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题名MEMS差动电容加速度传感器
被引量：6
- 1
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作者
唐晓刚
颜永安
王建民
牛德芳
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机构
威海双丰电子集团有限公司
大庆石油管理局物探公司
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2005年第12期8-9,15,共3页
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基金
国家"八六三"项目(2004AA404210)
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文摘
介绍了一种 MEMS 差动电容加速度传感器的设计及所达到的技术指标。对 MEMS Sensor 选择差动电容传感器的理论依据进行了分析,叙述了 MEMS 差动电容加速度传感器各项参数的设计依据,包括灵敏度、非线性、温度漂移、隔离度、频带宽度等,同时介绍了该传感器各项指标的测试数据。该传感器具有灵敏度高、参数设计合理,不用温度和线性补偿就达到了高线性和低漂移,结构合理,达到理想的横向隔离效果和宽的频率响应特性等特点。
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关键词
MEMS
石油勘探
差动电容加速度传感器
技术指标
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Keywords
MEMS
Petroleum Exploration
Acceleration Sensor
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名石油勘探MEMS加速度传感器在煤田勘探的应用
被引量：6
- 2
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作者
唐晓刚
颜永安
赵冰
张栋
牛德芳
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机构
威海双丰电子集团有限公司
胜利石油管理局物探公司
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2006年第6期50-51,57,共3页
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基金
国家"八六三"项目(2004AA404210)
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文摘
介绍了一种石油勘探MEMS加速度传感器,该传感器是一种适应石油、煤田地震勘探设备向小型化、高分辨率、智能化方向发展的一种新产品。对石油勘探MEMS加速度传感器与传统检波器的特点进行了比较分析,介绍了该传感器已达到的技术指标和与国外同类产品的比较情况,同时介绍了数据采集及多传感器融合技术、地震勘探系统接口技术等应用方面的研究,最后介绍了该传感器在煤田勘探的实验情况。
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关键词
MEMS技术
加速度传感器
地震勘探
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Keywords
MEMS technic
acceleration sensor
earthquake exploration
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名MEMS检波器动态参数及测试方法的研究
被引量：1
- 3
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作者
牛德芳
杨仲华
唐晓刚
张桂仙
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机构
威海双丰电子集团有限公司
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2010年第11期7-9,共3页
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基金
国家863项目研究课题(2008AA042201)
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文摘
实际工程勘探中传感器通称检波器,常规的加速度和速度型传感器的检测量是静态参数,而石油勘探等领域检测的是动态参数,也就是频率和波形。MEMS检波器主要动态参数有:频率响应也称频率范围、失真系数、动态范围。本文主要研究MEMS检波器动态参数及测试方法,通过对地震勘探MEMS检波器进行动态性能分析,介绍频率范围、失真度系数、动态范围的测试方法,实际的测量结果证明了测试方法的正确性和可行性。
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关键词
石油勘探
频率范围
动态范围
失真度
测试方法
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Keywords
petroleum prospecting
frequency range
dynamic range
distortion
test method
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名石油勘探MEMS Sensor生产过程中工艺优化
- 4
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作者
牛德芳
于国良
刘静
孙正鼐
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机构
威海双丰电子集团有限公司
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2005年第4期58-59,共2页
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基金
国家"八六三"项目(2004AA404210)
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文摘
介绍一种新的电容式石油勘探MEMSSensor生产过程中氧化、光刻、刻蚀主要工艺的选择原则和理论依据。
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关键词
MEMS
SENSOR
氧化
光刻
刻蚀
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Keywords
MEMS
Sensor
Oxidation
Lithography
Etch
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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