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脉冲激光沉积(PLD)法生长高质量ZnO薄膜及其发光性能被引量：13: 1; 作者边继明杜国同 +2 位作者胡礼中李效民赵俊亮《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期958-962,共5页; 采用脉冲激光沉积(PLD)法在单晶Si(100)衬底上生长ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和透射电镜(TEM)等手段分析了所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌。优化工艺(700℃,20Pa)下生长的ZnO薄膜呈c轴高度择优取向,柱状晶垂直衬底... 展开更多; 关键词 ZNO薄膜脉冲激光沉积光致发光; 在线阅读下载PDF 职称材料

PLD方法生长ZnO/Si异质外延薄膜的研究被引量：4: 2; 作者赵杰胡礼中 +4 位作者王兆阳李银丽王志俊张贺秋赵宇《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1879-1882,共4页; 用脉冲激光沉积法在Si(111)衬底上制备了ZnO薄膜。RHEED和XRD测试表明,直接沉积在Si衬底上的ZnO薄膜为多晶薄膜,且薄膜的结晶质量随衬底温度的升高而下降。相比之下,生长在一低温同质缓冲层上的ZnO薄膜则展现出规则的斑点状RHEED图像,... 展开更多; 关键词 ZNO薄膜反射式高能电子衍射 X射线衍射光致发光; 在线阅读下载PDF 职称材料

感应耦合等离子体的1维流体力学模拟被引量：4: 3; 作者王帅毛明王友年《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期155-159,共5页; 采用双极扩散近似的流体力学模型,通过数值模拟方法研究了射频感应耦合等离子体(ICP)中等离子体密度和电子温度等物理量的空间分布,其中射频源的功率沉积由动力学理论给出。分析了不同的射频线圈的驱动电流和放电气压对等离子体密度和... 展开更多; 关键词感应耦合等离子体流体力学等离子体密度电子温度; 在线阅读下载PDF 职称材料

电容耦合分区放电等离子体的研究: 4; 作者马腾才张禹涛 +3 位作者任春生齐冰王达望王坤《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期129-132,共4页; 介绍了一种新的大气压下空气中等离子体产生方法———电容耦合分区放电。该方法综合了电晕放电和介质阻挡放电的优点,在大气压下可以生成大规模、高密度、均匀稳定的非平衡等离子体。其放电功率可达常规介质阻挡放电100倍以上,且可根... 展开更多; 关键词电容耦合放电等离子体分区介质阻挡放电非平衡等离子体产生方法电晕放电放电功率高密度压下大气; 在线阅读下载PDF 职称材料

透射电子显微镜对接膜样品的制作: 5; 作者王兆阳张贺秋 +2 位作者胡礼中赵杰王志俊《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期29-30,25,共3页; 在透射电子显微镜(TEM)样品制作中,对接膜样品制作最为复杂,同时得到的薄膜信息也非常多,是进行材料研究的一个非常有用的观测方法。并介绍了这种样品的制作过程和样品的测试分析情况。; 关键词透射电子显微镜高分辨率透射电子显微镜选区电子衍射; 在线阅读下载PDF 职称材料

