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航空增材制造复杂结构件表面光整加工技术研究及进展
被引量：
32
1
作者
高航
彭灿
王宣平
《航空制造技术》
2019年第9期14-22,共9页
增材制造是解决航空复杂结构件制造难题的有效方法。首先概述了增材制造技术原理、特点及其在航空领域的应用,并深入评述了增材制造技术在材料力学性能、表面质量等方面面临的挑战,指出增减材复合制造的方法,并表明先进表面光整加工技...
增材制造是解决航空复杂结构件制造难题的有效方法。首先概述了增材制造技术原理、特点及其在航空领域的应用,并深入评述了增材制造技术在材料力学性能、表面质量等方面面临的挑战,指出增减材复合制造的方法,并表明先进表面光整加工技术是提升航空增材制造复杂结构件表面质量和精度的有效途径。重点阐述了高加工可达性的磨粒流加工技术在航空复杂结构件精密抛光中的优势,并总结了保持零件精度同时改善表面质量需要重点研究的内容。
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关键词
增材制造
光整加工
磨粒流加工
表面粗糙度
复杂结构件
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职称材料
基于Windows98磁粒光整加工CNC系统的开发研究
被引量：
2
2
作者
赵国勇
赵玉刚
+1 位作者
赵福令
张丽丽
《大连理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期75-78,共4页
磁粒研磨是复杂模具高精度光整加工最具潜力的方法之一.为解决模具型腔表面高精度光整加工的难题,将磁粒光整加工与数控技术结合起来,以开放式CNC体系为指导思想,在Windows98下开发适合磁粒光整加工的三坐标CNC系统.采用了VXD技术进行Wi...
磁粒研磨是复杂模具高精度光整加工最具潜力的方法之一.为解决模具型腔表面高精度光整加工的难题,将磁粒光整加工与数控技术结合起来,以开放式CNC体系为指导思想,在Windows98下开发适合磁粒光整加工的三坐标CNC系统.采用了VXD技术进行Windows98下的实时中断操作.用所开发的CNC系统进行试验研究,结果表明磁粒光整加工能大大降低模具表面粗糙度.该结论对模具高精度光整加工自动化的研究具有重要意义.
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关键词
磁粒光整加工
CNC系统
实时中断
VXD
模具
表面粗糙度
自动化控制
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职称材料
高密度芳纶纸蜂窝的磨削试验
被引量：
5
3
作者
王毅丹
康仁科
+3 位作者
白杜娟
马义新
董志刚
史耀辉
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2018年第6期48-53,共6页
高密度芳纶纸蜂窝是航空航天领域常用的减重复合材料,由韧性较大的芳纶纤维和含量较高的脆性树脂固化而成,固化成型后很难加工。为了满足其加工需求,根据该材料的组成成分和结构特点,用金刚石砂轮进行高密度蜂窝的磨削加工工艺试验,归...
高密度芳纶纸蜂窝是航空航天领域常用的减重复合材料,由韧性较大的芳纶纤维和含量较高的脆性树脂固化而成,固化成型后很难加工。为了满足其加工需求,根据该材料的组成成分和结构特点,用金刚石砂轮进行高密度蜂窝的磨削加工工艺试验,归纳出其在磨削加工后出现的3种典型加工特征形貌,即双层芳纶纸变宽形貌、未分离切屑和纤维拔出;并通过单因素试验法,研究磨削速度、进给速度和磨削深度对其表面形貌的影响。试验结果表明:不同工艺参数对高密度蜂窝加工形貌的影响差异较大。当磨削速度由5.2m/s提高至20.9m/s时,3种特征形貌均得到改善;当进给速度从50mm/min提升为350mm/min时,纤维拔出数量增多;当磨削深度从0.1mm增加为0.9mm时,未分离切屑的平均宽度变大。
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关键词
高密度芳纶纸蜂窝
磨削参数
表面形貌
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职称材料
圆片刀超声切削蜂窝芯材料试验研究
被引量：
8
4
作者
牛景露
朱祥龙
+2 位作者
康仁科
王毅丹
董志刚
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2017年第3期62-68,共7页
为提高加工Nomex蜂窝芯材料的质量和效率,采用试验方法对超声切割时的切削力进行测量,研究其影响因素和变化规律,并对切削后蜂窝芯的表面进行观察。使用回归分析法分析不同振幅和切削深度下的切削力,推导切削力的经验公式。结果显示:切...
