基于P样条和局部互信息的非刚性医学图像配准 被引量：5

1

作者 汪军 梁凤梅 《计算机应用研究》 CSCD 北大核心 2017年第8期2538-2541,共4页

针对互信息仅考虑两幅图像相应像素的灰度信息以及B样条变换模型存在形变场奇异点的问题,提出一种基于P样条和局部互信息的非刚性医学图像配准方法。该方法以局部互信息为相似性测度,采用P样条变换模型模拟待配准图像的几何形变,使用三... 针对互信息仅考虑两幅图像相应像素的灰度信息以及B样条变换模型存在形变场奇异点的问题,提出一种基于P样条和局部互信息的非刚性医学图像配准方法。该方法以局部互信息为相似性测度,采用P样条变换模型模拟待配准图像的几何形变,使用三次插值算法对图像像素进行赋值,结合对大规模参数优化效率高的LBFGS算法优化配准参数。较传统的B样条变换模型和互信息,提出的方法除计算时间外,其他三项指标更优,均方误差下降了89.25%,归一化互信息提高了11.04%,相关系数提高了5.64%。实验结果表明,该方法有效地提高了配准的精度。 展开更多

关键词 非刚性配准 医学图像 P样条 局部互信息 LBFGS优化算法

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量子级联激光器的原理、制备与应用 被引量：2

2

作者 王文鑫 吕玉祥 《激光杂志》 北大核心 2018年第9期7-11,共5页

量子级联激光器不同于传统P-N结半导体激光器,是一种基于子带间跃迁的新型激光器。通过对量子级联激光器的工作原理、制备方法以及相关应用进行介绍,对它有着更为深入地了解。同时,对制备量子级联激光器的材料、生长方法进行了简单梳理... 量子级联激光器不同于传统P-N结半导体激光器,是一种基于子带间跃迁的新型激光器。通过对量子级联激光器的工作原理、制备方法以及相关应用进行介绍,对它有着更为深入地了解。同时,对制备量子级联激光器的材料、生长方法进行了简单梳理。由于量子级联激光器有着良好的波长可调性,有着广泛的应用前景,其中包括痕量气体检测、太赫兹通信、吸收测量研究、空腔衰荡光谱研究、光声光谱研究以及药物、爆炸物检测等多方面的应用。最后,对量子级联激光器的一些应用实例作了简要介绍。 展开更多

关键词 量子级联半导体激光器 工作原理 生长方法 应用实例

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基于词加权LDA算法的无监督情感分类 被引量：5

3

作者 郝洁 谢珺 +2 位作者 苏婧琼 续欣莹 韩晓霞 《智能系统学报》 CSCD 北大核心 2016年第4期539-545,共7页

主题情感混合模型可以有效地提取语料的主题信息和情感倾向。本文针对现有主题/情感分析方法主题间区分度较低的问题提出了一种词加权LDA算法(weighted latent dirichlet allocation algorithm,WLDA),该算法可以实现无监督的主题提取和... 主题情感混合模型可以有效地提取语料的主题信息和情感倾向。本文针对现有主题/情感分析方法主题间区分度较低的问题提出了一种词加权LDA算法(weighted latent dirichlet allocation algorithm,WLDA),该算法可以实现无监督的主题提取和情感分析。通过计算语料中词汇与情感种子词的距离,在吉布斯采样中对不同词汇赋予不同权重,利用每个主题下的关键词判断主题的情感倾向,进而得到每篇文档的情感分布。这种方法增强了具有情感倾向的词汇在采样过程中的影响,从而改善了主题间的区分性。实验表明,与JST(Joint Sentiment/Topic model)模型相比,WLDA不仅在采样中迭代速度快,也能够更好地实现主题提取和情感分类。 展开更多

关键词 情感分类 主题情感混合模型 主题模型 LDA 加权算法

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用于求解井下最短逃生路径问题的离散萤火虫算法 被引量：3

