PZT压电薄膜无阀微泵的制备工艺及实验研究 被引量：5

1

作者 杜立群 高晓光 +1 位作者 董维杰 吕岩 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第4期492-494,共3页

介绍了一种基于PZT薄膜的无阀压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件,采用收缩管/扩张管结构,压电圆型致动片和PDMS泵膜的组合可产生较大的泵腔体积改变。在对微泵制备工艺研究的基础上,... 介绍了一种基于PZT薄膜的无阀压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件,采用收缩管/扩张管结构,压电圆型致动片和PDMS泵膜的组合可产生较大的泵腔体积改变。在对微泵制备工艺研究的基础上,对其性能进行了实验研究,结果表明:电压和频率对流速均有显著影响。在7.5 V1、80 Hz的正弦电压驱动下,该压电微泵的最大输出流速为2.05μL/min。该文制作的微泵具有流量稳定,驱动电压较低,性能稳定可靠和易控制等优点,可满足微流体系统的使用要求。 展开更多

关键词 PZT压电薄膜 无阀微泵 PDMS泵膜 收缩管/扩张管

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低维纳米材料的力学性能测试技术研究进展 被引量：6

2

作者 张段芹 刘建秀 褚金奎 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第7期451-457,共7页

低维纳米材料作为纳机电系统(NEMS)中重要的结构层材料,其力学性能与变形失效机理的研究直接影响NEMS的功能实现、可靠性分析与寿命预测。首先,介绍了现有低维纳米材料力学性能测试技术,如纳米压痕法、基于原子力显微镜(AFM)的纳米力学... 低维纳米材料作为纳机电系统(NEMS)中重要的结构层材料,其力学性能与变形失效机理的研究直接影响NEMS的功能实现、可靠性分析与寿命预测。首先,介绍了现有低维纳米材料力学性能测试技术,如纳米压痕法、基于原子力显微镜(AFM)的纳米力学测试法、基于电子显微镜(EM)的原位纳米力学测试法与基于微机电系统(MEMS)技术的片上纳米力学测试法,并讨论了各种测试方法的优缺点与存在的挑战性。然后,详细介绍了低维纳米材料力学测试,特别是片上纳米力学测试中的关键技术,如低维微纳米试样的拾取、操纵与固定技术、片上微驱动技术、片上微位移与微力检测技术。最后,得出基于MEMS技术的片上力学测试方法有望成为低维纳米材料力学测试的发展方向,并指出此方法中存在的问题。 展开更多

关键词 低维纳米材料 力学性能 测试技术 片上测试 纳机电系统(NEMS)

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适用于微纳流控芯片对准连接的微装配系统 被引量：1

3

作者 徐征 王德佳 +2 位作者 刘云亮 王俊尧 刘冲 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第3期194-198,共5页

针对微纳流控芯片等器件的对准装配问题,分析了具体操作要求,建立了一套包含显微光学观测单元、机械进给调整和器件吸取-放置等的微装配系统,采用暗场照明观测微纳结构,高精度移动平台精确调整基片与盖片之间的角度与位置,利用真空吸附... 针对微纳流控芯片等器件的对准装配问题,分析了具体操作要求,建立了一套包含显微光学观测单元、机械进给调整和器件吸取-放置等的微装配系统,采用暗场照明观测微纳结构,高精度移动平台精确调整基片与盖片之间的角度与位置,利用真空吸附的方法抓取和释放。采用该系统成功地制造了多种可用的微纳流控芯片,以玻璃微纳流控芯片的对准装配为示范开展了实验研究,对准结果表明,该系统能够完成宽53μm,深18μm的微通道与宽3μm,深50~260nm的纳通道的对准连接任务。采用本系统进行芯片对准装配的方法具有仪器成本低、使用灵活和易于互换的优点,适合实验室及小批量生产使用。 展开更多

关键词 微装配 微纳流控芯片 对准 暗场照明 真空吸附

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微装配中变焦变倍视觉系统标定及自动聚焦 被引量：2

4

作者 任同群 黄海亭 +1 位作者 王晓东 刘钰 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第11期193-202,共10页

