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无背板生长工艺微电铸均匀性的实验研究
被引量：
7
1
作者
刘海军
杜立群
+1 位作者
秦江
朱神渺
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05A期1481-1483,1487,共4页
针对基于无背板生长工艺的微电铸模具高度不均匀问题,本文首次采用两种不同的周期换向电流进行了实验研究.两种周期换向电流分别是正负脉冲换向电流和正向脉冲负向连续的换向电流,实验采用在大量正脉冲电流微电铸实验基础上总结出来的...
针对基于无背板生长工艺的微电铸模具高度不均匀问题,本文首次采用两种不同的周期换向电流进行了实验研究.两种周期换向电流分别是正负脉冲换向电流和正向脉冲负向连续的换向电流,实验采用在大量正脉冲电流微电铸实验基础上总结出来的工艺参数.实验结果表明,由于负向电流腐蚀铸层表面的微观突起,脉冲间断时间消除微电铸阴极表面的浓差极化,正负脉冲电流获得了较好的微电铸均匀性.
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关键词
无背板生长工艺
微电铸
周期换向电流
均匀性
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职称材料
微电铸器件铸层均匀性的研究
被引量：
19
2
作者
杜立群
刘海军
+1 位作者
秦江
朱神渺
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第1期69-75,共7页
理论分析了负脉冲电流对铸层的修饰作用,采用正负间断脉冲电流和正间断负连续脉冲电流进行了相应的微电铸的实验研究。实验采用的微电铸器件是特征宽度为90μm的微流控芯片的金属模具。微电铸实验主要包括三个步骤:制作SU-8胶胶模,微电...
理论分析了负脉冲电流对铸层的修饰作用,采用正负间断脉冲电流和正间断负连续脉冲电流进行了相应的微电铸的实验研究。实验采用的微电铸器件是特征宽度为90μm的微流控芯片的金属模具。微电铸实验主要包括三个步骤:制作SU-8胶胶模,微电铸和去除SU-8胶。为了对实验结果进行对比分析,两组实验的工作时间和电流强度均采用240min和2.5 A/dm2。将正负脉冲电流微电铸与正脉冲电流微电铸的实验结果进行了对比分析。研究结果表明,正负间断脉冲电流能够获得较好的器件铸层均匀性。由于在负向脉冲的间断时间内,铸层表面附近的浓度极差得以改变,因此正负间断脉冲电流微电铸的铸层均匀性优于正间断负连续脉冲电流微电铸。实验结果与理论分析结果相一致。
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关键词
铸层均匀性
FICK第二定律
正负脉冲电流
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职称材料
基于元胞自动机算法的三维玻璃微流控芯片湿法刻蚀模拟研究
3
作者
杜立群
李璞
刘军山
《计算机学报》
EI
CSCD
北大核心
2008年第5期868-874,共7页
以二维动态元胞自动机理论为基础,提出一种针对玻璃各向同性刻蚀特性的三维动态元胞自动机(Cellular automata)算法.利用创建刻蚀链表的方式代替传统的元胞搜索,提高了算法效率,并通过改进元胞信息的存储方式,使得三维元胞阵列得以存储...
以二维动态元胞自动机理论为基础,提出一种针对玻璃各向同性刻蚀特性的三维动态元胞自动机(Cellular automata)算法.利用创建刻蚀链表的方式代替传统的元胞搜索,提高了算法效率,并通过改进元胞信息的存储方式,使得三维元胞阵列得以存储于二维矩阵中.最后利用OpenGL技术对刻蚀结果进行三维成像.该算法在个人计算机上实现了较高分辨率(4000×4000像素)的三维刻蚀模拟与显示.通过对比玻璃刻蚀的实验结果和前人的研究评估模型,模拟结果完全能够实现对刻蚀结果的预测.文中的研究表明:建立的三维元胞自动机算法可以有效地应用于玻璃刻蚀过程的模拟.