4

作者 张雪英 李智勇 +1 位作者 李凤莲 陈桂军 《工矿自动化》 北大核心 2016年第12期30-35,共6页

针对煤矿井下避灾路线最短路径求解问题,提出了一种新的离散萤火虫算法。该算法通过采用转移概率方法初始化萤火虫个体,并提出一种新的有效编码和解码方式,重新定义萤火虫的空间距离、最大荧光亮度和相对荧光亮度等,使得萤火虫个体的状... 针对煤矿井下避灾路线最短路径求解问题,提出了一种新的离散萤火虫算法。该算法通过采用转移概率方法初始化萤火虫个体,并提出一种新的有效编码和解码方式,重新定义萤火虫的空间距离、最大荧光亮度和相对荧光亮度等,使得萤火虫个体的状态可表示为一条从起点到目标点的有效路径。为增加解的多样性及防止计算结果陷入局部最优解,以一定概率对萤火虫代表的路径执行扰动操作,经过多次迭代计算后,可得到所要求解的最短路径。实验结果表明,该算法在种群规模较小、迭代次数较少的情况下可以收敛到最优解,具有较强的收敛性和灵活性,可用于求解任何实际的最短路径问题。 展开更多

关键词 井下避灾 最短路径 离散萤火虫算法 编码 解码 扰动

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改进的参数自适应的维纳滤波语音增强算法 被引量：8

5

作者 孟欣 马建芬 张雪英 《计算机工程与设计》 北大核心 2017年第3期714-718,共5页

为探究不同的噪声对语音增强算法性能的不同影响,提出一种参数自适应维纳滤波语音增强算法,根据不同的噪声类型,设置不同的参数初始值,做不同的噪声功率谱评估。使用深度神经网络对噪声进行分类,得到准确的分类结果;对不同的噪声,得到... 为探究不同的噪声对语音增强算法性能的不同影响,提出一种参数自适应维纳滤波语音增强算法,根据不同的噪声类型,设置不同的参数初始值,做不同的噪声功率谱评估。使用深度神经网络对噪声进行分类,得到准确的分类结果;对不同的噪声,得到维纳滤波算法与使用声音活动检测(VAD)进行噪声功率谱评估相结合的语音增强算法的最优系数组合。进行系列实验,客观的评价结果表明,该算法在Babble噪声下,5db的信噪比时,能够将PESQ值提高0.25,针对其它的噪声与不同信噪比情况,PESQ值也有相应的提高。 展开更多

关键词 深度神经网络 噪声分类 语音增强 维纳滤波算法 声音活动检测

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一种针对短文本的主题情感混合模型 被引量：4

6

作者 谢珺 郝洁 +2 位作者 苏婧琼 邹雪君 李思宇 《中文信息学报》 CSCD 北大核心 2017年第1期162-168,共7页

主题情感混合模型可以同时提取语料的主题信息和情感倾向。针对短文本特征稀疏的问题,主题情感联合分析方法较少的问题,该文提出了BJSTM模型(Biterm Joint Sentiment Topic Model),在BTM模型(Biterm Topic Model)的基础上,增加情感层的... 主题情感混合模型可以同时提取语料的主题信息和情感倾向。针对短文本特征稀疏的问题,主题情感联合分析方法较少的问题,该文提出了BJSTM模型(Biterm Joint Sentiment Topic Model),在BTM模型(Biterm Topic Model)的基础上,增加情感层的设置,从而形成"情感-主题-词汇"的三层贝叶斯模型。对每个双词的情感和主题进行采样,从而对整个语料的词共现关系建模,一定程度上克服了短文本的稀疏性。实验表明,BJSTM模型在无监督情感分类和主题提取方面都有不错的表现。 展开更多

关键词 主题情感混合模型 情感分类 BTM

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基于LBM的多巷道任意角度耦合的突水漫延仿真 被引量：2

7

作者 李智勇 张雪英 +1 位作者 李凤莲 李文杰 《辽宁工程技术大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2016年第11期1241-1246,共6页

为指导矿山突水时井下工作人员逃生,减少灾后损失.基于LBM(Lattice Boltzmann Method)对井下突水漫延趋势进行了数值仿真,提出了一种多巷道任意角度耦合突水漫延模型.首先对单个巷道中水害漫延趋势进行了模拟仿真,给出了多巷道任意角度... 为指导矿山突水时井下工作人员逃生,减少灾后损失.基于LBM(Lattice Boltzmann Method)对井下突水漫延趋势进行了数值仿真,提出了一种多巷道任意角度耦合突水漫延模型.首先对单个巷道中水害漫延趋势进行了模拟仿真,给出了多巷道任意角度耦合突水漫延模型的实现过程,该模型通过对多个巷道进行分块和独立划分网格,然后在各块分界处进行耦合,以适应井下复杂巷道网络水害漫延情况.通过在VC平台上进行模拟实现,结果表明,所提出的耦合模型可在较少的计算资源条件下对多个虚拟耦合巷道各点的速度进行直观显示,并可反映突水漫延的趋势,为科学规划煤矿井下水害避灾路线提供了依据. 展开更多

