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参数自调整模糊控制器在微气压传感器测控系统中的应用研究 被引量:6
1
作者 金仁成 张五金 唐祯安 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期388-392,共5页
为了对真空测控系统进行动态气压控制,提出了一种参数自调整模糊控制器的设计方法。该方法利用参数调整控制器在线自动修正基本模糊控制器的量化因子和比例因子,从而改善基本模糊控制器对任意设定气压的控制性能。此外,在控制算法基础... 为了对真空测控系统进行动态气压控制,提出了一种参数自调整模糊控制器的设计方法。该方法利用参数调整控制器在线自动修正基本模糊控制器的量化因子和比例因子,从而改善基本模糊控制器对任意设定气压的控制性能。此外,在控制算法基础上引入计数器Counter来消除系统的频繁振荡。实验结果表明,该方案具有较好的控制效果,基本上解决了传感器所需真空测试环境1kPa~100kPa的动态气压控制问题。 展开更多
关键词 气压控制 模糊控制 参数自调整 量化因子 比例因子
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双目显微立体视觉系统标定方法研究 被引量:3
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作者 李景辉 徐征 +1 位作者 刘冲 陈莉 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第1期105-108,111,共5页
针对显微立体视觉系统光路标定问题,设计并实现一种适合显微立体视觉系统的两步标定方法。首先,对单子光路进行初步的标定,获得放大倍率;然后,以光学工作距离为定值约束,求解内参数;再进行第二步标定求解外参数。对3个常用物镜倍率的体... 针对显微立体视觉系统光路标定问题,设计并实现一种适合显微立体视觉系统的两步标定方法。首先,对单子光路进行初步的标定,获得放大倍率;然后,以光学工作距离为定值约束,求解内参数;再进行第二步标定求解外参数。对3个常用物镜倍率的体视显微镜进行了标定,获得了双光路的焦距、相对位置、倍率等参数的均值、标准差与相对误差,并用左右位移相对平移偏差验证了标定的准确性。研究的显微立体视觉系统标定方法为分析微沟道的半遮挡问题奠定了实验基础。 展开更多
关键词 体视显微镜 显微立体视觉 标定 双目视觉 半遮挡
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基于MEMS技术的微型模具制作工艺研究 被引量:8
3
作者 肖日松 杜立群 +2 位作者 刘冲 刘海军 秦江 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期368-371,共4页
针对微型模具的结构和精度要求,在研究硅模具和背板生长两种工艺路线的基础上,提出了无背板生长工艺路线,并介绍了工艺路线中所涉及的三种MEMS加工方法,即UV-LIGA技术中的光刻、微电铸以及硅MEMS加工技术中的湿法刻蚀.实验结果表明,硅... 针对微型模具的结构和精度要求,在研究硅模具和背板生长两种工艺路线的基础上,提出了无背板生长工艺路线,并介绍了工艺路线中所涉及的三种MEMS加工方法,即UV-LIGA技术中的光刻、微电铸以及硅MEMS加工技术中的湿法刻蚀.实验结果表明,硅模具和背板生长模具呈54.74°的斜面,且硅模具容易损坏,背板生长模具受应力影响易产生变形;而无背板生长工艺能够获得侧壁垂直、表面细致、使用寿命长的模具,满足结构和精度要求。 展开更多
关键词 微型模具 MEMS UV-LIGA 光刻 微电铸 湿法刻蚀
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UV-LIGA技术在微型模具型腔加工中的应用研究 被引量:8
4
作者 庄俭 于同敏 +1 位作者 王敏杰 杜立群 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期106-109,共4页
为了实现微小注射模具型腔的精密加工,针对微小尺度模具型腔的加工难点,通过改良常规UV-LIGA工艺技术,选用合适的基底材料5CrNiMo,采用在基底表面上直接进行电铸生长的无背板生长方法,加工出具有50μm和100μm特征尺寸的哑铃型塑件微型... 为了实现微小注射模具型腔的精密加工,针对微小尺度模具型腔的加工难点,通过改良常规UV-LIGA工艺技术,选用合适的基底材料5CrNiMo,采用在基底表面上直接进行电铸生长的无背板生长方法,加工出具有50μm和100μm特征尺寸的哑铃型塑件微型腔.研究结果表明,无背板方法可实现在钢基底表面上直接通过电铸工艺获得微型模具型腔,省去了电铸背板步骤,既简化了工艺过程、缩短了整个工艺的制造周期,又增强了铸层与基底的结合力,可大大提高模具的形状精度. 展开更多
关键词 UV—LIGA技术 微细加工技术 微注射成型 微流道型腔