在微装配中,采用变焦变倍视觉系统可以有效解决测量范围与精度的矛盾,但同时也引入了动态标定和实时自动聚焦的新问题。为此,对变焦变倍显微视觉系统的标定和自动聚焦技术展开研究。在标定方面,首先通过变倍率法完成图像主点的标定。基... 在微装配中,采用变焦变倍视觉系统可以有效解决测量范围与精度的矛盾,但同时也引入了动态标定和实时自动聚焦的新问题。为此,对变焦变倍显微视觉系统的标定和自动聚焦技术展开研究。在标定方面,首先通过变倍率法完成图像主点的标定。基于平面靶标定法,采用单视图单应矩阵分解对固定倍率下相机内外参数进行线性标定,再引入畸变模型,并由量子行为粒子群优化算法对标定结果进行非线性优化,优化之后的最大反投影误差约为0.13 pixel,平均反投影误差约为0.1 pixel。此外,通过高斯曲线拟合完成对任意工作状态下视觉系统放大倍数的校准。在自动聚焦方面,针对传统灰度梯度函数只考虑固定梯度方向且易受噪声影响的问题,采用八邻域最大梯度阈值的自动调焦算法,通过梯度阈值提高算法的抗噪性。与其他几种灰度梯度调焦函数相比,该算法的单峰性好,抗噪性强。 展开更多

关键词 变焦变倍显微视觉系统 标定 量子行为粒子群优化 自动调焦

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基于温度原位监测的微反应器在HNS微流道制备过程中的应用 被引量：1

5

作者 黄健 时育坤 +6 位作者 和欣 张松 韩瑞山 周继明 张方 吴梦希 刘军山 《火炸药学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期559-565,I0005,共8页

针对含能材料微流道制备过程中缺乏温度原位监测手段的问题,提出一种集成薄膜温度传感器的微反应器系统;微反应器由包含薄膜温度传感器的玻璃基片与包含微流道的硅基片键合组成;微流道的上游、中游、下游分别放置了3个温度传感器,以实... 针对含能材料微流道制备过程中缺乏温度原位监测手段的问题,提出一种集成薄膜温度传感器的微反应器系统;微反应器由包含薄膜温度传感器的玻璃基片与包含微流道的硅基片键合组成;微流道的上游、中游、下游分别放置了3个温度传感器,以实现微反应过程中高空间分辨率的温度测量;基于该微反应器,搭建了六硝基茋(HNS)连续化微流道制备系统,实时监测了HNS微纳米化及球形化过程中的温度变化。结果表明,微反应器具有精度高、耐腐蚀、可观测的优点;HNS微纳米化是一个放热反应,流体最大温升为6.4℃,由于HNS的逐渐析出,流体中的固体含量增大,流速变慢,流体温度的分布发生变化;在HNS球形化过程中,两相流体的混合是一个放热过程,流体最大温升为2.3℃;微流道中游处的温度明显高于上游与下游,说明当液滴流动至中游时,HNS微球已经制备完成。 展开更多

关键词 物理化学 微反应器 薄膜温度传感器 实时温度监测 六硝基芪 HNS 微流控

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基于STM32的微流控芯片离心进样机设计

6

作者 宋满仓 张泽朋 刘军山 《电子设计工程》 2024年第17期73-77,共5页

针对某种微流控芯片在使用过程中需要保证微腔室全部充满样品液的要求,设计了基于STM32单片机的离心进样机。硬件方面,选用STM32F103ZET6型单片机作为控制器,选用ECMAC20602RS型伺服电机作为驱动电机,选用TK6051iP型触摸屏作为人机交互... 针对某种微流控芯片在使用过程中需要保证微腔室全部充满样品液的要求,设计了基于STM32单片机的离心进样机。硬件方面,选用STM32F103ZET6型单片机作为控制器,选用ECMAC20602RS型伺服电机作为驱动电机,选用TK6051iP型触摸屏作为人机交互界面,设计了设备的整体硬件结构。软件方面,编写了基于Modbus协议的串口通信程序,设计了触摸屏人机交互界面,设计了设备的控制程序流程。通过实验对设备的功能进行了测试,实验结果表明,当转速和时间分别设置为1500 r/min和120 s时,微腔室全部充满样品,并且没有出现液体渗漏,满足了微流控芯片的进样要求。 展开更多

关键词 STM32 微流控芯片 离心机 进样

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微型PCR系统及其温控特性研究 被引量：1

7

作者 国石磊 刘泽文 +2 位作者 秦健 田昊 司卫华 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1204-1208,共5页

