微流控芯片PCR循环温控系统 被引量：6

1

作者 褚德南 刘冲 +1 位作者 罗怡 陈阳 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z1期543-545,共3页

介绍了一种适用于微流控芯片 PCR扩增的新型循环加热系统 ,包括系统可控电源电路设计、控制方案确定及控制算法实验。实验表明该系统消耗试剂量小 ,温度控制准确、稳定 ,适用于微流控芯片 PCR扩增实验。

关键词 微流控芯片 PCR PID控制

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基于MATLAB的微气压传感器测试系统的气压控制仿真 被引量：5

2

作者 陈涛 金仁成 +1 位作者 张凤田 王宏斌 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期1871-1874,共4页

针对微热板式微气压传感器的静态和动态性能测试,对传感器的真空测试环境进行了实时控制仿真.运用模糊控制算法与模糊PID控制算法,对实验进行了建模及MATLAB仿真,并比较了两种算法的控制效果.结果显示,调整系统控制量的模糊PID控制稳态... 针对微热板式微气压传感器的静态和动态性能测试,对传感器的真空测试环境进行了实时控制仿真.运用模糊控制算法与模糊PID控制算法,对实验进行了建模及MATLAB仿真,并比较了两种算法的控制效果.结果显示,调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小,控制效果明显优于模糊控制算法.本仿真结果为实现传感器所需真空测试环境1kPa^100kPa的实时气压控制提供了依据. 展开更多

关键词 微气压传感器 模糊控制 模糊PID控制 MATLAB仿真

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参数自调整模糊控制器在微气压传感器测控系统中的应用研究 被引量：6

3

作者 金仁成 张五金 唐祯安 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期388-392,共5页

为了对真空测控系统进行动态气压控制,提出了一种参数自调整模糊控制器的设计方法。该方法利用参数调整控制器在线自动修正基本模糊控制器的量化因子和比例因子,从而改善基本模糊控制器对任意设定气压的控制性能。此外,在控制算法基础... 为了对真空测控系统进行动态气压控制,提出了一种参数自调整模糊控制器的设计方法。该方法利用参数调整控制器在线自动修正基本模糊控制器的量化因子和比例因子,从而改善基本模糊控制器对任意设定气压的控制性能。此外,在控制算法基础上引入计数器Counter来消除系统的频繁振荡。实验结果表明,该方案具有较好的控制效果,基本上解决了传感器所需真空测试环境1kPa～100kPa的动态气压控制问题。 展开更多

关键词 气压控制 模糊控制 参数自调整 量化因子 比例因子

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机器人柔性腕力传感器及其检测系统 被引量：4

4

作者 王全玉 王晓东 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第6期30-33,37,共5页

介绍了一种集被动柔顺和力传感器于一身的机器人柔性腕力传感器,该传感器采用非接触式的光电检测装置进行位置/姿态变换的检测,检测准确度高,不易受到干扰,通过USB接口与计算机进行数据传输,接口方便。

关键词 机器人 柔性腕力传感器 检测 USB 位置敏感元件

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采用系统理论思想实现新一代防病毒技术

5

作者 王孝通 蔡明伦 华承相 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 1995年第7期62-66,共5页

本文从防病毒角度把病毒分为三类：可检测型病毒、半可检测型病毒和非检测型病毒；提出系统状态转移网络这一中心概念，根据系统状态的可测性、状态间的相容性和循环性来判别ＤＯＳ系统的安全性，并提出了仿真检测判别技术。新一代防病... 本文从防病毒角度把病毒分为三类：可检测型病毒、半可检测型病毒和非检测型病毒；提出系统状态转移网络这一中心概念，根据系统状态的可测性、状态间的相容性和循环性来判别ＤＯＳ系统的安全性，并提出了仿真检测判别技术。新一代防病毒技术从传统地剖析病毒转移到ＤＯＳ系统状态的研究，为全面预防各种计算机病毒奠定了系统理论基础。 展开更多

关键词 计算机病毒 防病毒 系统理论

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一种基于ARM的仿生偏振光测试系统的研究 被引量：8

6

作者 刘利兵 金仁成 +1 位作者 赵开春 姚弘轶 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1788-1791,共4页