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关键词
玻璃芯片
湿法刻蚀
元胞自动机
OpenGL三维成像
计算机模拟
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职称材料
题名
无背板生长工艺微电铸均匀性的实验研究
被引量：
7
1
作者
刘海军
杜立群
秦江
朱神渺
机构
大连理工大学教育部精密与特种加工技术重点实验室
大连理工大学
辽宁省微纳米
技术
及系统
重点
实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05A期1481-1483,1487,共4页
基金
国家863MEMS重大专项资助(2004AA404260)
文摘
针对基于无背板生长工艺的微电铸模具高度不均匀问题,本文首次采用两种不同的周期换向电流进行了实验研究.两种周期换向电流分别是正负脉冲换向电流和正向脉冲负向连续的换向电流,实验采用在大量正脉冲电流微电铸实验基础上总结出来的工艺参数.实验结果表明,由于负向电流腐蚀铸层表面的微观突起,脉冲间断时间消除微电铸阴极表面的浓差极化,正负脉冲电流获得了较好的微电铸均匀性.
关键词
无背板生长工艺
微电铸
周期换向电流
均匀性
Keywords
no backing process
micro-electroforming
periodical reversal current
uniformity
分类号
TQ153.4 [化学工程—电化学工业]
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职称材料
题名
微电铸器件铸层均匀性的研究
被引量：
19
2
作者
杜立群
刘海军
秦江
朱神渺
机构
大连理工大学教育部精密与特种加工技术重点实验室
大连理工大学
辽宁省微纳米
技术
及系统
重点
实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第1期69-75,共7页
基金
国家863MEMS重大专项(No.2004AA404260)
国家自然科学基金(No.50675025)
教育部和大连市留学回国人员科研启动基金资助
文摘
理论分析了负脉冲电流对铸层的修饰作用,采用正负间断脉冲电流和正间断负连续脉冲电流进行了相应的微电铸的实验研究。实验采用的微电铸器件是特征宽度为90μm的微流控芯片的金属模具。微电铸实验主要包括三个步骤:制作SU-8胶胶模,微电铸和去除SU-8胶。为了对实验结果进行对比分析,两组实验的工作时间和电流强度均采用240min和2.5 A/dm2。将正负脉冲电流微电铸与正脉冲电流微电铸的实验结果进行了对比分析。研究结果表明,正负间断脉冲电流能够获得较好的器件铸层均匀性。由于在负向脉冲的间断时间内,铸层表面附近的浓度极差得以改变,因此正负间断脉冲电流微电铸的铸层均匀性优于正间断负连续脉冲电流微电铸。实验结果与理论分析结果相一致。
关键词
铸层均匀性
FICK第二定律
正负脉冲电流
Keywords
uniformity
Fick second law
pulse-reverse current
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TG249.9 [金属学及工艺—铸造]
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职称材料
题名
基于元胞自动机算法的三维玻璃微流控芯片湿法刻蚀模拟研究
3
作者
杜立群
李璞
刘军山
机构
大连理工大学教育部精密与特种加工技术重点实验室
大连理工大学
创新
实验
学院
大连理工大学
辽宁省微纳米
技术
及系统
重点
实验室
出处
《计算机学报》
EI
CSCD
北大核心
2008年第5期868-874,共7页
基金
国家“八六三”MEMS重大专项基金(2004AA404260)
国家自然科学基金(50605006,50675025)资助
文摘
以二维动态元胞自动机理论为基础,提出一种针对玻璃各向同性刻蚀特性的三维动态元胞自动机(Cellular automata)算法.利用创建刻蚀链表的方式代替传统的元胞搜索,提高了算法效率,并通过改进元胞信息的存储方式,使得三维元胞阵列得以存储于二维矩阵中.最后利用OpenGL技术对刻蚀结果进行三维成像.该算法在个人计算机上实现了较高分辨率(4000×4000像素)的三维刻蚀模拟与显示.通过对比玻璃刻蚀的实验结果和前人的研究评估模型,模拟结果完全能够实现对刻蚀结果的预测.文中的研究表明:建立的三维元胞自动机算法可以有效地应用于玻璃刻蚀过程的模拟.
关键词
玻璃芯片
湿法刻蚀
元胞自动机
OpenGL三维成像
计算机模拟
Keywords
glass chip
wet etching
cellular automata
OpenGL 3-D technology
computer simulation
分类号
TP391 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
无背板生长工艺微电铸均匀性的实验研究
刘海军
杜立群
秦江
朱神渺
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006
7
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
微电铸器件铸层均匀性的研究
杜立群
刘海军
秦江
朱神渺
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
19
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于元胞自动机算法的三维玻璃微流控芯片湿法刻蚀模拟研究
杜立群
李璞
刘军山
《计算机学报》
EI
CSCD
北大核心
2008
0
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职称材料
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