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柔性SrTiO_3/Ag/SrTiO_3复合结构透明导电薄膜的制备和性能研究
1
作者
董清臣
葛磊蛟
+1 位作者
孙永涛
于仕辉
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第5期50-55,共6页
为获得高性能的柔性透明导电薄膜,采用磁控溅射技术在柔性PC衬底上制备出了STO(30nm)/Ag/STO(30nm)复合结构透明导电薄膜.分别对不同中间Ag层厚度薄膜的结构、光学和电学性质进行了研究.研究发现:随着中间Ag层厚度的增加,可见光区的平...
为获得高性能的柔性透明导电薄膜,采用磁控溅射技术在柔性PC衬底上制备出了STO(30nm)/Ag/STO(30nm)复合结构透明导电薄膜.分别对不同中间Ag层厚度薄膜的结构、光学和电学性质进行了研究.研究发现:随着中间Ag层厚度的增加,可见光区的平均透过率先增大后减小,电阻率和方块电阻持续减小;当中间Ag层厚度为11nm时,复合结构透明导电薄膜具有最佳的品质因子为14.23×10^(-3)Ω^(-1),此时,其可见光区平均透过率为82%,方块电阻为9.2Ω/sq..
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关键词
薄膜
光学材料
磁控溅射沉积
透明导电薄膜
柔性
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职称材料
题名
柔性SrTiO_3/Ag/SrTiO_3复合结构透明导电薄膜的制备和性能研究
1
作者
董清臣
葛磊蛟
孙永涛
于仕辉
机构
平顶山工业职业技术学院自动化与信息工程学院
天津大学
电气自动化与信息工程学院
天津大学力学系天津市非线性动力学与控制重点实验室
天津大学
微电子学院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第5期50-55,共6页
基金
国家自然科学基金(Nos.61701338
11502162)资助~~
文摘
为获得高性能的柔性透明导电薄膜,采用磁控溅射技术在柔性PC衬底上制备出了STO(30nm)/Ag/STO(30nm)复合结构透明导电薄膜.分别对不同中间Ag层厚度薄膜的结构、光学和电学性质进行了研究.研究发现:随着中间Ag层厚度的增加,可见光区的平均透过率先增大后减小,电阻率和方块电阻持续减小;当中间Ag层厚度为11nm时,复合结构透明导电薄膜具有最佳的品质因子为14.23×10^(-3)Ω^(-1),此时,其可见光区平均透过率为82%,方块电阻为9.2Ω/sq..
关键词
薄膜
光学材料
磁控溅射沉积
透明导电薄膜
柔性
Keywords
Thin films
Optical materials
Magnetron sputtering deposition
Transparent conductivefilms
Flexible
分类号
TN305.05 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
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1
柔性SrTiO_3/Ag/SrTiO_3复合结构透明导电薄膜的制备和性能研究
董清臣
葛磊蛟
孙永涛
于仕辉
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
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