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TaN膜的结构、成分及性能 被引量:6
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作者 张庆瑜 陈斌 +2 位作者 王敏 朱英臣 陈 遐 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 1995年第4期482-486,共5页
研究了三极溅射法制备的TaN膜的结构、成分及其性能。实验发现:随着氮分压的增加,TaN膜的结构将从面心立方相转变为六方相;TaN膜的显微硬度在单一相结构时最大,而以双相共存时的显微硬度较低。
关键词 沉积 结构分析 性能 氮化钽 薄膜
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离子束辅助沉积制备氮化钽薄膜 被引量:3
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作者 梅显秀 张庆瑜 +4 位作者 马腾才 杨大智 陈遐 王煜明 滕凤恩 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 1995年第5期623-627,共5页
利用离子束辅助沉积(IBAD)技术制备TaN薄膜;掠入射的X射线衍射和透射电镜观察结果显示,薄膜晶粒细小、结构致密,是面心立方结构。俄歇深度分析表明,薄膜由均匀层和混合过渡层两个区域组成,XPS得出薄膜主要以TaN形... 利用离子束辅助沉积(IBAD)技术制备TaN薄膜;掠入射的X射线衍射和透射电镜观察结果显示,薄膜晶粒细小、结构致密,是面心立方结构。俄歇深度分析表明,薄膜由均匀层和混合过渡层两个区域组成,XPS得出薄膜主要以TaN形式存在;薄膜电阻稳定,不随温度变化。膜基结合性能好,膜内应力小;25keV能量离子轰击制得薄膜内应力最小,结合最好。 展开更多
关键词 薄膜 氮化钽薄膜 离子束辅助沉积 制备
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氩离子束溅射沉积PTFE高分子膜 被引量:3
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作者 李有宏 宫泽祥 +1 位作者 龙振湖 纪纯新 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 1996年第3期279-282,共4页
用氩离子束溅射聚四氟乙烯靶材,在黄铜上沉积聚四氟乙烯薄膜.用XPS和IRS分析方法确定了聚四氟乙烯高分子膜的存在,并依据沉积膜形成过程对沉积膜与靶材在IRS谱图上的差异给予了解释.结果表明。
关键词 离子束 溅射 真空沉积 薄膜 聚四氟乙烯 塑料
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Y,Cr离子注入碳钢耐蚀改性研究 被引量:2
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作者 翁端 张鸣镝 +2 位作者 高万夫 陆福全 刘世民 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第2期151-156,共6页
用失重法、电化学方法、金相及俄歇电子能谱分析研究了碳钢离子注入Y,Cr元 素在海水,HF,H2SO4+H3PO4中的耐腐蚀改性作用.结果表明:稀土Y注入后 使碳钢耐水溶液腐蚀性能提高;Y,Cr复合注入使碳钢表面产生钝性... 用失重法、电化学方法、金相及俄歇电子能谱分析研究了碳钢离子注入Y,Cr元 素在海水,HF,H2SO4+H3PO4中的耐腐蚀改性作用.结果表明:稀土Y注入后 使碳钢耐水溶液腐蚀性能提高;Y,Cr复合注入使碳钢表面产生钝性,局部诱发小孔 腐蚀;Y在表面注入层均匀富集产生的非平衡态合金化作用是耐蚀性提高的主要原 因;注入过程中高能离子轰击引起的表层微观结构变化对耐蚀强化起着一定的作用; Y,Cr复合注入合金化的耐蚀改性效果更佳。 展开更多
关键词 离子注入 碳钢 耐蚀性 表面改性
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动态混合高结合力超厚TiN膜 被引量:1
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作者 龙振湖 任春生 +5 位作者 闫坤 郭宝海 李有宏 张庆瑜 薛恒春 潘曼云 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期317-320,共4页
在新型的MBMI多束混合注入设备中、高真空条件下,在Ti6Al4V基底上采用化学配比态的强流N ̄+离子束,动态混合真空弧Ti等离子体束的沉积膜,得到高结合力(L_c:100N)超厚(10~30μm)的TiN膜。
关键词 沉积 等离子体 离子注入 氮化钛
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采用MBDM法获得高性能高分子膜的研究
6
作者 任春生 龙振湖 +2 位作者 阎坤 郭宝海 纪宏学 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 1996年第3期283-287,共5页
