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基于X-LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si低温漂、大机电耦合SH-SAW谐振器的设计
1
作者
温福军
王园园
+5 位作者
钱莉荣
王荔田
李翠平
熊阳
田亚会
李红浪
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第3期290-295,共6页
铌酸锂(LN)单晶薄膜具有较高的机电耦合系数(k_(eff)^(2)>30%),其水平剪切(SH)声学模式常被应用于开发具有大机电耦合系数的薄膜声学谐振器和超宽带滤波器。但LN的频率温度系数较大(TCF>-50×10^(-6)/℃),这不仅会降低滤波器...
铌酸锂(LN)单晶薄膜具有较高的机电耦合系数(k_(eff)^(2)>30%),其水平剪切(SH)声学模式常被应用于开发具有大机电耦合系数的薄膜声学谐振器和超宽带滤波器。但LN的频率温度系数较大(TCF>-50×10^(-6)/℃),这不仅会降低滤波器的可用有效带宽,同时也会限制器件的功率处理能力。采用3D周期有限元模型对基于X切LN/SiO2/Si结构SH声表面波(SH-SAW)谐振器进行了优化研究。研究结果表明,当SH-SAW传播角ψ=-10°~-20°、LN和SiO2膜厚分别为hLN=0.1λ和hSiO_(2)=0.2λ(λ为叉指换能器周期)、铝电极金属化率η=0.4、电极相对厚度hAl/λ=5%~10%时,SH-SAW谐振器的k_(eff)^(2)约为30%,且其TCF<-20×10^(-6)/℃,有望用于开发新一代的低温漂、超宽带5G SAW滤波器。
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关键词
X切铌酸锂薄膜
水平剪切声表面波
有效机电耦合系数
频率温度系数
声表面波谐振器
超宽带声表面波滤波器
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职称材料
基于水凝胶溶胀特性的全光纤萨格纳克环pH传感器
2
作者
卢琪
刘正宇
+2 位作者
薛力芳
陈志宏
张海伟
《光电技术应用》
2024年第4期42-48,共7页
根据水凝胶在不同pH溶液中的溶胀程度不同,研制出了一种基于水凝胶溶胀应力的光纤萨格纳克环pH传感器,选择溶胀性能较好的聚丙烯酰胺水凝胶作为传感媒介。在不同pH溶液中,水凝胶溶胀的差异性引起保偏光纤的轴向应力发生变化,使得萨格纳...
根据水凝胶在不同pH溶液中的溶胀程度不同,研制出了一种基于水凝胶溶胀应力的光纤萨格纳克环pH传感器,选择溶胀性能较好的聚丙烯酰胺水凝胶作为传感媒介。在不同pH溶液中,水凝胶溶胀的差异性引起保偏光纤的轴向应力发生变化,使得萨格纳克环的输出光谱发生偏移,通过表征光谱的偏移量实现pH传感。该传感器在pH为2~12的范围内呈线性响应,灵敏度为0.947nm/pH。实验结果表明,该传感器具有良好的鲁棒性、稳定性和重复性。
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关键词
PH传感器
智能水凝胶
萨格纳克干涉仪
光纤传感
应力
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职称材料
基于激光自混合干涉的高精度角度测量方法
被引量:
8
3
作者
朱均超
许虹虹
+2 位作者
张海彤
左铭
赵岩
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第1期37-41,共5页
针对光学高精度角度测量技术的需求,基于激光自混合干涉技术提出一种高精度角度测量方法。建立了激光自混合干涉技术高精度测量角度的系统模型,利用干涉条纹计数法分析出目标物体具有角度变化时,外腔长度产生的变化量,并通过激光三角法...
