关键词
铂电阻
高精度
四线制
温度采集
仿真
自诊断
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Keywords
platinum resistance
high precision
four-wire system
temperature acquisition
simulation
self-diagnosis
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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