为提高加工Nomex蜂窝芯材料的质量和效率,采用试验方法对超声切割时的切削力进行测量,研究其影响因素和变化规律,并对切削后蜂窝芯的表面进行观察。使用回归分析法分析不同振幅和切削深度下的切削力,推导切削力的经验公式。结果显示:切削力F_y,F_z与切削深度a_p,圆片刀底部边缘处振幅A呈指数关系。通过对比切削力拟合结果和试验数据,发现误差在10%内。切削后蜂窝芯表面平整、毛刺更少。
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关键词
圆片刀
超声切削
蜂窝芯
切削力
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职称材料
碳/碳复合材料切削表面粗糙度的评定方法及评定参数研究
被引量：
15
5
作者
赵福令
艾传智
+3 位作者
杨东军
杨志翔
王金明
敖明
《计量学报》
EI
CSCD
北大核心
2006年第3期206-211,共6页
通过对航空航天领域应用的碳/碳(C/C)复合材料和硬铝材料切削表面进行三维表面粗糙度测量实验,研究了C/C复合材料切削表面粗糙度的二维评定与三维评定方法、幅度表征参数及分形表征。结果表明:对于C/C一类的复合材料需选用三维评定参数...
通过对航空航天领域应用的碳/碳(C/C)复合材料和硬铝材料切削表面进行三维表面粗糙度测量实验,研究了C/C复合材料切削表面粗糙度的二维评定与三维评定方法、幅度表征参数及分形表征。结果表明:对于C/C一类的复合材料需选用三维评定参数才能准确表达其切削表面粗糙度的真实特征;表面均方根偏差比表面算术平均偏差更适合作为C/C复合材料切削表面粗糙度的幅度评定参数,表面粗糙度的三维标准应优先选用表面均方根偏差作为评定参数;表面分形维数可作为C/C复合材料切削表面粗糙度的表征参数之一。
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关键词
计量学
碳/碳复合材料
表面粗糙度
评定参数
分形
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职称材料
一种基于NURBS插补器的多轴交叉耦合控制方法
被引量：
5
6
作者
徐志祥
赵国勇
+1 位作者
赵福令
周栋梁
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2006年第12期1451-1453,1483,共4页
针对复杂型面零件的高精度数控加工需要,在分析传统机床轮廓控制方案不足的基础上,提出了一种基于NURBS插补器的多轴交叉耦合控制(CCC)方法。该方法为闭环轮廓控制,算法简单、实用,并可适用于多轴控制。仿真结果表明所提出的CCC方法能...
针对复杂型面零件的高精度数控加工需要,在分析传统机床轮廓控制方案不足的基础上,提出了一种基于NURBS插补器的多轴交叉耦合控制(CCC)方法。该方法为闭环轮廓控制,算法简单、实用,并可适用于多轴控制。仿真结果表明所提出的CCC方法能够大大减小由于机床各轴动态性能不一致所引起的轮廓误差。该结论对零件的高精度数控加工具有重要意义。
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关键词
NURBS插补器
高精度加工
交叉耦合控制
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职称材料
微构件力学性能片外拉伸测试装置
被引量：
4
7
作者
沈洪源
褚金奎
+1 位作者
张段芹
罗汝林
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第7期99-101,110,共4页
微构件材料力学性能测试中,拉伸测试主要解决材料弹性模量、泊松比、屈服强度和断裂强度的测量问题。介绍了一种片外拉伸测试试验装置的设计过程及工作原理,试样放在动/静载物台上,压电陶瓷制动器驱动动载物台,从而拉动试样,直到试样被...
