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3000 m^3/h 烟气脱硫试验系统的设计与运行 被引量:16
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作者 张彦彬 王宁会 吴彦 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期551-554,共4页
在基础性研究工作的基础上,进行了3000m3/h脉冲放电等离子体烟气脱硫的小型工业性试验.给出了该试验系统的设计和运行结果;在总能耗小于5W·h/m3条件下,SO2脱除率为75%~80%.该试验结果证实了脉冲放电... 在基础性研究工作的基础上,进行了3000m3/h脉冲放电等离子体烟气脱硫的小型工业性试验.给出了该试验系统的设计和运行结果;在总能耗小于5W·h/m3条件下,SO2脱除率为75%~80%.该试验结果证实了脉冲放电等离子体烟气脱硫技术的可行性. 展开更多
关键词 等离子体 烟气 脱硫试验 脉冲放电
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GaN薄膜低温外延的ECR-PAMOCVD技术 被引量:16
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作者 徐茵 顾彪 +2 位作者 秦福文 从吉远 杨树人 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第1期37-39,共3页
给出了用电子回旋共振微波等离子体辅助金属有机化学汽相沉积(ECR-PAMOCVD)技术和在低温(≤600℃)、极低气压(≤1Pa)下生长GaN外延膜的装置、工艺及实验结果。并与以往的GaN外延技术进行了比较,说明了这... 给出了用电子回旋共振微波等离子体辅助金属有机化学汽相沉积(ECR-PAMOCVD)技术和在低温(≤600℃)、极低气压(≤1Pa)下生长GaN外延膜的装置、工艺及实验结果。并与以往的GaN外延技术进行了比较,说明了这种新的低温外延技术的独特优点。 展开更多
关键词 氮化镓 MOCVD 等离子体 低温外延
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用于半导体加工的腔耦合-磁多极型ECR源的研究 被引量:10
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作者 徐茵 顾彪 +1 位作者 丛吉远 季天仁 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 1996年第2期50-55,共6页
本实验室研制出一台谐振腔耦合一多极场位形的电子回旋共振(ECR)微波等离子体源(MEP)。采用朗谬探针和离子能量分析器,测量了MEP中Ar等离子体的放电特性。实验结果表明.MEP能在很宽的运行参数范围,高效率地产生具... 本实验室研制出一台谐振腔耦合一多极场位形的电子回旋共振(ECR)微波等离子体源(MEP)。采用朗谬探针和离子能量分析器,测量了MEP中Ar等离子体的放电特性。实验结果表明.MEP能在很宽的运行参数范围,高效率地产生具有较高密度、较低离子温度和空间电位的大面积均匀等离子体,特别适合于半导体加工应用研究。 展开更多
关键词 腔耦合 多极场 电子回族共振 微波等离子体
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无声放电对聚酯织物表面的等离子体接枝改性 被引量:9
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作者 顾彪 彭静 +1 位作者 张砚臣 蹇锡高 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 1999年第6期726-729,共4页
利用无声放电方法对聚酯(PET)纤维表面进行接枝改性,为改善聚酯织物的染色性能提供了一条新途径. 傅里叶红外光谱(FTIR)和X射线光电子能谱(XPS)表明,PET纤维经无声放电引发气相接枝丙烯酸改性后,表面的羰基、... 利用无声放电方法对聚酯(PET)纤维表面进行接枝改性,为改善聚酯织物的染色性能提供了一条新途径. 傅里叶红外光谱(FTIR)和X射线光电子能谱(XPS)表明,PET纤维经无声放电引发气相接枝丙烯酸改性后,表面的羰基、羟基和羧基等极性基团增加,氧碳摩尔分数比增大. 扫描电镜(SEM)观察发现纤维表面粗糙度随放电时间增加而增大. 改性后的涤纶对碱性染料的上染率有所提高. 展开更多
关键词 聚酯纤维 织物 等离子体 接枝共聚 无声放电
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深冷处理引起高速钢的性能改善与微结构变化 被引量:15
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作者 顾彪 丛吉远 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期285-289,共5页
介绍了对W6Mo5Cr4V2、W18Cr4V高速钢刀具进行-196℃深冷处理所取得的实效;研究表明,对于经过淬火与三次回火的高速钢,引起其强韧性提高的主要原因是深冷处理导致了材料的晶粒细化与碳化物微小颗粒的弥散析出。
关键词 高速钢 强度 韧性 显微结构 深冷处理
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脉冲电压下粒子荷电的实验研究 被引量:3
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作者 吴彦 王荣毅 王宁会 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期309-311,共3页
对脉冲电压下粒子的荷电进行了实验研究,得出粒子的荷电量Q、峰值电压V_p、电晕电流I之间关系式成立。与直流电压相比,脉冲电压可以在较小的电晕功率下使粒子获得较大的荷电量。这些研究结果可应用于脉冲电除尘器等领域。
关键词 脉冲除尘器 脉冲电压 粒子荷电
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非线性方程组的一个迭代解法 被引量:3
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作者 罗远诠 刘悦 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第3期249-254,共6页
给出了一个解n阶非线性方程组的具有三阶收敛速度的迭代法,它可看成解单个非线性方程的抛物线迭代法的推广,其一次迭代所需工作量是牛顿迭代法的1+2/n倍.当一阶导数阵奇异时计算也可进行.