针对研制仿生导航微纳传感器的需要,设计了一种以光电二极管为光电转换元件、以ARM微处理器为控制核心的仿生偏振光测试系统.分析了仿生偏振光测试的原理,并对测试系统的硬件设计及基于实时操作系统uC/OS-II的软件开发进行了详细的阐述... 针对研制仿生导航微纳传感器的需要,设计了一种以光电二极管为光电转换元件、以ARM微处理器为控制核心的仿生偏振光测试系统.分析了仿生偏振光测试的原理,并对测试系统的硬件设计及基于实时操作系统uC/OS-II的软件开发进行了详细的阐述.该测试系统成功实现了对特定波段(370nm-520nm)的偏振光信号的采集,并利用三路信号进行了定位角度的计算. 展开更多

关键词 仿生导航微纳传感器 偏振光测试 ARM uC/OS-Ⅱ

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双目显微立体视觉系统标定方法研究 被引量：3

7

作者 李景辉 徐征 +1 位作者 刘冲 陈莉 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第1期105-108,111,共5页

针对显微立体视觉系统光路标定问题,设计并实现一种适合显微立体视觉系统的两步标定方法。首先,对单子光路进行初步的标定,获得放大倍率;然后,以光学工作距离为定值约束,求解内参数;再进行第二步标定求解外参数。对3个常用物镜倍率的体... 针对显微立体视觉系统光路标定问题,设计并实现一种适合显微立体视觉系统的两步标定方法。首先,对单子光路进行初步的标定,获得放大倍率;然后,以光学工作距离为定值约束,求解内参数;再进行第二步标定求解外参数。对3个常用物镜倍率的体视显微镜进行了标定,获得了双光路的焦距、相对位置、倍率等参数的均值、标准差与相对误差,并用左右位移相对平移偏差验证了标定的准确性。研究的显微立体视觉系统标定方法为分析微沟道的半遮挡问题奠定了实验基础。 展开更多

关键词 体视显微镜 显微立体视觉 标定 双目视觉 半遮挡

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集成毛细管电泳芯片研究进展 被引量：11

8

作者 王立鼎 刘军山 +1 位作者 于建群 刘冲 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期385-392,共8页

集成毛细管电泳芯片是一种新型的微全分析系统,它具有被分析的样品用量少、分析速度快、体积小便于携带、成本低等优点.介绍了该芯片的产生和发展过程,综述了芯片的结构、进样方式、检测方法等方面的进展和存在的问题;简述了其主要应用... 集成毛细管电泳芯片是一种新型的微全分析系统,它具有被分析的样品用量少、分析速度快、体积小便于携带、成本低等优点.介绍了该芯片的产生和发展过程,综述了芯片的结构、进样方式、检测方法等方面的进展和存在的问题;简述了其主要应用领域并展望了其应用前景. 展开更多

关键词 集成毛细管电泳芯片 微全分析系统 集成毛细管电泳 芯片结构 进样方式 研究进展

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一种适用于无线多媒体传感器网络的节点不相交多路径路由协议 被引量：7

9

作者 金仁成 秦纪云 +2 位作者 高腾 王立鼎 胡熠东 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1000-1005,共6页

设计了一种适用于无线多媒体传感器网络的高效节点不相交多路径路由协议。以源路由的方式建立多路径,中间节点通过有选择的转发RREQs,降低路由建立开销。将链路质量量化为数据接收率,利用数据接收率、节点能量及路径跳数等,定义了路径... 设计了一种适用于无线多媒体传感器网络的高效节点不相交多路径路由协议。以源路由的方式建立多路径,中间节点通过有选择的转发RREQs,降低路由建立开销。将链路质量量化为数据接收率,利用数据接收率、节点能量及路径跳数等,定义了路径效率模型,将路径效率模型引入到路由建立过程中。仿真结果表明,与SMR及TinyONDMR协议相比,新协议建立路由的开销更低,所建路径上节点能量分布更理想,进行数据传输时的能量效率更高,同时不会显著增加路径的传输时延。 展开更多

关键词 无线多媒体传感器网络 路径效率 节点不相交 多路径路由

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Co-Mo/MCM-41上二苯并噻吩加氢脱硫反应动力学研究 被引量：9

10

作者 王瑶 孙仲超 +5 位作者 王安杰 阮立峰 鲁墨弘 任靖 李翔 姚平经 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期206-211,共6页