微构件材料力学性能测试中,拉伸测试主要解决材料弹性模量、泊松比、屈服强度和断裂强度的测量问题。介绍了一种片外拉伸测试试验装置的设计过程及工作原理,试样放在动/静载物台上,压电陶瓷制动器驱动动载物台,从而拉动试样,直到试样被拉断。施加在试样上的力和试样被拉伸后的伸长量分别由微力检测传感器和位移检测传感器测出。分别介绍了每个部件的功能,给出了误差分析。结果表明:此装置设计合理,达到预期目标。
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关键词
微构件
力学性能
拉伸测试
片外试验装置
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职称材料
石英纤维增强陶瓷基复合材料制孔工艺研究
被引量：
4
8
作者
冉冲
卢守相
+2 位作者
王东坡
赵桐
高航
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2016年第2期37-42,48,共7页
本试验针对目前硬质合金刀具加工石英纤维增强陶瓷基复合材料时存在的刀具磨损严重、加工质量差、效率低下等问题,对比了硬质合金刀具钻孔、PCD刀具钻孔和电镀金刚石套料钻螺旋铣磨制孔的效果,分析了切削力对制孔质量的影响。研究结果表...
本试验针对目前硬质合金刀具加工石英纤维增强陶瓷基复合材料时存在的刀具磨损严重、加工质量差、效率低下等问题,对比了硬质合金刀具钻孔、PCD刀具钻孔和电镀金刚石套料钻螺旋铣磨制孔的效果,分析了切削力对制孔质量的影响。研究结果表明:纬纱纤维对X向和Y向切削力的影响明显大于经纱纤维,垂直于纬纱纤维方向的切削力较小,平行于纬纱纤维方向的切削力较大;PCD刀具钻孔质量相对较好,刀具磨损不明显,适用于石英纤维增强陶瓷基复合材料的制孔加工。
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关键词
石英纤维增强陶瓷基复合材料
螺旋铣磨
制孔
PCD
刀具
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职称材料
碳纤维复合材料表面形貌测量采样条件研究
被引量：
1
9
作者
王渊
何维军
赵福令
《宇航材料工艺》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期75-78,共4页
采样条件的确定对表面微观几何形状误差评定的准确性有重要影响。针对现实中用户依据自身经验选择采样条件的不确定性,提出了一种能够客观判定最佳采样条件的方法。基于二维功率频谱分析,考虑奈奎斯特采样定理与混叠效应,提出一个归一...
采样条件的确定对表面微观几何形状误差评定的准确性有重要影响。针对现实中用户依据自身经验选择采样条件的不确定性,提出了一种能够客观判定最佳采样条件的方法。基于二维功率频谱分析,考虑奈奎斯特采样定理与混叠效应,提出一个归一近似因子来确定合适采样条件。经实验验证其适用于碳纤维复合材料表面形貌测量,研究证明用较大采样间距多次测量加工后工件的表面形貌,取粗糙度值的平均值或St、Sp和Sv取最大值来评定其表面质量更合理。
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关键词
二维频谱分析
采样条件
碳纤维复合材料
表面形貌
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职称材料
金刚石砂轮磨削贴膜硅片崩边的研究
10
作者
张倩
董志刚
+4 位作者
刘海军
王紫光
康仁科
闫宁
朱祥龙
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2019年第4期66-69,共4页
用树脂结合剂金刚石砂轮将贴膜厚度为80μm和160μm的单晶硅片减薄到400μm,通过测量硅片边缘的崩边尺寸评价贴膜对硅片加工质量的影响.试验结果表明:硅片贴膜能有效降低硅片碎片率;当硅片未贴膜时,硅片的平均崩边尺寸为3.08μm,当硅片...
用树脂结合剂金刚石砂轮将贴膜厚度为80μm和160μm的单晶硅片减薄到400μm,通过测量硅片边缘的崩边尺寸评价贴膜对硅片加工质量的影响.试验结果表明:硅片贴膜能有效降低硅片碎片率;当硅片未贴膜时,硅片的平均崩边尺寸为3.08μm,当硅片贴膜厚度为80μm和160μm时,硅片的平均崩边尺寸为4.61μm和3.60μm;即硅片贴膜磨削对硅片崩边有恶化作用,但该影响较小,用厚膜时恶化程度可控制在20%以内.且用23μm金刚石砂轮减薄磨削贴膜硅片时,硅片<110>晶向和<100>晶向的崩边尺寸无明显差异.