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微流控芯片PCR循环温控系统 被引量:6
5
作者 褚德南 刘冲 +1 位作者 罗怡 陈阳 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z1期543-545,共3页
介绍了一种适用于微流控芯片 PCR扩增的新型循环加热系统 ,包括系统可控电源电路设计、控制方案确定及控制算法实验。实验表明该系统消耗试剂量小 ,温度控制准确、稳定 ,适用于微流控芯片 PCR扩增实验。
关键词 微流控芯片 PCR PID控制
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基于MATLAB的微气压传感器测试系统的气压控制仿真 被引量:5
6
作者 陈涛 金仁成 +1 位作者 张凤田 王宏斌 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期1871-1874,共4页
针对微热板式微气压传感器的静态和动态性能测试,对传感器的真空测试环境进行了实时控制仿真.运用模糊控制算法与模糊PID控制算法,对实验进行了建模及MATLAB仿真,并比较了两种算法的控制效果.结果显示,调整系统控制量的模糊PID控制稳态... 针对微热板式微气压传感器的静态和动态性能测试,对传感器的真空测试环境进行了实时控制仿真.运用模糊控制算法与模糊PID控制算法,对实验进行了建模及MATLAB仿真,并比较了两种算法的控制效果.结果显示,调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小,控制效果明显优于模糊控制算法.本仿真结果为实现传感器所需真空测试环境1kPa^100kPa的实时气压控制提供了依据. 展开更多
关键词 微气压传感器 模糊控制 模糊PID控制 MATLAB仿真
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面向典型微流控芯片的流场测速技术研究
7
作者 刘冲 徐征 +2 位作者 陈阳 黎永前 王立鼎 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期523-527,共5页
介绍了微流体流动特性测试技术的发展和应用概况,选用激发光源、荧光显微镜和高精度CCD摄像机等建立了显微粒子图像测速装置,用于测量微流控芯片内部电渗流流动特性,并给出显微成像单元、激发光源、示踪粒子的技术指标和适用范围.根据... 介绍了微流体流动特性测试技术的发展和应用概况,选用激发光源、荧光显微镜和高精度CCD摄像机等建立了显微粒子图像测速装置,用于测量微流控芯片内部电渗流流动特性,并给出显微成像单元、激发光源、示踪粒子的技术指标和适用范围.根据微流控芯片的特征尺寸和内部电渗流速度,分析了应用显微粒子图像测速技术测量微流场速度分布的测量分辨率、测量精度、测速范围等关键问题.研究结果表明:在电场强度100V/cm、宽度50μm的玻璃微通道内,硼砂电渗流速度约为220μm/s,放大倍率低于40倍,MicroPIV动态测速范围能满足流场测速要求;选用直径300nm的荧光粒子,在高于10倍放大倍率下,粒子像大于3个CCD像元的尺寸,可以进行观测;MicroPIV测速系统的测速精度则与光学系统、图像处理技术、电场力、布朗运动等有关系. 展开更多
关键词 微流控芯片 显微粒子图像测速 示踪粒子 微流体 速度分布 测量分辨率 电渗流速度
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一种基于ARM的仿生偏振光测试系统的研究 被引量:8
8
作者 刘利兵 金仁成 +1 位作者 赵开春 姚弘轶 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1788-1791,共4页
针对研制仿生导航微纳传感器的需要,设计了一种以光电二极管为光电转换元件、以ARM微处理器为控制核心的仿生偏振光测试系统.分析了仿生偏振光测试的原理,并对测试系统的硬件设计及基于实时操作系统uC/OS-II的软件开发进行了详细的阐述... 针对研制仿生导航微纳传感器的需要,设计了一种以光电二极管为光电转换元件、以ARM微处理器为控制核心的仿生偏振光测试系统.分析了仿生偏振光测试的原理,并对测试系统的硬件设计及基于实时操作系统uC/OS-II的软件开发进行了详细的阐述.该测试系统成功实现了对特定波段(370nm-520nm)的偏振光信号的采集,并利用三路信号进行了定位角度的计算. 展开更多
关键词 仿生导航微纳传感器 偏振光测试 ARM uC/OS-Ⅱ
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集成毛细管电泳芯片研究进展 被引量:11
9
作者 王立鼎 刘军山 +1 位作者 于建群 刘冲 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期385-392,共8页
