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等离子体源增强磁控溅射沉积Al_2O_3薄膜研究 被引量:9
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作者 雷明凯 袁力江 张仲麟 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期887-890,共4页
采用电子回旋共振微波等离子体源增强磁控溅射沉积氧化铝薄膜.X射线光电子谱和X射线衍射分析表明,在600℃沉积温度下,Si(100)基片上获得了亚稳的具有化学计量配比成分、面心立方结构的γ-Al2O3薄膜.薄膜的折射率为1.7,与稳定的α-Al2O... 采用电子回旋共振微波等离子体源增强磁控溅射沉积氧化铝薄膜.X射线光电子谱和X射线衍射分析表明,在600℃沉积温度下,Si(100)基片上获得了亚稳的具有化学计量配比成分、面心立方结构的γ-Al2O3薄膜.薄膜的折射率为1.7,与稳定的α-Al2O3体材料相当. 展开更多
关键词 等离子体源 磁控溅射沉积 AL2O3薄膜 氧化铝薄膜 折射率 结构 光学性能
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等离子体基低能离子注入技术的研究与发展 被引量:4
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作者 雷明凯 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1999年第4期265-272,共8页
将低能离子注入技术引入等离子体基离子注入,一方面利用低能离子注入的低能优势,另一方面利用等离子体基离子注入的全方位优势,开发出等离子体基低能离子注入技术。等离子体基低能离子注入技术包括等离子体基低能氮、碳离子注入和等... 将低能离子注入技术引入等离子体基离子注入,一方面利用低能离子注入的低能优势,另一方面利用等离子体基离子注入的全方位优势,开发出等离子体基低能离子注入技术。等离子体基低能离子注入技术包括等离子体基低能氮、碳离子注入和等离子体源低能离子增强沉积两类工艺。低能离子的注入能量(0.4~3 keV)达到常规等离子体热化学扩散处理的电压范围,而工艺温度(200~500℃)则降至常规离子注入的上限温度范围。通过大量的工艺实验研究,实现了工艺过程的优化和控制,完成了对等离子体基低能离子注入改性铁基材料的金属学问题及物理、化学和力学性能的系统研究。证明了等离子体基低能离子注入技术满足铁基材料的表面改性要求。同时具有产业化发展潜力。 展开更多
关键词 金属 等离子体基 离子注入 低能 表面改性 综述
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Sol-gel法制备Er^(3+)-Yb^(3+)共掺杂Al_2O_3粉末光致发光特性 被引量:4
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作者 王兴军 曹保胜 雷明凯 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期935-938,共4页
采用异丙醇铝 [Al(OC3H7) 3]为前驱体 ,溶胶 凝胶 (Sol gel)法制备Er3+ Yb3+共掺杂Al2 O3粉末 实验结果表明 :90 0℃烧结的粉末为固溶Er3+、Yb3+的γ (Al,Er,Yb) 2 O3相和少量θ (Al,Er,Yb) 2 O3相的混合物 Er3+ Yb3+共掺杂Al2 O3... 采用异丙醇铝 [Al(OC3H7) 3]为前驱体 ,溶胶 凝胶 (Sol gel)法制备Er3+ Yb3+共掺杂Al2 O3粉末 实验结果表明 :90 0℃烧结的粉末为固溶Er3+、Yb3+的γ (Al,Er,Yb) 2 O3相和少量θ (Al,Er,Yb) 2 O3相的混合物 Er3+ Yb3+共掺杂Al2 O3粉末具有中心波长为 1.5 33μm的光致发光 (PL)特性 1mol %Er3+和 1mol%Yb3+共掺杂的Al2 O3粉末的PL强度较 1mol %Er3+掺杂提高 2倍 ,半峰宽从 5 3nm增加到 6 3nm 随泵浦功率的提高 。 展开更多
关键词 Er^3+-Yb^3+共掺杂 Al2O3粉末 溶胶-凝胶法 光致发光
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低温区间的Fe-N二元相图理论分析 被引量:1
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作者 雷明凯 王兴军 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期899-903,共5页
采用亚点阵的化合物能模型计算低温区间Fe-N二元相图。计算结果表明,25~350℃低温区,分别存在着α-Fe(N)和γ'-Fe_4N,γ'-Fe_4N和ε-Fe_2N_(1-x)二相平衡。α-Fe(N),γ'-Fe_4N,ε-Fe_2N_(1-x)均为热力学稳定相。依据Guillermet和Du... 采用亚点阵的化合物能模型计算低温区间Fe-N二元相图。计算结果表明,25~350℃低温区,分别存在着α-Fe(N)和γ'-Fe_4N,γ'-Fe_4N和ε-Fe_2N_(1-x)二相平衡。α-Fe(N),γ'-Fe_4N,ε-Fe_2N_(1-x)均为热力学稳定相。依据Guillermet和Du的热力学性质参数计算的低温区间Fe-N二元相图与现有实验数据相符。 展开更多
关键词 Fe-N二元相图 热力学 模型
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掺Er^(3+)勃姆石(γ-AlOOH)凝胶高温烧结相变 被引量:2
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作者 杨涛 王兴军 +1 位作者 王辉 雷明凯 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期671-675,共5页
采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备掺0~20mol%Er^(3+)勃姆石(γ-AlOOH)凝胶,X射线衍射和差热分析法研究掺Er^(3+):γ-AlOOH凝胶在950~1400℃烧结的相变过程.结果表明:Er^(3+)的掺杂降低α相的生长速度,抑制Al_2O_3的θ→α相变,推迟相变... 采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备掺0~20mol%Er^(3+)勃姆石(γ-AlOOH)凝胶,X射线衍射和差热分析法研究掺Er^(3+):γ-AlOOH凝胶在950~1400℃烧结的相变过程.结果表明:Er^(3+)的掺杂降低α相的生长速度,抑制Al_2O_3的θ→α相变,推迟相变结束温度50~70℃.Er-Al-O系化合物Al_(10)Er_6O_(24)和ErAlO_3相的析出取决于掺Er^(3+)浓度和烧结温度.在较高烧结温度下,ErAlO_3相由掺1~5mol%Er^(3+):Al_2O_3中析出;Al_(10)Er_6O_(24)相则在掺5~20mol%Er^(3+):Al_2O_3中析出,随着烧结温度的升高,在全部掺Er^(3+):Al_2O_3中析出.ErAlO_3相促进θ→α相变的形核,α相形核起始温度可提前30~50℃,但对α相生长影响不大.Al_(10)Er_6O_(24)相对θ→α相变没有显著影响. 展开更多
关键词 勃姆石凝胶 掺ER^3+ 相变 溶胶-凝胶法
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