关键词 LBM 多巷道 任意角度 突水漫延 耦合模型

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基于改进分布式极限学习机的电站锅炉NO_x排放预测算法 被引量：2

8

作者 徐晨晨 续欣莹 +1 位作者 阎高伟 韩晓霞 《太原理工大学学报》 北大核心 2017年第6期946-952,共7页

提出了一种改进的分布式极限学习机的电站锅炉NO_x排放特性建模方法。引入分布式和岭回归理论,提升了极限学习机预测算法的泛化性能和预测准确率。采用改进的MapReduce编程框架对提出的算法模型进行并行化改进,提高其处理大数据的能力... 提出了一种改进的分布式极限学习机的电站锅炉NO_x排放特性建模方法。引入分布式和岭回归理论,提升了极限学习机预测算法的泛化性能和预测准确率。采用改进的MapReduce编程框架对提出的算法模型进行并行化改进,提高其处理大数据的能力。选用某660 MW电站锅炉提供的真实运行数据进行分析,并在Hadoop集群上进行实验,结果表明该模型对NO_x排放有着较好的拟合和预测能力,且提出的算法具有优异的并行性能。 展开更多

关键词 NOX排放 海量数据 MAPREDUCE 分布式极限学习机

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基于发音轨迹的可视语音合成 被引量：1

9

作者 郑红娜 白静 +1 位作者 王岚 朱云 《计算机应用与软件》 CSCD 北大核心 2013年第6期253-257,261,共6页

着眼于语音可视化。为呈现真实说话人各发音器官的运动,提出一种改进的CM协同发音模型,并采用该方法合成汉字的发音轨迹,进而以此驱动和控制虚拟3D音视频说话人头模型,直观呈现通常可见及不可见发音器官的发音运动。实验证明:由改进方... 着眼于语音可视化。为呈现真实说话人各发音器官的运动,提出一种改进的CM协同发音模型,并采用该方法合成汉字的发音轨迹,进而以此驱动和控制虚拟3D音视频说话人头模型,直观呈现通常可见及不可见发音器官的发音运动。实验证明:由改进方法获得的合成发音轨迹更逼近真实发音轨迹。同时,为了定量比较舌读和唇读在语音感知和识别中的作用,设计三组感知实验,实验结果显示:叠加了唇读信息的感知识别率较单纯的加噪语音的识别率提高了25.8%;而叠加了舌读信息的识别率较单纯听觉信息的识别率提高了26.7%。因此,当语音恶化时,舌读信息可提供大于唇读信息的补充作用,且舌读信息与唇读信息一样具有识别力。 展开更多

关键词 语音可视化 CM协同发音模型 改进的CM协同发音模型 舌读 唇读

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基于多维动态纹理分析的烟雾检测算法 被引量：3

10

作者 李鸿燕 郭人辅 张静 《太原理工大学学报》 CAS 北大核心 2018年第4期579-584,共6页

为了提高动态纹理特征分析的可靠性且降低计算量,提出了一种基于多维动态纹理分析的烟雾检测算法。该算法在预处理阶段利用ICA烟雾前景初步分离烟雾模型得到初步烟雾前景,然后通过GBVS提取多通道、多尺度的底层特征得到烟雾前景显著区域... 为了提高动态纹理特征分析的可靠性且降低计算量,提出了一种基于多维动态纹理分析的烟雾检测算法。该算法在预处理阶段利用ICA烟雾前景初步分离烟雾模型得到初步烟雾前景,然后通过GBVS提取多通道、多尺度的底层特征得到烟雾前景显著区域,以提高前景目标检测阶段对烟雾前景的分割精确度;在烟雾特征提取阶段,提出基于多维特征分析的烟雾特征提取检测方法(h-LDS/RGBH),该方法首先经过烟雾颜色和背景差分预处理得到烟雾候选区域,然后在四维图像块中引入RGB和HOG特征,最后基于对多维图像数据的高阶分解,分析烟雾视频的动态特征。多维动态纹理分析(h-LDS/RGBH)改善了烟雾特征提取阶段所提取的烟雾特征稳定性不高且对烟雾的判断准则过于简单的缺点,提高了动态纹理特征分析的可靠性。实验表明,其检测率高于LDS和h-LDS/RGB的识别率。实验表明,该算法的检测率高于LDS和h-LDS/GRB. 展开更多