以二苯并噻吩(DBT)为模型化合物,在高压滴流床反应器上考察了以MCM-41担载不同原子物质的量比的Co-Mo催化剂的加氢脱硫(HDS)活性,并在总压5.0MPa、温度280～340℃和液时空速30～90h-1条件下,研究了HDS的反应动力学.利用假1级平推流反应... 以二苯并噻吩(DBT)为模型化合物,在高压滴流床反应器上考察了以MCM-41担载不同原子物质的量比的Co-Mo催化剂的加氢脱硫(HDS)活性,并在总压5.0MPa、温度280～340℃和液时空速30～90h-1条件下,研究了HDS的反应动力学.利用假1级平推流反应模型求得了DBT加氢脱硫反应的表观反应速率常数和表观反应活化能.根据DBT加氢脱硫反应网络中氢解路径的速率常数和加氢反应路径的速率常数随Co和Mo原子物质的量比的变化关系可以看出,氢解反应和加氢反应在不同的活性中心上进行,Co的引入强化了催化剂的氢解反应活性.在不同Co和Mo原子物质的量比的催化剂上进行反应时,DBT加氢脱硫反应的表观活化能不同.Co和Mo原子物质的量比为0.25、0.50、0.75和1.0时的表观活化能分别为111.0、92.9、82.1和101.4kJ.mol-1.研究结果表明,表观活化能与反应活性有很好的相关性. 展开更多

关键词 加氢脱硫 反应动力学 二苯并噻吩 HDS 钴-钼催化剂

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基于严格耦合波理论的亚波长金属光栅偏振器设计 被引量：20

11

作者 张娜 褚金奎 +1 位作者 赵开春 孟凡涛 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1739-1743,共5页

亚波长周期结构光栅具有传统光栅所不具有的特殊性质.针对仿生微纳导航系统敏感波段0.52-0.59μm的要求,采用严格耦合波理论分析了不同光栅材料、光栅面型及光栅结构参数对TM偏振透射率及透射消光比的影响,设计了对应的金属偏振光栅.所... 亚波长周期结构光栅具有传统光栅所不具有的特殊性质.针对仿生微纳导航系统敏感波段0.52-0.59μm的要求,采用严格耦合波理论分析了不同光栅材料、光栅面型及光栅结构参数对TM偏振透射率及透射消光比的影响,设计了对应的金属偏振光栅.所设计的光栅与传统金属光栅不同之处在于基底和光栅之间增加了氟化镁介质,在垂直入射条件下,TM偏振透射率及消光比都增大.在0.38μm^0.40μm及0.50μm^0.76μm全光波段内,TM偏振透射率都大于50%,消光比都大于170,达到了宽带宽、TM偏振透射率及透射消光比都较高的要求. 展开更多

关键词 二元光学 亚波长光栅 严格耦合波分析 金属光栅偏振器

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金属薄膜加热器的研究 被引量：10

12

作者 闫卫平 朱剑波 +1 位作者 马灵芝 杜立群 《传感技术学报》 CAS CSCD 2004年第4期615-618,共4页

采用射频溅射方法制备了Cr和Ni-Cr(Ni:80 % ,Cr :2 0 % )金属薄膜 ,探讨了热处理温度和时间对Cr薄膜电阻温度系数和电阻率的影响。在一定直流电压条件下 ,Ni-Cr和Cr薄膜微型加热器的加热温度可达到 10 0℃ ,且升温速率皆大于 0 5 0 C/... 采用射频溅射方法制备了Cr和Ni-Cr(Ni:80 % ,Cr :2 0 % )金属薄膜 ,探讨了热处理温度和时间对Cr薄膜电阻温度系数和电阻率的影响。在一定直流电压条件下 ,Ni-Cr和Cr薄膜微型加热器的加热温度可达到 10 0℃ ,且升温速率皆大于 0 5 0 C/s。通过测量微加热器的电阻温度曲线 ,表明所制备的金属薄膜式微型加热器具有较好的稳定性和重复性 ,能够满足PCR生物芯片和硅基热分布式微流量传感器的要求。 展开更多

关键词 微型加热器 TCR Cr和Ni-Cr薄膜 PCR生物芯片 微流量传感器

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基于微型悬臂梁的发电机制探索 被引量：5

13

作者 杜小振 褚金奎 +1 位作者 朴相镐 张海军 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期41-43,共3页

微机电系统(MEMS)微型化过程中,要求电源装置也必须向微型化发展.在现有微电源研究基础上,结合微型硅悬臂梁的力学分析以及压电晶体材料压电效应特性,提出一种新的压电陶瓷(PZT)微型硅悬臂梁发电装置.借助微型硅悬臂梁质量块的振动和PZ... 微机电系统(MEMS)微型化过程中,要求电源装置也必须向微型化发展.在现有微电源研究基础上,结合微型硅悬臂梁的力学分析以及压电晶体材料压电效应特性,提出一种新的压电陶瓷(PZT)微型硅悬臂梁发电装置.借助微型硅悬臂梁质量块的振动和PZT的正压电效应,实现振动机械能向电能转换.该装置结构简单、体积小、质量小,可以用MEMS集成加工工艺实现结构加工,因此与其他微型MEMS器件可以集成在一个基础上. 展开更多

