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题名面向光电子器件的铌酸锂键合技术研究进展
被引量：1
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作者
孔辉
沈浩
张忠伟
钱煜
濮思麒
徐秋峰
王勤峰
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机构
天通凯巨科技有限公司
天通控股股份有限公司
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2023年第6期926-934,共9页
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基金
浙江省科技计划基金资助项目(2022C01240)。
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文摘
铌酸锂作为一种优良的多功能晶体材料,在光学、声学、电学和电子领域应用较广。已有研究表明,在集成光电子器件应用中对铌酸锂晶片进行键合,可提高器件的传输频率,降低损耗,实现高集成密度。该文总结了近年来国内外有关铌酸锂晶片键合技术的研究现状,介绍了键合强度的分析方法,以及铌酸锂键合晶圆在集成光电子器件中的最新研究进展,展望了铌酸锂键合技术的未来发展。
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关键词
铌酸锂
键合
光电子器件
集成
调制器
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Keywords
lithium niobate
bonding
optoelectronic device
integration
modulator
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分类号
TN384
[电子电信—物理电子学]
TN29
[电子电信—物理电子学]
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名钽酸锂晶体及其应用分析
被引量：1
- 2
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作者
孔辉
张忠伟
钱煜
沈浩
曹焕
徐秋峰
王勤峰
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机构
天通凯巨科技有限公司
天通控股股份有限公司
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2023年第3期429-438,共10页
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基金
5G射频滤波器用关键材料研发基金资助项目(2022C01240)。
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文摘
钽酸锂作为一种优良的多功能晶体材料,具有良好的压电、电光和热释电等性能,已被广泛应用于通信、电子等行业。该文介绍了钽酸锂晶体的结构、缺陷及性能调控方式,总结了钽酸锂晶体的制备方法及优缺点,分析了钽酸锂晶体在各应用领域的国内外研究进展,并对钽酸锂晶体的发展进行了展望,以期对钽酸锂晶体的应用及研究提供帮助。
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关键词
钽酸锂
晶体
化学计量比
晶体制备
滤波器
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Keywords
lithium tantalate
crystal
stoichiometric ratio
crystal preparation
wave filter
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分类号
TN384
[电子电信—物理电子学]
TN65
[电子电信—电路与系统]
TN713
[电子电信—电路与系统]
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