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关键词
贴膜
崩边
硅片
磨削减薄
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职称材料
题名
航空增材制造复杂结构件表面光整加工技术研究及进展
被引量：
32
1
作者
高航
彭灿
王宣平
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点试验室
出处
《航空制造技术》
2019年第9期14-22,共9页
基金
国家自然科学基金项目(U1708256)
大连理工大学基本科研业务费项目(DUT1TZD201
DUT18GF104)
文摘
增材制造是解决航空复杂结构件制造难题的有效方法。首先概述了增材制造技术原理、特点及其在航空领域的应用,并深入评述了增材制造技术在材料力学性能、表面质量等方面面临的挑战,指出增减材复合制造的方法,并表明先进表面光整加工技术是提升航空增材制造复杂结构件表面质量和精度的有效途径。重点阐述了高加工可达性的磨粒流加工技术在航空复杂结构件精密抛光中的优势,并总结了保持零件精度同时改善表面质量需要重点研究的内容。
关键词
增材制造
光整加工
磨粒流加工
表面粗糙度
复杂结构件
Keywords
Additive manufacturing
Finishing
Abrasive flow machining
Surface roughness
Complex structural parts
分类号
V260.5 [航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]
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职称材料
题名
基于Windows98磁粒光整加工CNC系统的开发研究
被引量：
2
2
作者
赵国勇
赵玉刚
赵福令
张丽丽
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点试验室
山东理
工大
学轻工学院
出处
《大连理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期75-78,共4页
文摘
磁粒研磨是复杂模具高精度光整加工最具潜力的方法之一.为解决模具型腔表面高精度光整加工的难题,将磁粒光整加工与数控技术结合起来,以开放式CNC体系为指导思想,在Windows98下开发适合磁粒光整加工的三坐标CNC系统.采用了VXD技术进行Windows98下的实时中断操作.用所开发的CNC系统进行试验研究,结果表明磁粒光整加工能大大降低模具表面粗糙度.该结论对模具高精度光整加工自动化的研究具有重要意义.
关键词
磁粒光整加工
CNC系统
实时中断
VXD
模具
表面粗糙度
自动化控制
Keywords
Abrasives
Computer control systems
Dies
Finishing
Magnetic materials
Real time systems
Surface roughness
分类号
TG241 [金属学及工艺—铸造]
TP391.73 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
高密度芳纶纸蜂窝的磨削试验
被引量：
5
3
作者
王毅丹
康仁科
白杜娟
马义新
董志刚
史耀辉
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点试验室
有研半导体材料有限公司
上海复合材料科技有限公司
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2018年第6期48-53,共6页
基金
"高档数控机床与基础制造装备"专项子课题资助项目(项目号2016ZX04002005–3)
上海航天科技创新基金(SAST基金)资助项目
文摘
高密度芳纶纸蜂窝是航空航天领域常用的减重复合材料,由韧性较大的芳纶纤维和含量较高的脆性树脂固化而成,固化成型后很难加工。为了满足其加工需求,根据该材料的组成成分和结构特点,用金刚石砂轮进行高密度蜂窝的磨削加工工艺试验,归纳出其在磨削加工后出现的3种典型加工特征形貌,即双层芳纶纸变宽形貌、未分离切屑和纤维拔出;并通过单因素试验法,研究磨削速度、进给速度和磨削深度对其表面形貌的影响。试验结果表明:不同工艺参数对高密度蜂窝加工形貌的影响差异较大。当磨削速度由5.2m/s提高至20.9m/s时,3种特征形貌均得到改善;当进给速度从50mm/min提升为350mm/min时,纤维拔出数量增多;当磨削深度从0.1mm增加为0.9mm时,未分离切屑的平均宽度变大。
关键词
高密度芳纶纸蜂窝
磨削参数
表面形貌
Keywords
high-density aramid paper honeycomb
grinding parameters
surface morphology
分类号
TG58 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