关键词 多维动态纹理 高阶线性动态系统(h-LDS) 梯度方向直方图(HOG) 烟雾检测算法

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改进的FSVM算法用于非平衡情感数据分类

11

作者 张雪英 张波 陈桂军 《计算机工程与设计》 北大核心 2018年第11期3544-3548,共5页

对于不平衡情感数据集,传统的模糊支持向量机原理上分类不灵敏,支持向量的隶属度值被给予不准确情况,提出一种对样本点赋值的设计方法,并将其用到语音情感识别。引入DEC算法,消除数据不平衡引起的分类超平面偏移的影响,计算从样本点到... 对于不平衡情感数据集,传统的模糊支持向量机原理上分类不灵敏,支持向量的隶属度值被给予不准确情况,提出一种对样本点赋值的设计方法,并将其用到语音情感识别。引入DEC算法,消除数据不平衡引起的分类超平面偏移的影响,计算从样本点到类中心超平面的距离,考虑样本周围的样本分布设计模糊隶属函数点。突出支持向量对分类超平面的贡献,有效降低噪声和孤立点的影响。实验结果表明,与传统的模糊支持向量机相比,对样本失衡率为4.89的TYUT2.0情感语音数据库的分类性能提高了5.95%,对不平衡率为14.28的CASIA中文情感语料库的分类性能提高了11.57%。 展开更多

关键词 语音情感识别 模糊支持向量机 平衡调节因子 隶属度函数 样本密度

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基于双词语义扩展的Biterm主题模型 被引量：4

12

作者 李思宇 谢珺 +2 位作者 邹雪君 续欣莹 冀小平 《计算机工程》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期210-216,共7页

针对Biterm主题模型短文本文档的双词产生过程中词对之间缺乏语义联系的情况,提出一种融入词对语义扩展的Biterm主题模型。考虑双词的语义关系,引入词向量模型。通过训练词向量模型,判断词与词之间的语义距离,并根据语义距离对Biterm主... 针对Biterm主题模型短文本文档的双词产生过程中词对之间缺乏语义联系的情况,提出一种融入词对语义扩展的Biterm主题模型。考虑双词的语义关系,引入词向量模型。通过训练词向量模型,判断词与词之间的语义距离,并根据语义距离对Biterm主题模型进行双词语义扩展。实验结果表明,与现有Biterm主题模型相比,该模型不仅具有较好的短文本主题分类效果,而且双词间的语义关联性能及主题词义聚类性能也得到明显提升。 展开更多

关键词 Biterm主题模型 双词 词向量 双词语义 吉布斯采样

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基于图覆盖的大数据全比较数据分配算法 被引量：6

13

作者 高燕军 张雪英 +1 位作者 李凤莲 田玉楚 《计算机工程》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期17-22,27,共7页

在对大数据全比较问题进行分布式处理的过程中,现有的数据分配策略较少考虑比较任务和数据之间的特殊依赖关系,导致存储效率下降、任务分配不均衡。为此,提出基于图覆盖的数据分配算法。通过理论分析将大数据全比较的数据分配问题归纳... 在对大数据全比较问题进行分布式处理的过程中,现有的数据分配策略较少考虑比较任务和数据之间的特殊依赖关系,导致存储效率下降、任务分配不均衡。为此,提出基于图覆盖的数据分配算法。通过理论分析将大数据全比较的数据分配问题归纳为图覆盖问题,在此基础上构造图覆盖的最优解,根据特解分配数据。实验结果表明,与基于Hadoop的数据分配策略相比,该算法可确保比较任务具有100%的数据本地性,使节点之间达到负载均衡,并且提高存储节约率和整体计算性能。 展开更多

关键词 分布式计算 大数据 全比较 数据分配 图覆盖

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面向人脸识别的WPD-HOG金字塔特征提取方法 被引量：5

14

作者 刘文培 李凤莲 +1 位作者 张雪英 田玉楚 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2018年第22期150-155,共6页