关键词 微型悬臂梁 压电陶瓷 微能源 MEMS

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压电陶瓷快速响应特性与应用研究 被引量：19

14

作者 王涛 王晓东 王立鼎 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期785-789,共5页

针对压电材料在逆压电效应下具有极快响应速度的特点,研究并测试了压电陶瓷在阶跃激励下阶跃响应时间及其输出特性,利用其响应时间短输出带宽大的特性,研究了压电陶瓷作为激励源在微结构动态测试上的应用,并建立了压电陶瓷底座激励装置... 针对压电材料在逆压电效应下具有极快响应速度的特点,研究并测试了压电陶瓷在阶跃激励下阶跃响应时间及其输出特性,利用其响应时间短输出带宽大的特性,研究了压电陶瓷作为激励源在微结构动态测试上的应用,并建立了压电陶瓷底座激励装置,成功测试了几种MEMS微结构的谐振频率;利用其在极短响应时间内输出大加速度的特点,研究了压电陶瓷在大量程加速度传感器灵敏度测试上的应用,结果显示压电陶瓷瞬时输出最大加速度达上万gn。 展开更多

关键词 压电陶瓷 动态响应 MEMS 加速度

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基于MEMS技术的微型模具制作工艺研究 被引量：8

15

作者 肖日松 杜立群 +2 位作者 刘冲 刘海军 秦江 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期368-371,共4页

针对微型模具的结构和精度要求,在研究硅模具和背板生长两种工艺路线的基础上,提出了无背板生长工艺路线,并介绍了工艺路线中所涉及的三种MEMS加工方法,即UV-LIGA技术中的光刻、微电铸以及硅MEMS加工技术中的湿法刻蚀.实验结果表明,硅... 针对微型模具的结构和精度要求,在研究硅模具和背板生长两种工艺路线的基础上,提出了无背板生长工艺路线,并介绍了工艺路线中所涉及的三种MEMS加工方法,即UV-LIGA技术中的光刻、微电铸以及硅MEMS加工技术中的湿法刻蚀.实验结果表明,硅模具和背板生长模具呈54.74°的斜面,且硅模具容易损坏,背板生长模具受应力影响易产生变形;而无背板生长工艺能够获得侧壁垂直、表面细致、使用寿命长的模具,满足结构和精度要求。 展开更多

关键词 微型模具 MEMS UV-LIGA 光刻 微电铸 湿法刻蚀

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中国MEMS的研究与开发进程 被引量：14

16

作者 王立鼎 罗怡 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2003年第1期1-3,共3页

微机电系统 (MicroElectroMechanicalSystems)是 80年代发展起来的新兴交叉学科 ,其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等。由于该系统能够实现各类产品的微型化、集成化与便携化 ,因而在天上、地... 微机电系统 (MicroElectroMechanicalSystems)是 80年代发展起来的新兴交叉学科 ,其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等。由于该系统能够实现各类产品的微型化、集成化与便携化 ,因而在天上、地面和海洋的诸多领域有广泛的应用与产业前景。本文概括地介绍微机电系统学科的重大意义 ,13年来中国MEMS研发的总体概况 。 展开更多

关键词 中国 MEMS 研究 开发 微机电系统 微型化 集成化

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UV-LIGA技术在微型模具型腔加工中的应用研究 被引量：8

17

作者 庄俭 于同敏 +1 位作者 王敏杰 杜立群 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期106-109,共4页

为了实现微小注射模具型腔的精密加工,针对微小尺度模具型腔的加工难点,通过改良常规UV-LIGA工艺技术,选用合适的基底材料5CrNiMo,采用在基底表面上直接进行电铸生长的无背板生长方法,加工出具有50μm和100μm特征尺寸的哑铃型塑件微型... 为了实现微小注射模具型腔的精密加工,针对微小尺度模具型腔的加工难点,通过改良常规UV-LIGA工艺技术,选用合适的基底材料5CrNiMo,采用在基底表面上直接进行电铸生长的无背板生长方法,加工出具有50μm和100μm特征尺寸的哑铃型塑件微型腔.研究结果表明,无背板方法可实现在钢基底表面上直接通过电铸工艺获得微型模具型腔,省去了电铸背板步骤,既简化了工艺过程、缩短了整个工艺的制造周期,又增强了铸层与基底的结合力,可大大提高模具的形状精度. 展开更多