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职称材料
题名
圆片刀超声切削蜂窝芯材料试验研究
被引量：
8
4
作者
牛景露
朱祥龙
康仁科
王毅丹
董志刚
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点试验室
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2017年第3期62-68,共7页
基金
国家"863"计划课题(2015AA043402)
国家自然科学基金(51575085)
文摘
为提高加工Nomex蜂窝芯材料的质量和效率,采用试验方法对超声切割时的切削力进行测量,研究其影响因素和变化规律,并对切削后蜂窝芯的表面进行观察。使用回归分析法分析不同振幅和切削深度下的切削力,推导切削力的经验公式。结果显示:切削力F_y,F_z与切削深度a_p,圆片刀底部边缘处振幅A呈指数关系。通过对比切削力拟合结果和试验数据,发现误差在10%内。切削后蜂窝芯表面平整、毛刺更少。
关键词
圆片刀
超声切削
蜂窝芯
切削力
Keywords
disc cutter
ultrasonic cutting
honeycomb cores
cutting force
分类号
TG74 [金属学及工艺—刀具与模具]
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职称材料
题名
碳/碳复合材料切削表面粗糙度的评定方法及评定参数研究
被引量：
15
5
作者
赵福令
艾传智
杨东军
杨志翔
王金明
敖明
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点试验室
航天材料及工艺研究所先进功能复合材料技术国防科技
重点
实验室
出处
《计量学报》
EI
CSCD
北大核心
2006年第3期206-211,共6页
文摘
通过对航空航天领域应用的碳/碳(C/C)复合材料和硬铝材料切削表面进行三维表面粗糙度测量实验,研究了C/C复合材料切削表面粗糙度的二维评定与三维评定方法、幅度表征参数及分形表征。结果表明:对于C/C一类的复合材料需选用三维评定参数才能准确表达其切削表面粗糙度的真实特征;表面均方根偏差比表面算术平均偏差更适合作为C/C复合材料切削表面粗糙度的幅度评定参数,表面粗糙度的三维标准应优先选用表面均方根偏差作为评定参数;表面分形维数可作为C/C复合材料切削表面粗糙度的表征参数之一。
关键词
计量学
碳/碳复合材料
表面粗糙度
评定参数
分形
Keywords
Metrology
Carbon/carbon composite
Surface roughness
Evaluating parameters
Fractal
分类号
TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
一种基于NURBS插补器的多轴交叉耦合控制方法
被引量：
5
6
作者
徐志祥
赵国勇
赵福令
周栋梁
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点试验室
四川
大学
计算机学院
出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2006年第12期1451-1453,1483,共4页
基金
国家自然科学基金项目(50275022)资助
文摘
针对复杂型面零件的高精度数控加工需要,在分析传统机床轮廓控制方案不足的基础上,提出了一种基于NURBS插补器的多轴交叉耦合控制(CCC)方法。该方法为闭环轮廓控制,算法简单、实用,并可适用于多轴控制。仿真结果表明所提出的CCC方法能够大大减小由于机床各轴动态性能不一致所引起的轮廓误差。该结论对零件的高精度数控加工具有重要意义。
关键词
NURBS插补器
高精度加工
交叉耦合控制
Keywords
NURBS curve interpolator
high-accuracy machining
cross-coupled control
分类号
TG659 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
微构件力学性能片外拉伸测试装置
被引量：
4
7
作者
沈洪源
褚金奎
张段芹
罗汝林
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点试验室
辽宁省微纳米技术及系统
重点
试验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第7期99-101,110,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50535030)
文摘
微构件材料力学性能测试中,拉伸测试主要解决材料弹性模量、泊松比、屈服强度和断裂强度的测量问题。介绍了一种片外拉伸测试试验装置的设计过程及工作原理,试样放在动/静载物台上,压电陶瓷制动器驱动动载物台,从而拉动试样,直到试样被拉断。施加在试样上的力和试样被拉伸后的伸长量分别由微力检测传感器和位移检测传感器测出。分别介绍了每个部件的功能,给出了误差分析。结果表明:此装置设计合理,达到预期目标。