人脸识别技术可应用于各监控和安保领域,它涉及特征提取、识别模型等关键技术。其中特征提取方法直接影响识别效果,目前所用的特征提取方法存在特征表达不全面、计算复杂度高等问题。据此,提出一种基于WPDHOG金字塔的人脸特征提取方法,... 人脸识别技术可应用于各监控和安保领域,它涉及特征提取、识别模型等关键技术。其中特征提取方法直接影响识别效果,目前所用的特征提取方法存在特征表达不全面、计算复杂度高等问题。据此,提出一种基于WPDHOG金字塔的人脸特征提取方法,该方法结合小波包分解(Wavelet Packet Decomposition,WPD)、图像金字塔以及方向梯度直方图(Histograms of Oriented Gradients,HOG)对人脸图像特征进行有效表征,最终将WPD-HOG金字塔特征通过SVM分类器进行分类。通过在ORL人脸库上进行实验,与四种对比方法 HOG、HOG金字塔、FWPD-HOG以及FWPD-HOG金字塔进行比较,实验结果表明,WPD-HOG金字塔特征提取方法的识别率要高于对比方法,且在噪声方面具有较好的鲁棒性。 展开更多

关键词 人脸识别特征提取 小波包分解 图像金字塔 方向梯度直方图

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基于PLC的等流速在线烟尘采样控制装置设计 被引量：3

15

作者 程志彪 何小刚 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第12期53-56,共4页

针对目前广泛使用的烟尘测量方法普遍存在无法在线连续测量、价格昂贵、效率低下等问题,设计一种基于PLC的等流速在线烟尘采样控制装置,该装置使用PLC和WINCC上位机对采样数据进行实时处理,并对系统各部分进行实时监控,实现烟尘采样的... 针对目前广泛使用的烟尘测量方法普遍存在无法在线连续测量、价格昂贵、效率低下等问题,设计一种基于PLC的等流速在线烟尘采样控制装置,该装置使用PLC和WINCC上位机对采样数据进行实时处理,并对系统各部分进行实时监控,实现烟尘采样的等速采样要求。装置目前安装于太原第二热电厂,现场应用表明:该装置实现了等速采样控制以及在线监测与无人值守,对于监测各电厂烟尘排放含量具有重要意义。 展开更多

关键词 等流速控制 烟尘采样装置 在线监测 可编程逻辑控制器 WINCC

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邻域粗糙集约简算法在图像特征选择中的应用 被引量：2

16

作者 成婷 张扩 续欣莹 《现代电子技术》 北大核心 2018年第21期56-62,共7页

传统的行人检测方法为静态特征提取方法,而实际的数据是动态变化的,在增加图像集之后,特征集需要重新动态更新。因此,基于信息观的角度,将粗糙集与图像的特征提取方式相结合,引出不一致邻域的概念,提出一种基于增量式场景图像特征选择... 传统的行人检测方法为静态特征提取方法,而实际的数据是动态变化的,在增加图像集之后,特征集需要重新动态更新。因此,基于信息观的角度,将粗糙集与图像的特征提取方式相结合,引出不一致邻域的概念,提出一种基于增量式场景图像特征选择的邻域粗糙集约简算法研究,该算法运用新增图像样本集及其不一致邻域的样本进行特征提取,有效地避免了不必要的约简,从而快速求得特征集。最后通过实验验证了算法的有效性和高效性。 展开更多

关键词 不一致邻域 粗糙集 属性约简 信息熵 增量式学习 图像特征提取

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基于灰关联-贡献度删减法的神经网络结构优化 被引量：1

17

作者 刘晓洋 田建艳 +1 位作者 王芳 白杨 《计算机工程与设计》 北大核心 2017年第3期779-783,共5页

考虑到神经网络结构对网络应用性能的影响,提出一种基于灰关联-贡献度的神经网络隐含层结构优化方法。计算隐节点输出与网络输出的灰关联度,以此为依据删除对网络输出影响较小的隐节点,直到剩余隐节点的灰关联度大于灰关联删减阈值;计... 考虑到神经网络结构对网络应用性能的影响,提出一种基于灰关联-贡献度的神经网络隐含层结构优化方法。计算隐节点输出与网络输出的灰关联度,以此为依据删除对网络输出影响较小的隐节点,直到剩余隐节点的灰关联度大于灰关联删减阈值;计算隐节点对网络输出的贡献度,删除贡献度较小的隐节点,直到剩余隐节点的贡献度大于删减阈值,得到较为精简的神经网络。将该方法用于风电场风速的神经网络预测模型中,仿真结果表明,采用该结构能够精简网络结构,与其它方法相比,该方法优化后的神经网络性能能够得到有效改善。 展开更多

