期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
面向散热应用的碳化硅表面热丝化学气相沉积金刚石膜生长速率
被引量：
2
1
作者
李维汉
乔煜
+1 位作者
疏达
王新昶
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第8期1078-1085,共8页
金刚石具有极高的导热系数,在热管理中具有广阔的应用前景.基于热丝化学气相沉积法,采用多次沉积工艺在碳化硅表面制备了金刚石厚膜.采用扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对金刚石膜进行了表征,系统地研究了热丝功率、碳源浓度和反应压力等...
金刚石具有极高的导热系数,在热管理中具有广阔的应用前景.基于热丝化学气相沉积法,采用多次沉积工艺在碳化硅表面制备了金刚石厚膜.采用扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对金刚石膜进行了表征,系统地研究了热丝功率、碳源浓度和反应压力等工艺参数对金刚石生长速率及质量的影响.研究结果表明,当热丝功率为1600 W、碳源浓度在形核阶段为18/300和生长阶段为14/300、反应压力为4 kPa时制备的金刚石膜质量最佳,此时金刚石膜生长速率约为1.4μm/h.
展开更多
关键词
热丝化学气相沉积
金刚石膜
生长速率
质量
散热
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
面向散热应用的碳化硅表面热丝化学气相沉积金刚石膜生长速率
被引量：
2
1
作者
李维汉
乔煜
疏达
王新昶
机构
安徽工程
大学
机械工程
学
院
上海交通
大学
机械与动力工程
学
院
奥卢大学纳米与分子材料研究中心
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第8期1078-1085,共8页
基金
国家自然科学基金(52175423)
上海市自然科学基金(22ZR1433200)
广东省重点领域研发计划项目(2020B010185001)。
文摘
金刚石具有极高的导热系数,在热管理中具有广阔的应用前景.基于热丝化学气相沉积法,采用多次沉积工艺在碳化硅表面制备了金刚石厚膜.采用扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对金刚石膜进行了表征,系统地研究了热丝功率、碳源浓度和反应压力等工艺参数对金刚石生长速率及质量的影响.研究结果表明,当热丝功率为1600 W、碳源浓度在形核阶段为18/300和生长阶段为14/300、反应压力为4 kPa时制备的金刚石膜质量最佳,此时金刚石膜生长速率约为1.4μm/h.
关键词
热丝化学气相沉积
金刚石膜
生长速率
质量
散热
Keywords
hot filament chemical vapor deposition(HFCVD)
diamond film
growth rate
quality
heat dissipation
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
面向散热应用的碳化硅表面热丝化学气相沉积金刚石膜生长速率
李维汉
乔煜
疏达
王新昶
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