集成毛细管电泳芯片是一种新型的微全分析系统,它具有被分析的样品用量少、分析速度快、体积小便于携带、成本低等优点.介绍了该芯片的产生和发展过程,综述了芯片的结构、进样方式、检测方法等方面的进展和存在的问题;简述了其主要应用... 集成毛细管电泳芯片是一种新型的微全分析系统,它具有被分析的样品用量少、分析速度快、体积小便于携带、成本低等优点.介绍了该芯片的产生和发展过程,综述了芯片的结构、进样方式、检测方法等方面的进展和存在的问题;简述了其主要应用领域并展望了其应用前景. 展开更多
关键词 集成毛细管电泳芯片 微全分析系统 集成毛细管电泳 芯片结构 进样方式 研究进展
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微热板式气压传感器结构设计与热分析 被引量:12
10
作者 张凤田 唐祯安 +3 位作者 高仁璟 金仁成 郭文泰 王海霞 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第6期598-602,共5页
给出了采用牺牲层技术制作的微热板式气压传感器的加工工艺和工作原理。分析了微热板各层薄膜厚度、微热板下气隙高度、支撑桥尺寸、微热板面积大小对传感器加工、工作性能的影响,并结合实际工艺条件设计了一种采用不同支撑桥尺寸的传... 给出了采用牺牲层技术制作的微热板式气压传感器的加工工艺和工作原理。分析了微热板各层薄膜厚度、微热板下气隙高度、支撑桥尺寸、微热板面积大小对传感器加工、工作性能的影响,并结合实际工艺条件设计了一种采用不同支撑桥尺寸的传感器结构。理论分析了恒温加热方式下微热板各种传热途径随气压的变化关系;用有限元方法模拟了恒流加热方式下气压对传感器温度分布和温度大小的影响。分析结果显示,气压较高时微热板传热以气体导热为主,而气压较低时以支撑桥导热为主;微热板区域温度分布较均匀,温度大小受气压影响较大;设计的传感器测量范围为10~105Pa,功耗在毫瓦级,且具有尺寸小、热响应快、易与电路集成等优点。 展开更多
关键词 微热板 气压传感器 热分析 有限元
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压电陶瓷快速响应特性与应用研究 被引量:19
11
作者 王涛 王晓东 王立鼎 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期785-789,共5页
针对压电材料在逆压电效应下具有极快响应速度的特点,研究并测试了压电陶瓷在阶跃激励下阶跃响应时间及其输出特性,利用其响应时间短输出带宽大的特性,研究了压电陶瓷作为激励源在微结构动态测试上的应用,并建立了压电陶瓷底座激励装置... 针对压电材料在逆压电效应下具有极快响应速度的特点,研究并测试了压电陶瓷在阶跃激励下阶跃响应时间及其输出特性,利用其响应时间短输出带宽大的特性,研究了压电陶瓷作为激励源在微结构动态测试上的应用,并建立了压电陶瓷底座激励装置,成功测试了几种MEMS微结构的谐振频率;利用其在极短响应时间内输出大加速度的特点,研究了压电陶瓷在大量程加速度传感器灵敏度测试上的应用,结果显示压电陶瓷瞬时输出最大加速度达上万gn。 展开更多
关键词 压电陶瓷 动态响应 MEMS 加速度
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矩形块微纳结构材料在红外波段的偏振光吸收 被引量:5
12
作者 黎永前 郭勇君 +3 位作者 苏磊 王斌斌 朱振宇 徐征 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期2998-3003,共6页
研究了矩形块微纳结构吸收材料在中远红外波段的光学偏振吸收特性。该吸收材料由金属阵列-电介质层-金属膜组成,在2.0μm^5.0μm波长具有双波长谐振吸收效应,其理论吸收率大于80%。模拟计算和实验测试表明,该吸收材料的短波吸收峰值与... 研究了矩形块微纳结构吸收材料在中远红外波段的光学偏振吸收特性。该吸收材料由金属阵列-电介质层-金属膜组成,在2.0μm^5.0μm波长具有双波长谐振吸收效应,其理论吸收率大于80%。模拟计算和实验测试表明,该吸收材料的短波吸收峰值与矩形块长轴方向入射偏振光的3阶谐振响应对应,而长波吸收峰值与短轴方向基模谐振响应对应。实验制备了矩形阵列光吸收器并测试了它的的光学特性,结果表明:该吸收器结构在两个偏振方向的等效磁导率系数满足Lorentz模型,等效磁导率谱线虚部峰值波长与吸收谐振波长相对应,表明这种吸收材料的偏振吸收与入射电磁波的磁谐振响应有关。研究结果揭示了微纳结构吸收器的双波长频谱吸收机理,有助于实现特定波长生物传感器及光电探测器的设计。 展开更多
关键词 微纳结构吸收材料 红外探测 偏振吸收 表面等离子 磁谐振
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基于MEMS的硅基PZT薄膜微力传感芯片 被引量:6
13