关键词
微构件
力学性能
拉伸测试
片外试验装置
Keywords
micro-sized structure
mechanical property
tensile test
off-chip experimental facility
分类号
TG115.52 [金属学及工艺—物理冶金]
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职称材料
题名
石英纤维增强陶瓷基复合材料制孔工艺研究
被引量：
4
8
作者
冉冲
卢守相
王东坡
赵桐
高航
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点试验室
航天
特种
材料及工艺技术研究所
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2016年第2期37-42,48,共7页
基金
国家863计划(2013AA040103)
国家创新研究群体科学基金(51321004)
文摘
本试验针对目前硬质合金刀具加工石英纤维增强陶瓷基复合材料时存在的刀具磨损严重、加工质量差、效率低下等问题,对比了硬质合金刀具钻孔、PCD刀具钻孔和电镀金刚石套料钻螺旋铣磨制孔的效果,分析了切削力对制孔质量的影响。研究结果表明:纬纱纤维对X向和Y向切削力的影响明显大于经纱纤维,垂直于纬纱纤维方向的切削力较小,平行于纬纱纤维方向的切削力较大;PCD刀具钻孔质量相对较好,刀具磨损不明显,适用于石英纤维增强陶瓷基复合材料的制孔加工。
关键词
石英纤维增强陶瓷基复合材料
螺旋铣磨
制孔
PCD
刀具
Keywords
quartz fiber reinforced ceramic matrix composites
helical milling
drilling
PCD tool
分类号
TB332 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
碳纤维复合材料表面形貌测量采样条件研究
被引量：
1
9
作者
王渊
何维军
赵福令
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点试验室
出处
《宇航材料工艺》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期75-78,共4页
基金
国家自然科学基金(50875036)
文摘
采样条件的确定对表面微观几何形状误差评定的准确性有重要影响。针对现实中用户依据自身经验选择采样条件的不确定性,提出了一种能够客观判定最佳采样条件的方法。基于二维功率频谱分析,考虑奈奎斯特采样定理与混叠效应,提出一个归一近似因子来确定合适采样条件。经实验验证其适用于碳纤维复合材料表面形貌测量,研究证明用较大采样间距多次测量加工后工件的表面形貌,取粗糙度值的平均值或St、Sp和Sv取最大值来评定其表面质量更合理。
关键词
二维频谱分析
采样条件
碳纤维复合材料
表面形貌
Keywords
2D spectral analysis, Sample conditions, Carbon fibre composite, Surface topography
分类号
TN911.72 [电子电信—通信与信息系统]
TG84 [金属学及工艺—公差测量技术]
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职称材料
题名
金刚石砂轮磨削贴膜硅片崩边的研究
10
作者
张倩
董志刚
刘海军
王紫光
康仁科
闫宁
朱祥龙
机构
大连理工大学
合肥工业
大学
机械工程学院/现代集成制造与数控装备研究所
郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2019年第4期66-69,共4页
基金
国家自然科学基金(51735004,51775084)
中央高校基本科研业务费专项资金资助(JZ2017HGBZ0956)
文摘
用树脂结合剂金刚石砂轮将贴膜厚度为80μm和160μm的单晶硅片减薄到400μm,通过测量硅片边缘的崩边尺寸评价贴膜对硅片加工质量的影响.试验结果表明:硅片贴膜能有效降低硅片碎片率;当硅片未贴膜时,硅片的平均崩边尺寸为3.08μm,当硅片贴膜厚度为80μm和160μm时,硅片的平均崩边尺寸为4.61μm和3.60μm;即硅片贴膜磨削对硅片崩边有恶化作用,但该影响较小,用厚膜时恶化程度可控制在20%以内.且用23μm金刚石砂轮减薄磨削贴膜硅片时,硅片<110>晶向和<100>晶向的崩边尺寸无明显差异.
关键词
贴膜
崩边
硅片
磨削减薄
Keywords
taping
edge chipping
silicon wafer
thinning
分类号
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
TG58 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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