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应用位置敏感探测器检测平面度的方法研究 被引量:4
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作者 韩金玉 王守志 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2016年第7期82-85,共4页
为实现平面度误差值的在线检测,文章在分析平面度最小二乘法评定方法和位置敏感探测器测距原理的基础上,提出了一种基于应用直射式光学三角法的平面度在线检测方法,并设计了一种试验装置。该方法首先应用3组位置敏感探测器检测组件逐次... 为实现平面度误差值的在线检测,文章在分析平面度最小二乘法评定方法和位置敏感探测器测距原理的基础上,提出了一种基于应用直射式光学三角法的平面度在线检测方法,并设计了一种试验装置。该方法首先应用3组位置敏感探测器检测组件逐次检测被测表面的Z向偏离值,确定各被测点的坐标值,然后应用最小二乘法计算平面度,评定基准面后,计算平面度误差值。仿真试验结果表明,文中方法对于一般平面的测量精度较高,优于千分尺指示器法,其测量结果可靠有效。 展开更多
关键词 平面度 检测 位置敏感探测器
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