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热压硫化锌基底上类金刚石膜的设计与实现
被引量：
1
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作者
洪伟
赵友博
+1 位作者
张铁群
隋承林
《光电技术应用》
2007年第6期41-44,共4页
讨论了在ZnS窗口和整流罩上实现DLC膜的方法，给出了膜系和实验结果．从测试结果可以看出。ZnS基片、Si膜和DLC膜在7-10μm的平均透过率比以往的双面减反射膜有了明显的提高，不仅满足了技术指标的要求，而且也有利于DLC膜应用领域的进...
讨论了在ZnS窗口和整流罩上实现DLC膜的方法，给出了膜系和实验结果．从测试结果可以看出。ZnS基片、Si膜和DLC膜在7-10μm的平均透过率比以往的双面减反射膜有了明显的提高，不仅满足了技术指标的要求，而且也有利于DLC膜应用领域的进一步拓展．
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关键词
硫化锌
类金刚石膜
化学气相沉积
热压
射频等离子放电法
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职称材料
题名
热压硫化锌基底上类金刚石膜的设计与实现
被引量：
1
1
作者
洪伟
赵友博
张铁群
隋承林
机构
航天科工集团三院
南开大学现代光学研究所光电信息技术科学教育部重点实验室
天津市道路桥梁管理处机械修理厂
出处
《光电技术应用》
2007年第6期41-44,共4页
基金
光电信息技术科学教育部重点实验室资助项目(2005-19)
文摘
讨论了在ZnS窗口和整流罩上实现DLC膜的方法，给出了膜系和实验结果．从测试结果可以看出。ZnS基片、Si膜和DLC膜在7-10μm的平均透过率比以往的双面减反射膜有了明显的提高，不仅满足了技术指标的要求，而且也有利于DLC膜应用领域的进一步拓展．
关键词
硫化锌
类金刚石膜
化学气相沉积
热压
射频等离子放电法
Keywords
ZnS
diamond-like-carbon
chemistry vaporization deposition
hot press
radio frequency chemistry vaporization deposition
分类号
TQ129 [化学工程—无机化工]
TB43 [一般工业技术]
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作者
出处
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1
热压硫化锌基底上类金刚石膜的设计与实现
洪伟
赵友博
张铁群
隋承林
《光电技术应用》
2007
1
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