介绍了一种基于芯片的微型聚合酶链式反应(polymerase chain reaction,PCR)系统,利用该系统进行了温度控制和响应特性研究。系统由PCR芯片、封装PCB板及单片机控制系统组成。PCR芯片采用MEMS技术制作。用微型PCR系统对芯片上含有微加热... 介绍了一种基于芯片的微型聚合酶链式反应(polymerase chain reaction,PCR)系统,利用该系统进行了温度控制和响应特性研究。系统由PCR芯片、封装PCB板及单片机控制系统组成。PCR芯片采用MEMS技术制作。用微型PCR系统对芯片上含有微加热器的反应仓进行了升温降温、循环温度和液体负载对比加热等实验。结果显示:微加热器升温速度可以达到3℃/s,降温速度可以达到1℃/s,稳定后温度变化小于0.1℃。通过实验结果与理论计算的对比,分析了微加热器的最高温度与加热功率之间的对应关系及提高温控特性的关键因素。 展开更多

关键词 PCR芯片 MEMS 微加热器 温控特性

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面向生产线的全自动微小零件装配系统研制 被引量：2

8

作者 牛文婷 张志勇 +1 位作者 王晓东 高习义 《内燃机与配件》 2019年第7期17-20,共4页

为面向生产线实现微小零件的全自动装配,对装配前自动上料、装配后零件的自动锁紧、机械臂模块设计和装配过程中零件视觉定位策略等问题进行了研究。首先,系统采用模块化设计结构,设计了装配作业模块,视觉测量模块,装配平台模块和上料... 为面向生产线实现微小零件的全自动装配,对装配前自动上料、装配后零件的自动锁紧、机械臂模块设计和装配过程中零件视觉定位策略等问题进行了研究。首先,系统采用模块化设计结构,设计了装配作业模块,视觉测量模块,装配平台模块和上料平台模块四部分,为适应生产线操作实现自动化装配,设计了自动上下料模块。然后,为实现多种零件的稳定拾取和装配设计了集成力传感器单元和柔性单元的机械臂,同时设计了锁紧夹具能够实现零件装配后的自动锁紧。最后,针对零件制定合理的装配策略,利用视觉测量的方法获得零件的位置和位姿信息实现零件的装配。实验结果表明:该装配系统可以实现微小零件自动装配的任务。 展开更多

关键词 自动装配 机械臂单元 自动锁紧 视觉测量

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精密加速度计组件自动装配及焊接系统

9

作者 刘正尧 罗怡 +1 位作者 王晓东 钱志龙 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2024年第9期89-97,共9页

悬丝摆式加速度计广泛应用于航空、航天、惯性导航等领域,其装配质量对加速度测量精度有很大的影响,其关键组件的装配涉及位置和姿态的调整,同时悬丝在装配中需要控制张紧力并完成焊接。针对悬丝摆式加速度计组件的精密装配,研发了集成... 悬丝摆式加速度计广泛应用于航空、航天、惯性导航等领域,其装配质量对加速度测量精度有很大的影响,其关键组件的装配涉及位置和姿态的调整,同时悬丝在装配中需要控制张紧力并完成焊接。针对悬丝摆式加速度计组件的精密装配,研发了集成力、温度传感器和机器视觉的精密装配及焊接系统。采用相机配合转台实现待装配零件视觉测量,完成零件特征点的识别定位;利用精密滑台和转台调整待装配零件位姿;直线电机运动结合力反馈实现装配过程中零件间隙调整以及张紧力控制;开发专用焊接单元,实现在紧凑空间内对微小器件的自动温控焊接。试验结果表明,该系统能够完成加速度计组件自动装配及焊接,装配结果满足技术指标要求,焊点无虚焊,摆组件内边缘相对于磁钢边缘间隙偏差小于10μm,悬丝中心相对于加速度计底座地面位置精度优于20μm,悬丝张紧力偏差控制在±5 mN之内,能够达到产品装配质量要求。 展开更多

关键词 加速度计 精密装配 自动焊接 机器视觉 力反馈 误差测量

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基于振动沉桩机的振动摩擦系统动力学分析 被引量：5

10

作者 滕云楠 李小彭 +1 位作者 杨铎 闻邦椿 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1015-1018,共4页

以振动沉桩机为例,研究了振动摩擦在沉拔桩机这一典型机械中的应用.建立了非线性动力学模型,采用龙格库塔法对振动沉桩机进行了数值仿真,得到了系统的动力学特性.仿真结果表明:随着激振力幅值和频率的增大,桩的振幅有一定的增大;随着激... 以振动沉桩机为例,研究了振动摩擦在沉拔桩机这一典型机械中的应用.建立了非线性动力学模型,采用龙格库塔法对振动沉桩机进行了数值仿真,得到了系统的动力学特性.仿真结果表明:随着激振力幅值和频率的增大,桩的振幅有一定的增大;随着激振力幅值的减小,桩的振幅有一定减小;随着激振力频率的减小,桩的振幅变化不大;改变系统刚度,桩的振幅有明显变化. 展开更多