关键词 UV—LIGA技术 微细加工技术 微注射成型 微流道型腔

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基于MEMS的硅基PZT薄膜微力传感芯片 被引量：6

18

作者 佟建华 刘梦伟 +3 位作者 崔岩 王兢 崔天宏 王立鼎 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2006年第3期335-337,340,共4页

为了测量毫克级的微小力，设计并制造了一种硅基PZT薄膜悬臂式微力传感芯片。采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）方法在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上成功制备了厚度不同（300-800nm）的锆钛酸铅（Pb（ZrxTi1-x）O3）薄膜，薄膜表面均匀，无裂纹。通过... 为了测量毫克级的微小力，设计并制造了一种硅基PZT薄膜悬臂式微力传感芯片。采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）方法在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上成功制备了厚度不同（300-800nm）的锆钛酸铅（Pb（ZrxTi1-x）O3）薄膜，薄膜表面均匀，无裂纹。通过测试和分析，研究了PZT薄膜的制备工艺参数和压电、铁电、阻抗特性。采用微机械加工手段制作了长度为1000μm、500μm、250μm的硅基PZT薄膜微型悬臂结构。当在悬臂的自由端沿着厚度方向施加毫克级的微小力时，微型悬臂就会在厚度方向发生弯曲和振动，通过测量在压电材料表面电极上的电荷量，并通过计算可得到微型悬臂所受的集中力的大小，实现微力的测量。该文还对微力传感芯片的工作方式进行了研究，初步设计了传感器系统模型。 展开更多

关键词 微电子机械系统(MEMS) PZT薄膜 微力传感器 设计 制作

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矩形块微纳结构材料在红外波段的偏振光吸收 被引量：5

19

作者 黎永前 郭勇君 +3 位作者 苏磊 王斌斌 朱振宇 徐征 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期2998-3003,共6页

研究了矩形块微纳结构吸收材料在中远红外波段的光学偏振吸收特性。该吸收材料由金属阵列-电介质层-金属膜组成,在2.0μm^5.0μm波长具有双波长谐振吸收效应,其理论吸收率大于80%。模拟计算和实验测试表明,该吸收材料的短波吸收峰值与... 研究了矩形块微纳结构吸收材料在中远红外波段的光学偏振吸收特性。该吸收材料由金属阵列-电介质层-金属膜组成,在2.0μm^5.0μm波长具有双波长谐振吸收效应,其理论吸收率大于80%。模拟计算和实验测试表明,该吸收材料的短波吸收峰值与矩形块长轴方向入射偏振光的3阶谐振响应对应,而长波吸收峰值与短轴方向基模谐振响应对应。实验制备了矩形阵列光吸收器并测试了它的的光学特性,结果表明:该吸收器结构在两个偏振方向的等效磁导率系数满足Lorentz模型,等效磁导率谱线虚部峰值波长与吸收谐振波长相对应,表明这种吸收材料的偏振吸收与入射电磁波的磁谐振响应有关。研究结果揭示了微纳结构吸收器的双波长频谱吸收机理,有助于实现特定波长生物传感器及光电探测器的设计。 展开更多

关键词 微纳结构吸收材料 红外探测 偏振吸收 表面等离子 磁谐振

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基于EKF算法的无线传感器网络定位技术研究 被引量：4

20

作者 金仁成 赵伟 石小培 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1810-1814,共5页

无线传感器网络中,基于RSSI测距技术的定位系统误差较大。对扩展卡尔曼滤波(EKF)算法在抑制测距误差和提高定位精度方面进行了深入的研究。同时根据EKF算法在WSN节点定位中的两种应用方式,以收敛概率和相对误差为指标,在各种拓扑条件下... 无线传感器网络中,基于RSSI测距技术的定位系统误差较大。对扩展卡尔曼滤波(EKF)算法在抑制测距误差和提高定位精度方面进行了深入的研究。同时根据EKF算法在WSN节点定位中的两种应用方式,以收敛概率和相对误差为指标,在各种拓扑条件下对提高节点定位精度进行了分类探讨。最后结合仿真阐述了EKF算法的适用范围,并分析了影响算法性能的因素。 展开更多

关键词 无线传感器网络 定位 扩展卡尔曼滤波 RSSI

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