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镍离子束动态增强沉积多元氮化物膜 被引量:1
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作者 张涛 李国卿 张荟星 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2000年第5期646-648,共3页
采用镍离子束动态增强沉积合成膜层 ,对膜层进行了分析 ,测试了膜层试样的电化学性能 .与非增强沉积膜层相比 ,镍离子束动态增强沉积膜层有更好的电化学耐蚀性能 .
关键词 金属离子束 薄膜 表面改性 氮化钛 沉积
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