关键词 振动摩擦 振动沉桩 摩擦阻力 龙格库塔法

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微流控芯片设计方法研究进展 被引量：1

11

作者 陈雪叶 刘冲 +2 位作者 徐征 徐辉 王立鼎 《分析科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期423-427,共5页

本文综述了微流控芯片设计方法的研究进展,归纳和总结了目前主要的设计方法,包括数值模拟法和基于宏模型的设计方法。最后介绍了宏-微模型设计方法,通过建立宏-微接口,实现了数值模拟和宏模型的灵巧桥接,有助于改善微流控芯片设计方法... 本文综述了微流控芯片设计方法的研究进展,归纳和总结了目前主要的设计方法,包括数值模拟法和基于宏模型的设计方法。最后介绍了宏-微模型设计方法,通过建立宏-微接口,实现了数值模拟和宏模型的灵巧桥接,有助于改善微流控芯片设计方法的兼容性和自适应性。 展开更多

关键词 宏-微模型 微流控芯片 宏模型 行为建模

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基于C8051F064单片机的高速数据采集与存储系统 被引量：2

12

作者 李楠 王晓东 +1 位作者 王涛 尹东 《电子器件》 CAS 2007年第2期628-632,共5页

利用C8051F064单片机实现数据采集与存储系统,它体积小,重量轻,性价比较高.介绍了单片机和其它相关器件的使用方法.说明了数字交叉开关、DMA控制器和ADC转换器的软件配置方法.分析了ADC转换器单端模式下对电压信号的采集过程和DMA控制... 利用C8051F064单片机实现数据采集与存储系统,它体积小,重量轻,性价比较高.介绍了单片机和其它相关器件的使用方法.说明了数字交叉开关、DMA控制器和ADC转换器的软件配置方法.分析了ADC转换器单端模式下对电压信号的采集过程和DMA控制器对外部存储器写入数据的过程.对数据采集的时间间隔进行了分析.数据采集与存储系统采样频率可以达到1Ms/s,并有16位A/D采样分辨率.介绍了如何利用两个相同系统级联的方法获得2Ms/s的采样频率. 展开更多

关键词 单片机 采样频率 数字交叉开关 单端模式

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装配式惯性开关的兆声辅助微电铸均匀性研究 被引量：1

13

作者 杜立群 董雅坤 +3 位作者 郭柄江 蔡小可 王帅 李经民 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2023年第13期14-21,共8页

在装配式惯性开关的电铸过程中,电场的边缘效应干扰了电力线在阴阳极间的均匀分布,导致铸层厚度均匀性问题突显,使得制作周期延长。为了缩短装配式惯性开关的制作周期,将兆声波引入到微电铸过程,以装配式惯性开关中电铸均匀性最差的滑... 在装配式惯性开关的电铸过程中,电场的边缘效应干扰了电力线在阴阳极间的均匀分布,导致铸层厚度均匀性问题突显,使得制作周期延长。为了缩短装配式惯性开关的制作周期,将兆声波引入到微电铸过程,以装配式惯性开关中电铸均匀性最差的滑块结构为例,开展改善微电铸层均匀性的研究工作。首先,利用COMSOL仿真分析软件对滑块结构有、无兆声波辅助条件下的微电铸加工过程中的电流密度分布和铸层厚度分布进行仿真。仿真结果表明,相对于无兆声波辅助微电铸加工,兆声波辅助微电铸加工可以有效改善铸层厚度均匀性。兆声波功率密度越大,铸层厚度均匀性越好。在数值模拟的基础上,对兆声波辅助电铸过程展开试验研究。试验结果表明,相对于无兆声波辅助微电铸加工,双向加载2.4 W/cm^(2)的兆声波辅助微电铸加工的铸层厚度均匀性提高了51.78%,试验与仿真结果趋势一致。基于仿真和试验结果,将双向加载2.4 W/cm^(2)的兆声波引入微电铸工艺,制作了总体尺寸20 mm×20 mm、总高度900μm,符合设计要求的装配式惯性开关。与无兆声波辅助微电铸制作完成的装配式惯性开关相比,制作时间缩短了25%。 展开更多

关键词 装配式开关 电铸均匀性 兆声波辅助电铸 功率密度 有限元分析

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一种微流控芯片进样主通道密封装置 被引量：1

14

作者 宋满仓 孙宇 刘军山 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第7期1132-1138,共7页

