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辉光放电离子渗金属的等离子体发射光谱诊断
1
作者
付亚波
张跃飞
+3 位作者
张广秋
高原
王建忠
隗晓云
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期114-117,共4页
利用发射光谱法对离子渗金属中辉光等离子体的电子温度进行了诊断。实验以氮气为工作气体,通过对放电时氮离子两条特征谱线强度的相对标定,测量了电子温度随放电气压40 Pa^80 Pa和电压500 V^1000 V的变化。并探讨了电子温度随气压和电...
利用发射光谱法对离子渗金属中辉光等离子体的电子温度进行了诊断。实验以氮气为工作气体,通过对放电时氮离子两条特征谱线强度的相对标定,测量了电子温度随放电气压40 Pa^80 Pa和电压500 V^1000 V的变化。并探讨了电子温度随气压和电压变化的原因。结果表明,该放电为典型的反常辉光等离子体放电,电子温度在1 eV^15 eV之间变化,且随工作气压和电压的的升高迅速增大,这与实际观测的放电效果相符合,实验结果表明,发射光谱法是测量离子渗金属中等离子体参数的一种有效手段。
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关键词
辉光放电
等离子体参数
发射光谱诊断
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职称材料
题名
辉光放电离子渗金属的等离子体发射光谱诊断
1
作者
付亚波
张跃飞
张广秋
高原
王建忠
隗晓云
机构
北京印刷学院等离子体物理及材料
研究
室
太原理工大学表面工程与技术研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期114-117,共4页
基金
国家自然基金钢铁联合资助项目(No.50374050)
文摘
利用发射光谱法对离子渗金属中辉光等离子体的电子温度进行了诊断。实验以氮气为工作气体,通过对放电时氮离子两条特征谱线强度的相对标定,测量了电子温度随放电气压40 Pa^80 Pa和电压500 V^1000 V的变化。并探讨了电子温度随气压和电压变化的原因。结果表明,该放电为典型的反常辉光等离子体放电,电子温度在1 eV^15 eV之间变化,且随工作气压和电压的的升高迅速增大,这与实际观测的放电效果相符合,实验结果表明,发射光谱法是测量离子渗金属中等离子体参数的一种有效手段。
关键词
辉光放电
等离子体参数
发射光谱诊断
Keywords
Glow discharge, Plasma parameters, Optical emission spectrometry diagnosis
分类号
O53 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
辉光放电离子渗金属的等离子体发射光谱诊断
付亚波
张跃飞
张广秋
高原
王建忠
隗晓云
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
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