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基于压电陶瓷驱动的纳米定位平台复合控制
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作者 崔良玉 钟俊杰 +1 位作者 韩建鑫 马鹏飞 《工具技术》 北大核心 2025年第1期95-101,共7页
基于压电陶瓷驱动器迟滞模型的纳米定位平台在迟滞不对称的情况下,研究消除迟滞和蠕动等干扰来控制纳米定位平台。在Prandtl-Ishlinskii模型的基础上,串联一个新的复合叠加算子,得到一个改进的Prandtl-Ishlinskii模型。搭建一个纳米定... 基于压电陶瓷驱动器迟滞模型的纳米定位平台在迟滞不对称的情况下,研究消除迟滞和蠕动等干扰来控制纳米定位平台。在Prandtl-Ishlinskii模型的基础上,串联一个新的复合叠加算子,得到一个改进的Prandtl-Ishlinskii模型。搭建一个纳米定位实验平台,根据实验数据用模型对压电驱动器的迟滞现象进行建模,并推导出逆模型。设计逆模作前馈、PID作反馈的复合控制系统,并运用遗传算法自动调节控制系统的参数。通过仿真以及实验验证该模型的准确性以及定位平台控制系统的有效性。 展开更多
关键词 压电驱动器 微纳定位平台 迟滞模型 Prandtl-Ishlinskii模型 PID控制 遗传算法
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