作者 佟建华 刘梦伟 +3 位作者 崔岩 王兢 崔天宏 王立鼎 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2006年第3期335-337,340,共4页
为了测量毫克级的微小力,设计并制造了一种硅基PZT薄膜悬臂式微力传感芯片。采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上成功制备了厚度不同(300-800nm)的锆钛酸铅(Pb(ZrxTi1-x)O3)薄膜,薄膜表面均匀,无裂纹。通过... 为了测量毫克级的微小力,设计并制造了一种硅基PZT薄膜悬臂式微力传感芯片。采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上成功制备了厚度不同(300-800nm)的锆钛酸铅(Pb(ZrxTi1-x)O3)薄膜,薄膜表面均匀,无裂纹。通过测试和分析,研究了PZT薄膜的制备工艺参数和压电、铁电、阻抗特性。采用微机械加工手段制作了长度为1000μm、500μm、250μm的硅基PZT薄膜微型悬臂结构。当在悬臂的自由端沿着厚度方向施加毫克级的微小力时,微型悬臂就会在厚度方向发生弯曲和振动,通过测量在压电材料表面电极上的电荷量,并通过计算可得到微型悬臂所受的集中力的大小,实现微力的测量。该文还对微力传感芯片的工作方式进行了研究,初步设计了传感器系统模型。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) PZT薄膜 微力传感器 设计 制作
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基于EKF算法的无线传感器网络定位技术研究 被引量:4
14
作者 金仁成 赵伟 石小培 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1810-1814,共5页
无线传感器网络中,基于RSSI测距技术的定位系统误差较大。对扩展卡尔曼滤波(EKF)算法在抑制测距误差和提高定位精度方面进行了深入的研究。同时根据EKF算法在WSN节点定位中的两种应用方式,以收敛概率和相对误差为指标,在各种拓扑条件下... 无线传感器网络中,基于RSSI测距技术的定位系统误差较大。对扩展卡尔曼滤波(EKF)算法在抑制测距误差和提高定位精度方面进行了深入的研究。同时根据EKF算法在WSN节点定位中的两种应用方式,以收敛概率和相对误差为指标,在各种拓扑条件下对提高节点定位精度进行了分类探讨。最后结合仿真阐述了EKF算法的适用范围,并分析了影响算法性能的因素。 展开更多
关键词 无线传感器网络 定位 扩展卡尔曼滤波 RSSI
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微波ECR等离子体源增强非平衡磁控溅射DLC膜的制备与表征 被引量:2
15
作者 李新 唐祯安 +3 位作者 邓新绿 徐军 张虹霞 杨梅 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期304-305,307,共3页
 介绍了微波ECR等离子体源增强非平衡磁控溅射设备的结构和工作原理,详细叙述了利用该设备制备类金刚石膜的过程。Raman光谱证实了薄膜的类金刚石特性;采用原子力显微镜(AFM)观察薄膜的微观表面形貌,均方根粗糙度大约为1.9nm,结果表明...  介绍了微波ECR等离子体源增强非平衡磁控溅射设备的结构和工作原理,详细叙述了利用该设备制备类金刚石膜的过程。Raman光谱证实了薄膜的类金刚石特性;采用原子力显微镜(AFM)观察薄膜的微观表面形貌,均方根粗糙度大约为1.9nm,结果表明薄膜表面非常光滑;利用CERT微摩擦计进行摩擦、磨损和划痕实验,薄膜的平均摩擦系数较小,大约为0.175;DLC膜和Si衬底磨损情况的扫描电镜图片相对比,可以看到DLC膜的磨痕小的多,说明薄膜有较好的耐磨性能;划痕测试结果表明制备薄膜临界载荷大约为40mN。 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 电子回旋共振 等离子体源 类金刚石膜
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气体传感器阵列信号的盲分离研究 被引量:1
16
作者 魏广芬 唐祯安 +3 位作者 陈正豪 余隽 王立鼎 闫桂珍 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期55-57,共3页
