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PEN衬底氧化镓基柔性紫外探测器的制备与性能研究(特邀)
被引量：
2
1
作者
丁悦
皇甫倩倩
+6 位作者
左清源
梁金龙
弭伟
王迪
张兴成
刘振
何林安
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第7期49-57,共9页
针对传统硬性衬底无法弯折的问题,采用聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)衬底制备柔性紫外光电探测器。柔性衬底具有的抗曲折性,能够提升探测器的鲁棒性,并且能让其适用于各种复杂形态的应用场景,同时减少占用空间,有助于整个电路的集成化。实验...
针对传统硬性衬底无法弯折的问题,采用聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)衬底制备柔性紫外光电探测器。柔性衬底具有的抗曲折性,能够提升探测器的鲁棒性,并且能让其适用于各种复杂形态的应用场景,同时减少占用空间,有助于整个电路的集成化。实验使用磁控溅射镀膜工艺首先在PEN衬底上生长氧化镓薄膜,并在氧化镓薄膜上生长氧化铟锡电极,在室温下成功制备柔性氧化镓紫外光电探测器,器件响应波长处于小于280 nm的深紫外区。将器件弯折20000次后其暗电流无显著变化,光电流增大,保持了良好的紫外光探测性能,探测器上升时间和衰减时间分别为0.24 s/0.74 s和0.10 s/0.71 s,其电流-时间特性曲线呈现周期性稳定,表明即使经过多次弯折,柔性氧化镓紫外探测器仍然具有良好的光电探测性能。
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关键词
半导体光电探测器
柔性紫外探测器
射频磁控溅射
氧化镓
聚萘二甲酸乙二醇酯
氧化铟锡
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职称材料
题名
PEN衬底氧化镓基柔性紫外探测器的制备与性能研究(特邀)
被引量：
2
1
作者
丁悦
皇甫倩倩
左清源
梁金龙
弭伟
王迪
张兴成
刘振
何林安
机构
天津
理工大学集成电路科学与工程学院
中国科学院微电子研究所
天津英孚瑞半导体科技有限公司
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第7期49-57,共9页
基金
天津市自然科学基金(No.22JCQNJC01370)。
文摘
针对传统硬性衬底无法弯折的问题,采用聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)衬底制备柔性紫外光电探测器。柔性衬底具有的抗曲折性,能够提升探测器的鲁棒性,并且能让其适用于各种复杂形态的应用场景,同时减少占用空间,有助于整个电路的集成化。实验使用磁控溅射镀膜工艺首先在PEN衬底上生长氧化镓薄膜,并在氧化镓薄膜上生长氧化铟锡电极,在室温下成功制备柔性氧化镓紫外光电探测器,器件响应波长处于小于280 nm的深紫外区。将器件弯折20000次后其暗电流无显著变化,光电流增大,保持了良好的紫外光探测性能,探测器上升时间和衰减时间分别为0.24 s/0.74 s和0.10 s/0.71 s,其电流-时间特性曲线呈现周期性稳定,表明即使经过多次弯折,柔性氧化镓紫外探测器仍然具有良好的光电探测性能。
关键词
半导体光电探测器
柔性紫外探测器
射频磁控溅射
氧化镓
聚萘二甲酸乙二醇酯
氧化铟锡
Keywords
Semiconductor photodetector
Flexible ultraviolet detector
Radio frequency magnetron sputtering
Gallium oxide
Polyethylene glycol naphthalene dicarboxylate
Indium tin oxide
分类号
TN23 [电子电信—物理电子学]
TQ132.41 [化学工程—无机化工]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
PEN衬底氧化镓基柔性紫外探测器的制备与性能研究(特邀)
丁悦
皇甫倩倩
左清源
梁金龙
弭伟
王迪
张兴成
刘振
何林安
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
2
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