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不同能量离子束辅助沉积对形成氮化钛薄膜性能的影响
被引量：
13
1
作者
李立
赵杰
+1 位作者
李德军
顾汉卿
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期520-523,526,共5页
用不同能量离子束辅助沉积方法在医用不锈钢317L和Si(100)基底上沉积TiN薄膜。通过X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)和俄歇电子能谱(AES)分析研究了薄膜的结构特征;测试了薄膜与基底的附着力和耐磨性;用电化学腐蚀的方法检测了...
用不同能量离子束辅助沉积方法在医用不锈钢317L和Si(100)基底上沉积TiN薄膜。通过X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)和俄歇电子能谱(AES)分析研究了薄膜的结构特征;测试了薄膜与基底的附着力和耐磨性;用电化学腐蚀的方法检测了薄膜在Hank′s模拟体液中的耐腐蚀性能;最后采用成纤维细胞、骨髓细胞体外培养试验考察了生长于不同薄膜表面的细胞粘附、增殖、展布情况及细胞的形态。研究结果表明:用高、低能氮离子兼用的IBAD方法制备的TiN多晶薄膜比只用高能或低能沉积的薄膜具有更强的附着力和耐磨性,在Hank′s模拟体液中显示出更强的抗腐蚀能力,并在细胞体外培养中显示出良好的细胞相容性。
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关键词
离子束辅助沉积(IBAD)
氮化钛(TiN)
附着力
耐腐蚀
细胞体外培养
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职称材料
题名
不同能量离子束辅助沉积对形成氮化钛薄膜性能的影响
被引量：
13
1
作者
李立
赵杰
李德军
顾汉卿
机构
天津师范大学物理与电子信息学院材料研究所
天津
医科
大学
泌尿外科
研究所
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期520-523,526,共5页
基金
天津市自然科学基金资助项目(023613611)
天津师范大学与南开大学
天津大学合作资助项目(GJDF01)
文摘
用不同能量离子束辅助沉积方法在医用不锈钢317L和Si(100)基底上沉积TiN薄膜。通过X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)和俄歇电子能谱(AES)分析研究了薄膜的结构特征;测试了薄膜与基底的附着力和耐磨性;用电化学腐蚀的方法检测了薄膜在Hank′s模拟体液中的耐腐蚀性能;最后采用成纤维细胞、骨髓细胞体外培养试验考察了生长于不同薄膜表面的细胞粘附、增殖、展布情况及细胞的形态。研究结果表明:用高、低能氮离子兼用的IBAD方法制备的TiN多晶薄膜比只用高能或低能沉积的薄膜具有更强的附着力和耐磨性,在Hank′s模拟体液中显示出更强的抗腐蚀能力,并在细胞体外培养中显示出良好的细胞相容性。
关键词
离子束辅助沉积(IBAD)
氮化钛(TiN)
附着力
耐腐蚀
细胞体外培养
Keywords
ion beam assisted deposition (IBAD)
titanium nitride (TiN)
mechanical properties
corrosion
cell culture
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
不同能量离子束辅助沉积对形成氮化钛薄膜性能的影响
李立
赵杰
李德军
顾汉卿
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
13
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