关键词 灰关联-贡献度删减法 结构优化 灰关联度 贡献度 神经网络

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基于通信负载均衡的社交网络图分割方法 被引量：1

18

作者 刘康 张雪英 +1 位作者 李凤莲 田玉楚 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2018年第4期66-71,共6页

海量社交网络数据中蕴含着丰富的信息,图论是挖掘这些信息的重要方法之一。面对日益增多的图数据,分布式计算成为处理大规模图数据的有效手段。在分布式图计算中,通信所消耗的时间占有很大的比例,通过图分割算法的设计可以有效地降低通... 海量社交网络数据中蕴含着丰富的信息,图论是挖掘这些信息的重要方法之一。面对日益增多的图数据,分布式计算成为处理大规模图数据的有效手段。在分布式图计算中,通信所消耗的时间占有很大的比例,通过图分割算法的设计可以有效地降低通信量并实现负载均衡,从而提高分布式图计算的效率,典型的例子包括Metis图分割算法。但是,用现有的图分割算法处理非均衡图数据会造成各个子图之间通信量不均衡,从而影响了计算效率。为了解决这一问题,提出一种新的图分割方法:通信均衡标签交换方法。该方法在保持子图规模一致的基础上,既降低了全图计算所需的通信量,又使各个子图之间的通信量达到均衡。实验结果表明,与Metis等典型的图分割算法相比,提出的图分割方法在各种数据集和集群配置情况下,能降低6%~30%的图计算时间,充分显示了该方法的有效性。 展开更多

关键词 社交网络 图论 图分割 分布式计算 负载均衡

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基于三支决策的KNN增量算法 被引量：3

19

作者 裴晓鹏 尚奥 +2 位作者 刘美红 刘帆 陈泽华 《控制工程》 CSCD 北大核心 2020年第4期656-661,共6页

k-近邻(k-Nearest Neighbour,KNN)算法是一种有效的多分类算法,他具有简单、稳定的特点,在数据挖掘领域得到了广泛的应用。但是有2个主要缺点,一是算法的准确度与k值有很大关系,不同的k值会导致准确率有很大的不同;二是他属于非增量式算... k-近邻(k-Nearest Neighbour,KNN)算法是一种有效的多分类算法,他具有简单、稳定的特点,在数据挖掘领域得到了广泛的应用。但是有2个主要缺点,一是算法的准确度与k值有很大关系,不同的k值会导致准确率有很大的不同;二是他属于非增量式算法,随着数据量的增加,算法的分类速度会越来越慢,影响他在海量数据分析中的应用。三支决策的主要思想是将整体分成3个独立的部分,引入了不承诺的决策选项,规避了错误接受或者错误拒绝的损失。把三支决策思想引入KNN算法,对边界域样本特殊处理,会减小分类代价,提高海量数据处理的正确性,同时对KNN算法进行改进,提出了一种基于三枝决策的KNN增量式算法,提高了原有算法的快速性。 展开更多

关键词 K-近邻算法 三支决策 边界域 增量式算法

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光波导器件应用及其表面光滑化研究综述 被引量：1

20

作者 唐海泉 张辉 +4 位作者 冀健龙 张强 菅傲群 桑胜波 段倩倩 《河北科技大学学报》 CAS 2017年第1期26-31,共6页

光波导器件在许多领域都有着广泛的应用和良好的发展前景。而波导器件表面粗糙度影响传输光损耗和环形腔Q值,制约光波导器件的发展和应用。目前常用波导器件表面和侧壁光滑化方法有热氧化法、激光束法和氢退火法,其中氢退火法有较好的... 光波导器件在许多领域都有着广泛的应用和良好的发展前景。而波导器件表面粗糙度影响传输光损耗和环形腔Q值,制约光波导器件的发展和应用。目前常用波导器件表面和侧壁光滑化方法有热氧化法、激光束法和氢退火法,其中氢退火法有较好的光滑化效果,但对于氢退火工艺的机理并不清楚,无法进一步优化实验参数,达到最佳实验效果。在对上述内容进行综述的基础上,通过Materials Studio仿真分析,初步研究了退火机理,基于仿真研究结果,分析氢气环境对退火过程的意义,为应用氢退火工艺对波导器件光滑化实验提供理论指导。 展开更多

关键词 光波导 光滑化 氢退火 表面粗糙度 光波导器件

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