Responses of a Micro-hotplate based integrated gas sensor array to CO and CH4 were measured with an automated gas sensor calibration system.Combining with the blind source separation(BSS) techniques,the blind separa... Responses of a Micro-hotplate based integrated gas sensor array to CO and CH4 were measured with an automated gas sensor calibration system.Combining with the blind source separation(BSS) techniques,the blind separability in gas mixture analysis was discussed.The widely used BSS approach-Independent Component Analysis(ICA) was adopted to verify the proposed method by analyzing the gas mixtures of CO and CH4.The analysis results demonstrate that BSS was an effective way to extract the information of gas components in mixtures,from which the gas concentrations can be estimated.The average relative quantification errors were 9.37% and 8.11% for CO and CH4,respectively,in the specified concentration ranges. 展开更多
关键词 盲信号分离 气体传感器阵列 混合气体分析 独立分量分析法
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机器人柔性腕力传感器及其检测系统 被引量:4
17
作者 王全玉 王晓东 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第6期30-33,37,共5页
介绍了一种集被动柔顺和力传感器于一身的机器人柔性腕力传感器,该传感器采用非接触式的光电检测装置进行位置/姿态变换的检测,检测准确度高,不易受到干扰,通过USB接口与计算机进行数据传输,接口方便。
关键词 机器人 柔性腕力传感器 检测 USB 位置敏感元件
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Ni薄膜热敏电阻的研究 被引量:1
18
作者 闫卫平 席文柱 +1 位作者 邝永变 杜立群 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期308-309,共2页
采用磁控溅射方法制备Ni薄膜热敏电阻,其电阻温度系数(TCR)为5.7×10-3/℃。对Ni电阻薄膜表面和横截面进行了电子探针微分析(EPMA),得到了Ni薄膜横截面的线分析谱线,并对Ni薄膜表面结构进行了较深入的分析。
关键词 热敏电阻 Ni薄膜 电子探针微分析(EPMA)
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Cr金属薄膜温度传感器的研究 被引量:1
19
作者 闫卫平 朱剑波 +1 位作者 马灵芝 郭吉洪 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期310-311,共2页
采用等离子体溅射方法制备了Cr金属薄膜式温度传感器。探讨了光刻腐蚀工艺、Cr薄膜厚度及薄膜热处理温度对Cr薄膜电阻温度系数的影响。通过选择合适的制备工艺,得到了较理想的Cr金属薄膜温度传感器。
关键词 温度传感器 Cr金属薄膜 电阻温度系数
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毛细管电泳芯片的电特性研究
20
作者 罗怡 陈阳 +1 位作者 刘冲 王立鼎 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期13-,共1页
芯片毛细管电泳技术是20世纪末发展起来的一项新兴分析技术.本文研究了毛细管电泳芯片的电特性.在一定的电压范围内,玻璃和有机玻璃芯片的伏安特性都有线性段区域,因此在此线性段内研究芯片的电特性可以将其简化为电阻模型.根据基尔霍... 芯片毛细管电泳技术是20世纪末发展起来的一项新兴分析技术.本文研究了毛细管电泳芯片的电特性.在一定的电压范围内,玻璃和有机玻璃芯片的伏安特性都有线性段区域,因此在此线性段内研究芯片的电特性可以将其简化为电阻模型.根据基尔霍夫电流定律建立了毛细管电泳芯片的等效电阻模型,研究了分离电压以及分离焦耳热的影响因素,为毛细管电泳芯片的优化设计提供了理论依据. 展开更多
关键词 毛细管电泳 生物芯片 电特性 等效电阻模型
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