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题名开展磁控溅射镀膜探索研究性实验课程的尝试
被引量：2
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作者
王奇
王艳辉
牟宗信
赵纪军
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机构
大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室
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出处
《物理实验》
2017年第4期34-38,共5页
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基金
国家自然科学基金青年基金项目(No.11405022)
大连市高层次人才创新支持计划项目(No.2016RQ020)
+2 种基金
辽宁省高等教育教学改革研究项目
大连理工大学教改基金项目(No.ZHD201503)
教育部教指委教改项目(No.01-201601-26)
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文摘
磁控溅射镀膜实验涵盖了理工科大学生所认知的真空、高电压、材料制备等知识.结合大连理工大学国家级物理实验教学示范中心在探索研究性实验方面积累的教学经验与方法、等离子体物理国家重点学科的知识储备以及三束材料改性教育部重点实验室自主开发、手动操作的磁控溅射镀膜设备的优势,尝试将磁控溅射镀膜用于大学探索研究性实验教学.介绍了开展此实验所需的知识构成与设备模块,阐述了实验的设计思想与方法、开展实验的前期准备、课堂组织、注意事项,分析了课程实施的主要困难,并给出了解决方案.
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关键词
探索研究性实验
镀膜技术
磁控溅射
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Keywords
exploratory experiment
thin film technique
magnetron sputtering
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分类号
G642.423
[文化科学—高等教育学]
O484.1
[理学—固体物理]
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题名大面积矩形感性耦合等离子体源的三维流体力学模拟
被引量：1
- 2
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作者
赵明亮
张钰如
高飞
宋远红
王友年
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机构
大连理工大学物理学院
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出处
《力学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第12期2891-2899,共9页
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基金
国家自然科学基金资助项目(11935005).
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文摘
利用自主开发的三维流体力学模型程序,对面向平板显示工艺和光伏工艺的大面积矩形感性耦合氩等离子体源进行了数值模拟.该模型自洽地求解了带电粒子以及中性粒子的流体方程和感应电场的波动方程.利用此模型,研究了气压、功率以及线圈形状对各种等离子体参数的三维空间分布和均匀性的影响.研究结果表明,当放电气压较低时(4 mTorr),电子密度的空间分布比较均匀,且电子密度的最大值出现在腔室的中心区域.感性沉积功率密度、激发态氩原子密度以及电子温度的最大值出现在线圈的下方.随着放电功率的增加,即从1000 W增加到4000 W,电子密度显著提高,但电子密度的空间分布变化不大.随着放电气压的升高,电子密度的均匀性明显下降,即电子密度的最大值主要局域在线圈下方.这是因为在较高的气压下,带电粒子与背景气体的碰撞增加,因此使得带电粒子的密度分布变得局域.此外,文章还研究了不同的线圈结构对于等离子体均匀性的影响.结果表明当气压较高(20 mTorr)时,使用3×3阵列线圈产生的等离子体的均匀性优于盘香型线圈,即通过改变线圈结构可以实现对等离子体均匀性的调控.文章的研究成果有助于加深对大面积矩形感性耦合等离子体放电特性的认知,这对于优化平板显示工艺以及光伏工艺至关重要.
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关键词
大面积矩形感性耦合等离子体源
三维流体力学模拟
平板显示工艺
光伏工艺
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Keywords
large-area rectangular inductively coupled plasma source
three-dimensional fluid simulation
flat panel display process
photovoltaic process
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分类号
O531
[理学—等离子体物理]
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题名程控操作数据采集卡实现高时间分辨等效采样
被引量：1
- 3
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作者
高可心
张文兰
陆文琪
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机构
大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室
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出处
《信息技术与信息化》
2023年第11期154-157,共4页
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文摘
针对常规基于精密器件电路的等效采样方法电路结构复杂、成本高、效率低、采样率不能灵活设置定时和测试精度难以保障等问题,提出并验证了一种程控操作数据采集卡实现高时间分辨测量的等效采样方法。所提出的方法基于顺序等效采样原理,通过按特定的规律降低数据采集卡的实时采样率,利用相邻实时采样率间的微小差实现。改进的方法操作最高实时采样率为250 kHz(对应的时间分辨率为4μs)的数据采集卡,对100 kHz的正弦波和方波信号进行等效采样测量,获得了准确的波形数据和清晰的波形细节,时间分辨率达12.5 ns。所提出的方法将促进数据采集卡在高时间分辨测量中的拓展应用。
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关键词
数据采集卡
等效采样
LABVIEW
高时间分辨
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分类号
TP274.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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