为了满足高密度阵列薄膜微流控芯片在使用过程中,当反应液离心进入微反应腔室后需要进行独立密封的要求,研制了一种机械密封装置。微流控芯片由铝箔盖片、聚丙烯(PP)基片和PP支架组成。通过采用密封装置对微流控芯片进样主通道进行密封... 为了满足高密度阵列薄膜微流控芯片在使用过程中,当反应液离心进入微反应腔室后需要进行独立密封的要求,研制了一种机械密封装置。微流控芯片由铝箔盖片、聚丙烯(PP)基片和PP支架组成。通过采用密封装置对微流控芯片进样主通道进行密封来实现微反应腔室的隔绝密封。通过实验发现,机械密封装置刀头的结构与尺寸会对密封结果产生较大影响。通过增加刀头厚度和使用圆刀头,不仅能大大降低对铝箔盖片的破坏,而且可以避免产生空腔现象。实验结果表明,改进刀头后,铝箔通道底端粗糙度平均值降低了38.7%,通道最低处的铝箔厚度破坏量减少了85%。 展开更多

关键词 微流控芯片 独立密封 密封装置 主通道 刀头

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微沟槽结构注塑成形的充型过程计算方法 被引量：3

15

作者 刘志伟 刘冲 +2 位作者 徐征 杨铎 刘军山 《计算力学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1085-1089,共5页

微注塑成形制造方法适合于热塑性材料微小型器件大批量加工,对微注塑关键步骤——充型进行分析计算,有助于微注塑工艺参数和模具结构优化。目前研究表明,微尺度聚合物熔体流动与常规流动存在显著差异,采用常规尺度流动计算分析工具会带... 微注塑成形制造方法适合于热塑性材料微小型器件大批量加工,对微注塑关键步骤——充型进行分析计算,有助于微注塑工艺参数和模具结构优化。目前研究表明,微尺度聚合物熔体流动与常规流动存在显著差异,采用常规尺度流动计算分析工具会带来较大偏差。本文以开源计算代码OpenFOAM为基础,综合由实验获得的熔体表面特性规律和粘度变化规律等,采用面向对象编程方法构建了熔体填充微结构型腔流动过程的计算模块,以微流体器件中的典型微结构——微沟槽注塑充型过程为例进行数值模拟,分析了表面力和粘度作用对其注塑充型填充率的影响。 展开更多

关键词 微注塑 非牛顿流体 表面张力 数值模拟

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组合惯导-RTK的挖掘机周边点云采集系统 被引量：2

16

作者 郑文远 李旭东 +2 位作者 郭正刚 刘冲 李经民 《激光杂志》 北大核心 2018年第6期82-88,共7页

针对目前激光雷达三维点云采集系统多存在着成本高,结构复杂,应用限制条件多等问题,结合实际工程需求,设计了基于惯导-RTK单线二维激光雷达的挖掘机周边三维点云采集系统。以RTK时间为基准,系统中的同步控制模块将两台激光雷达进行同步... 针对目前激光雷达三维点云采集系统多存在着成本高,结构复杂,应用限制条件多等问题,结合实际工程需求,设计了基于惯导-RTK单线二维激光雷达的挖掘机周边三维点云采集系统。以RTK时间为基准,系统中的同步控制模块将两台激光雷达进行同步,并根据RTK数据的Lagrange插值结果获取激光雷达的位姿信息,将二维激光数据转换为三维点云;设计了基于网格的点云数据管理模块,实现对点云数据的动态管理;采用四元组法对系统内各个坐标系进行标定。在2km的场地范围内,试验结果表明,与传统激光雷达点云采集系统相比,系统可以保证实时性、稳定性和10cm内的点云精度,且成本较低,结构简单,具有较强的实用性。 展开更多

关键词 激光雷达 挖掘机 点云采集 RTK插值 数据管理 定位

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PDMS多层次蘑菇形微结构的制作 被引量：2

17

作者 单晗 刘军山 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第5期395-398,408,共5页