针对光学高精度角度测量技术的需求,基于激光自混合干涉技术提出一种高精度角度测量方法。建立了激光自混合干涉技术高精度测量角度的系统模型,利用干涉条纹计数法分析出目标物体具有角度变化时,外腔长度产生的变化量,并通过激光三角法测量原理计算出目标物体旋转的角度,从而构建出精确的角度测量系统。实验结果表明:该测量系统在±0.4°角度范围内测量精度可达(±3.1×10-3)°,具有精度高、速度快等显著优势,是对现有高精度角度测量技术的一种有益补充。
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关键词
激光自混合干涉
高精度角度测量
干涉条纹计数法
激光三角法
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职称材料
题名
基于X-LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si低温漂、大机电耦合SH-SAW谐振器的设计
1
作者
温福军
王园园
钱莉荣
王荔田
李翠平
熊阳
田亚会
李红浪
机构
天津
理
工
大学
集成电路科学与
工程
学院
天津理工大学光电器件与通信技术教育部工程研究中心
中国科学院声学
研究
所
国家纳米科学
中心
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第3期290-295,共6页
基金
国家重点研发计划项目(2022YFB3606702)
广东省重点研发计划项目(2023B0101190002)
+3 种基金
广州市重点研发计划项目(202206070001)
天津市技术创新引导专项(基金)企业科技特派员项目(23YDTPJC00600)
北京市科技新星计划项目(20220484172)
中国科学院青年创新促进会(2022024)。
文摘
铌酸锂(LN)单晶薄膜具有较高的机电耦合系数(k_(eff)^(2)>30%),其水平剪切(SH)声学模式常被应用于开发具有大机电耦合系数的薄膜声学谐振器和超宽带滤波器。但LN的频率温度系数较大(TCF>-50×10^(-6)/℃),这不仅会降低滤波器的可用有效带宽,同时也会限制器件的功率处理能力。采用3D周期有限元模型对基于X切LN/SiO2/Si结构SH声表面波(SH-SAW)谐振器进行了优化研究。研究结果表明,当SH-SAW传播角ψ=-10°~-20°、LN和SiO2膜厚分别为hLN=0.1λ和hSiO_(2)=0.2λ(λ为叉指换能器周期)、铝电极金属化率η=0.4、电极相对厚度hAl/λ=5%~10%时,SH-SAW谐振器的k_(eff)^(2)约为30%,且其TCF<-20×10^(-6)/℃,有望用于开发新一代的低温漂、超宽带5G SAW滤波器。
关键词
X切铌酸锂薄膜
水平剪切声表面波
有效机电耦合系数
频率温度系数
声表面波谐振器
超宽带声表面波滤波器
Keywords
X-cut lithium niobate
SH-SAW
effective electromechanical coupling coefficient
temperature
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
TN713 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
基于水凝胶溶胀特性的全光纤萨格纳克环pH传感器
2
作者
卢琪
刘正宇
薛力芳
陈志宏
张海伟
机构
天津理工大学光电器件与通信技术教育部工程研究中心
天津
理
工
大学
天津
市薄膜电子
与通信
器件
重点实验室
出处
《光电技术应用》
2024年第4期42-48,共7页
文摘
根据水凝胶在不同pH溶液中的溶胀程度不同,研制出了一种基于水凝胶溶胀应力的光纤萨格纳克环pH传感器,选择溶胀性能较好的聚丙烯酰胺水凝胶作为传感媒介。在不同pH溶液中,水凝胶溶胀的差异性引起保偏光纤的轴向应力发生变化,使得萨格纳克环的输出光谱发生偏移,通过表征光谱的偏移量实现pH传感。该传感器在pH为2~12的范围内呈线性响应,灵敏度为0.947nm/pH。实验结果表明,该传感器具有良好的鲁棒性、稳定性和重复性。
关键词
PH传感器
智能水凝胶
萨格纳克干涉仪
光纤传感
应力
Keywords
pH sensor
intelligent hydrogel
Sagnac interferometer
optical fiber sensing
stress
分类号
TP212.44 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于激光自混合干涉的高精度角度测量方法
被引量:
8
3
作者
朱均超
许虹虹
张海彤
左铭
赵岩
机构
天津理工大学光电器件与通信技术教育部工程研究中心
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第1期37-41,共5页
基金
国家自然科学基金项目(No.61803281)
天津市自然科学基金项目(No.18JCQNJC75500)
天津市教委科研计划项目(No.2017KJ253)资助。
文摘
针对光学高精度角度测量技术的需求,基于激光自混合干涉技术提出一种高精度角度测量方法。建立了激光自混合干涉技术高精度测量角度的系统模型,利用干涉条纹计数法分析出目标物体具有角度变化时,外腔长度产生的变化量,并通过激光三角法测量原理计算出目标物体旋转的角度,从而构建出精确的角度测量系统。实验结果表明:该测量系统在±0.4°角度范围内测量精度可达(±3.1×10-3)°,具有精度高、速度快等显著优势,是对现有高精度角度测量技术的一种有益补充。
关键词
激光自混合干涉
高精度角度测量
干涉条纹计数法
激光三角法
Keywords
laser self-mixing interference
high-precision angle measurement
interference fringe counting method
laser triangulation
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于X-LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si低温漂、大机电耦合SH-SAW谐振器的设计
温福军
王园园
钱莉荣
王荔田
李翠平
熊阳
田亚会
李红浪
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024
0
在线阅读
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职称材料
2
基于水凝胶溶胀特性的全光纤萨格纳克环pH传感器
卢琪
刘正宇
薛力芳
陈志宏
张海伟
《光电技术应用》
2024
0
在线阅读
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职称材料
3
基于激光自混合干涉的高精度角度测量方法
朱均超
许虹虹
张海彤
左铭
赵岩
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2020
8
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职称材料
已选择
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