关键词 迭代法 三阶收敛速度 非线性方程组
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氮ECR微波等离子体的电子能量分布研究 被引量:1
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作者 徐茵 顾彪 +1 位作者 夏亚红 秦福文 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期45-50,共6页
为了对GaN薄膜低温生长提供更多的活性氮,在一个腔耦合电子回旋共振(ECR)半导体加工装置上,用朗谬探针和二次微分理论,研究了氮ECR等离子体的实际电子能量分布。发现它们都是非麦克斯韦分布,含有高能电子,而且随着放电... 为了对GaN薄膜低温生长提供更多的活性氮,在一个腔耦合电子回旋共振(ECR)半导体加工装置上,用朗谬探针和二次微分理论,研究了氮ECR等离子体的实际电子能量分布。发现它们都是非麦克斯韦分布,含有高能电子,而且随着放电气压的下降和微波功率的增加,高能电子成分增加。 展开更多
关键词 电子能量分布 ECR 微波等离子体 半导体 掺杂
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基于整体优化算法电爆冲击波人工神经网络模型
9
作者 苏航 江学军 +1 位作者 吴为民 但果 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2000年第4期470-472,共3页
电爆冲击波产生机理及影响因素较复杂 ,很难对其产生过程建立精确的数学模型 .在实验研究的基础上 ,将基于整体优化算法的前馈神经网络用于该问题 ,建立了电爆冲击波人工神经网络模型 .
关键词 电爆冲击波 神经网络 整体优化算法 冲压成型
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聚合物表面等离子体接枝共聚改性
10
作者 张砚臣 顾彪 徐茵 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 1998年第2期248-248,共1页
聚合物表面等离子体接枝共聚改性张砚臣,顾彪,徐茵(大连理工大学电磁工程系,大连116024)1实验实验装置由玻璃钟罩放电室、处理室、样品台、0~1kWRF功率源和电感线圈、针阀、氩气源、接枝单体-丙烯酸、Langmu... 聚合物表面等离子体接枝共聚改性张砚臣,顾彪,徐茵(大连理工大学电磁工程系,大连116024)1实验实验装置由玻璃钟罩放电室、处理室、样品台、0~1kWRF功率源和电感线圈、针阀、氩气源、接枝单体-丙烯酸、Langmuir探针测量系统、真空监测系统等组... 展开更多
关键词 聚合物 等离子体 接枝共聚 改性
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一种新型双通道输出CO_2激光电源
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作者 孙冰 王恒志 王荣毅 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第2期238-240,共3页
A new type of power supply of laser is introduced. Its features are of simple structure with two-channel trigger circuits and saving energy. This power supply has two-channel output and can make two lasers work simult... A new type of power supply of laser is introduced. Its features are of simple structure with two-channel trigger circuits and saving energy. This power supply has two-channel output and can make two lasers work simultaneously. It is small in size and especially suits to medical lasers and laser processors. 展开更多
关键词 电源 治疗器械 二氧化碳 激光器
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