提出了一种基于光刻胶牺牲层技术的用于制作多层次SU-8模具的新方法,并进一步采用浇注成型的方法制作了聚二甲基硅氧烷(PDMS)多层次蘑菇形微结构。在多层次SU-8模具的制作过程中,使用了正性光刻胶BP212作为牺牲层,并采用超声辅助显影的... 提出了一种基于光刻胶牺牲层技术的用于制作多层次SU-8模具的新方法,并进一步采用浇注成型的方法制作了聚二甲基硅氧烷(PDMS)多层次蘑菇形微结构。在多层次SU-8模具的制作过程中,使用了正性光刻胶BP212作为牺牲层,并采用超声辅助显影的方法使显影的时间大大缩短。通过对多层次SU-8模具预处理,有效减小了多层次SU-8模具与PDMS的结合力,从而提高了PDMS脱模的成功率。对制作的PDMS多层次蘑菇形微结构和PDMS单层次微柱结构进行了接触角测试。结果表明,PDMS多层次蘑菇形微结构的接触角为150.93°±1.6°,PDMS单层次微柱结构的接触角为139.19°±0.1°。由此可知PDMS多层次蘑菇形微结构具有优异的超疏水性能。 展开更多

关键词 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 多层次 蘑菇形微结构 牺牲层 SU-8 超疏水

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多零件轴孔精密过盈装配 被引量：5

18

作者 罗怡 王东辉 +3 位作者 王晓东 张涛 王密信 严卫 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期111-116,共6页

为了实现多圆环零件的高精度轴孔过盈配合装配,研制了基于力传感器、光栅尺和工业内窥镜的精密装配及检测系统.设计了柔顺夹持机构,克服了被装配零件与模具装配孔之间的径向定位偏差所引起装配卡阻,提出了装配力/刚度位置补偿方法,在被... 为了实现多圆环零件的高精度轴孔过盈配合装配,研制了基于力传感器、光栅尺和工业内窥镜的精密装配及检测系统.设计了柔顺夹持机构,克服了被装配零件与模具装配孔之间的径向定位偏差所引起装配卡阻,提出了装配力/刚度位置补偿方法,在被装配零件外径有10μm制造公差的情况下实现了精确定位.对狭小无照明空间内零件的在线检测,应用内窥镜解耦视觉检测方法,通过控制内窥镜移动的光栅尺的位置信息和采集到的图像信息获得被装配环片的精确位置信息.装配和检测实验表明:圆环零件装配的误差在-9.4～6.1μm之间,内窥镜检测的不确定度在-1.7～8.2μm之间.所研制的系统能够满足圆环类零件的精密装配及检测要求. 展开更多

关键词 轴孔过盈装配 内窥镜检测 精密装配 装配力 刚度位置补偿 柔顺夹持

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UV-LIGA工艺中SU-8光刻胶的热溶胀性研究 被引量：5

19

作者 杜立群 朱神渺 刘冲 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第5期621-623,共3页

对SU-8胶的热溶胀效应及其机理进行了研究,在现有微模具的UV-LIGA工艺的基础上,利用AN-SYS对SU-8胶的热溶胀性规律进行了仿真分析。通过SU-8胶模的溶胀实验,建立了热溶胀变形的速率模型,并计算了不同电铸时间下微模具的顶部线宽,计算结... 对SU-8胶的热溶胀效应及其机理进行了研究,在现有微模具的UV-LIGA工艺的基础上,利用AN-SYS对SU-8胶的热溶胀性规律进行了仿真分析。通过SU-8胶模的溶胀实验,建立了热溶胀变形的速率模型,并计算了不同电铸时间下微模具的顶部线宽,计算结果与实验值基本吻合。仿真结果可用来优化掩模图形的设计及预测电铸后微模具的尺寸。 展开更多

关键词 UV-LIGA SU-8胶 微电铸 热溶胀性

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铁电薄膜电滞回线测量的快速数值补偿方法研究 被引量：2

20

作者 董维杰 崔岩 王兢 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期2557-2560,共4页

测量铁电薄膜电滞回线必须补偿漏电阻和线性电容的影响.本文采用Sawyer-Tower改进电路,分析了在正弦激励电场下漏电阻和线性电容对自发极化的影响,指出二者分别关于饱和极化点奇对称和偶对称;利用正峰值饱和极化点及其前后相邻两点共3... 测量铁电薄膜电滞回线必须补偿漏电阻和线性电容的影响.本文采用Sawyer-Tower改进电路,分析了在正弦激励电场下漏电阻和线性电容对自发极化的影响,指出二者分别关于饱和极化点奇对称和偶对称;利用正峰值饱和极化点及其前后相邻两点共3对激励电压和极化电压,推导出漏电阻和线性电容计算公式,进而可实现电滞回线快速数值补偿.本算法漏电阻和线性电容的计算时间仅为二分法用时的2%. 展开更多

关键词 电滞回线 铁电薄膜 数值补偿 Sawyer-Tower

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