平板直流负偏压碰撞鞘层Child-Langmuir定律的拟合公式被引量：1: 6; 作者钱丹娜李雪春王友年《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期71-74,共4页; 采用流体动力学模型研究了离子与中性粒子的电荷交换碰撞效应对直流偏压鞘层厚度的影响。对于平板鞘层,结果表明随着碰撞参数的增大,鞘层厚度明显地变小。根据数值结果,给出了碰撞情况下的Child-Lang-muir定律的拟合式。研究了柱形和球... 展开更多; 关键词鞘层 Child-Langmuir定律碰擅效应; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名脉冲激光沉积(PLD)法生长高质量ZnO薄膜及其发光性能被引量：13: 1; 作者边继明杜国同胡礼中李效民赵俊亮; 机构大连理工大学物理系三束材料改性国家重点实验室中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室; 出处《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期958-962,共5页; 基金大连理工大学优秀青年教师培养基金资助项目(2005); 文摘采用脉冲激光沉积(PLD)法在单晶Si(100)衬底上生长ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和透射电镜(TEM)等手段分析了所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌。优化工艺(700℃,20Pa)下生长的ZnO薄膜呈c轴高度择优取向,柱状晶垂直衬底表面生长,结构致密均匀。室温光致发光(PL)谱分析结果表明,随着薄膜生长时O2分压的增大,近带边紫外发光峰与深能级发光峰之比显著增强,表明薄膜的结晶性能和化学计量比都有了很大的改善。O2分压为20Pa时所生长的ZnO薄膜具有较理想的化学计量比和较高的光学质量。; 关键词 ZNO薄膜脉冲激光沉积光致发光; Keywords ZnO thin films pulsed laser deposition photoluminescence; 分类号 O472.3 [理学—半导体物理] O482.31 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名PLD方法生长ZnO/Si异质外延薄膜的研究被引量：4: 2; 作者赵杰胡礼中王兆阳李银丽王志俊张贺秋赵宇; 机构大连理工大学物理系三束材料改性国家重点实验室; 出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1879-1882,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(60377005) 辽宁省科学技术基金资助项目(20022133); 文摘用脉冲激光沉积法在Si(111)衬底上制备了ZnO薄膜。RHEED和XRD测试表明,直接沉积在Si衬底上的ZnO薄膜为多晶薄膜,且薄膜的结晶质量随衬底温度的升高而下降。相比之下,生长在一低温同质缓冲层上的ZnO薄膜则展现出规则的斑点状RHEED图像,说明它们都是外延生长的高质量ZnO薄膜。XRD与室温PL谱分析表明,外延ZnO薄膜的质量随衬底温度的升高得到明显的改善。在650℃生长的样品具有最好的结构和发光特性,其(002)衍射峰的半高宽为0.185°,UV峰的半高宽仅为86meV。; 关键词 ZNO薄膜反射式高能电子衍射 X射线衍射光致发光; Keywords ZnO thin films reflection high energy electron diffraction X-ray diffraction photoluminescence; 分类号 TN304.2 [电子电信—物理电子学] O472 [理学—半导体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名感应耦合等离子体的1维流体力学模拟被引量：4: 3; 作者王帅毛明王友年; 机构大连理工大学物理系三束材料改性国家重点实验室; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期155-159,共5页; 基金国家自然科学基金资助课题(110376003); 文摘采用双极扩散近似的流体力学模型,通过数值模拟方法研究了射频感应耦合等离子体(ICP)中等离子体密度和电子温度等物理量的空间分布,其中射频源的功率沉积由动力学理论给出。分析了不同的射频线圈的驱动电流和放电气压对等离子体密度和电子温度空间分布的影响。在低气压下,等离子体密度基本上保持空间均匀分布。随着放电压强的增加,等离子体密度的分布呈现出明显的空间不均匀性。当线圈电流增大时,等离子体密度和电子温度都随着增大。; 关键词感应耦合等离子体流体力学等离子体密度电子温度; Keywords Inductively coupled plasma（ICP） Hydrodynamics Plasma density Electron temperature; 分类号 O531 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电容耦合分区放电等离子体的研究: 4; 作者马腾才张禹涛任春生齐冰王达望王坤; 机构大连理工大学物理系三束材料改性国家重点实验室; 出处《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期129-132,共4页; 文摘介绍了一种新的大气压下空气中等离子体产生方法———电容耦合分区放电。该方法综合了电晕放电和介质阻挡放电的优点,在大气压下可以生成大规模、高密度、均匀稳定的非平衡等离子体。其放电功率可达常规介质阻挡放电100倍以上,且可根据需要灵活调整。; 关键词电容耦合放电等离子体分区介质阻挡放电非平衡等离子体产生方法电晕放电放电功率高密度压下大气; Keywords Corona discharge Dielectric barrier discharge Streamer Plasma; 分类号 O461 [理学—电子物理学] TN763.2 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名透射电子显微镜对接膜样品的制作: 5; 作者王兆阳张贺秋胡礼中赵杰王志俊; 机构大连理工大学物理系三束材料改性国家重点实验室; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期29-30,25,共3页; 基金国家自然科学基金(60377005) 辽宁省科学技术基金(20022133); 文摘在透射电子显微镜(TEM)样品制作中,对接膜样品制作最为复杂,同时得到的薄膜信息也非常多,是进行材料研究的一个非常有用的观测方法。并介绍了这种样品的制作过程和样品的测试分析情况。; 关键词透射电子显微镜高分辨率透射电子显微镜选区电子衍射; Keywords TEM high-resolution TEM selected area electron diffraction; 分类号 TB303 [一般工业技术—材料科学与工程] TN307 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名平板直流负偏压碰撞鞘层Child-Langmuir定律的拟合公式被引量：1: 6; 作者钱丹娜李雪春王友年; 机构大连理工大学物理系三束材料改性国家重点实验室; 出处《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期71-74,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(10376003); 文摘采用流体动力学模型研究了离子与中性粒子的电荷交换碰撞效应对直流偏压鞘层厚度的影响。对于平板鞘层,结果表明随着碰撞参数的增大,鞘层厚度明显地变小。根据数值结果,给出了碰撞情况下的Child-Lang-muir定律的拟合式。研究了柱形和球形靶的靶半径对鞘层厚度的影响。; 关键词鞘层 Child-Langmuir定律碰擅效应; Keywords Sheath Child-Langmuir law Collision effect; 分类号 O539 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	脉冲激光沉积(PLD)法生长高质量ZnO薄膜及其发光性能	边继明杜国同胡礼中李效民赵俊亮	《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	13	在线阅读下载PDF 职称材料
2	PLD方法生长ZnO/Si异质外延薄膜的研究	赵杰胡礼中王兆阳李银丽王志俊张贺秋赵宇	《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	4	在线阅读下载PDF 职称材料
3	感应耦合等离子体的1维流体力学模拟	王帅毛明王友年	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	电容耦合分区放电等离子体的研究	马腾才张禹涛任春生齐冰王达望王坤	《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心	2005	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	透射电子显微镜对接膜样品的制作	王兆阳张贺秋胡礼中赵杰王志俊	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2006	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	平板直流负偏压碰撞鞘层Child-Langmuir定律的拟合公式	钱丹娜李雪春王友年	《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	1	在线阅读下载PDF 职称材料