采用多束动态混合法在304不锈钢样品表面成功地制备出PTFE(聚四氟乙烯)和PEEK(聚醚醚酮)混合的高性能高分子复合膜,其结合力约70N,耐蚀能力提高20倍,摩擦系数达到0.07~0.14。
关键词 离子束 沉积 薄膜 MBDM法 高聚物 塑料
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在电弧不稳定性研究中一类方程的解
7
作者 刘金远 李国炳 +1 位作者 宫野 孙继忠 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 1995年第5期628-632,共5页
用级数展开法给出了电弧等离子体柱螺旋不稳定性研究中出现的一类方程的精确解。对具有各种非齐次项的情况求得了解析解。对弧柱内外相应的方程求得了方便计算的求解公式。
关键词 等离子体 螺旋不稳定性 电弧等离子体柱
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射频等离子体增强磁控溅射沉积Al_2O_3膜
8
作者 郭宝海 王德真 +1 位作者 章玉萱 马腾才 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第6期644-646,650,共4页
采用射频等离子体增强磁控溅射同步沉积,在金属表面制备了Al2O3 膜.实验表明,采用本方法在工艺上是可行的,膜与基材结合性能好。
关键词 氧化铝 薄膜 磁控溅射沉积
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离子注入法(IBS)合成新FeSi_2相的显微结构研究
9
作者 金星 李晓娜 +3 位作者 张泽 董闯 宫泽祥 马腾才 《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第2期136-140,共5页
本文主要以电子显微镜为手段研究了离子注入形成的FeSi2薄膜的微观结构,发现了一种新的FeSi2相,这种相的晶格参数与已知的β-FeSi2相相似,但是它的点群和空间群分别为mmm和Pbca。
关键词 离子注入 金属硅化物 电子显微学
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离子束合成TiSi_2薄膜及显微结构的研究
10
作者 金星 宫泽祥 +3 位作者 李晓娜 马腾才 杨大智 Mark Aindow 《电子显微学报》 CAS CSCD 1996年第1期7-12,共6页
本文主要以电子显微镜为手段研究了离子注入形成的TiSi_2薄膜的微观结构,发现了一种新的TiSi_2相,初步确定它为简单正交结构,点阵常数与已知的C49-TiSi_2相等,并发现新的TiSi_2可向C49-TiSi_2转化;在800℃条件下保温30分钟,C54-TiSi_2可... 本文主要以电子显微镜为手段研究了离子注入形成的TiSi_2薄膜的微观结构,发现了一种新的TiSi_2相,初步确定它为简单正交结构,点阵常数与已知的C49-TiSi_2相等,并发现新的TiSi_2可向C49-TiSi_2转化;在800℃条件下保温30分钟,C54-TiSi_2可在Si(111)基片上外延生长,取向关系为:[121]_(TiSi)_2∥[110]_(Si),(111)_(TiSi)_2∥(111)_(Si)。 展开更多
关键词 离子注入 金属硅化物 电子显微学
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电子束在动态混合沉积TiN中的作用
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作者 李国卿 刘向红 +4 位作者 宫泽祥 马腾才 黑祖昆 翟光玉 朱戈 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 1994年第4期394-398,共5页
在三束动态混合离子注入机中,研究了电子束对动态混合沉积TiN薄膜的硬度、结合力和膜层结构的影响.结果表明,电子束增强了离子束的反应活力,保持了混合过程中温度的均匀性,整个沉积膜层中形成了均匀分布的细纤维状TiN晶粒,... 在三束动态混合离子注入机中,研究了电子束对动态混合沉积TiN薄膜的硬度、结合力和膜层结构的影响.结果表明,电子束增强了离子束的反应活力,保持了混合过程中温度的均匀性,整个沉积膜层中形成了均匀分布的细纤维状TiN晶粒,显著提高了膜层的韧性和结合力。 展开更多
关键词 电子束 沉积 氮化钛 镀膜
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Mo、Ti离子注入不锈钢耐水溶液腐蚀改性研究
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作者 王敏 张庆瑜 +1 位作者 翁端 火时中 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期312-316,共5页
用电化学测试和俄歇电子能谱分析研究了离子注入不同剂量的Mo、Ti对304L奥氏体不锈钢在H_2SO_4、NaCl水溶液中的腐蚀行为,结果表明:注入Mo、Ti可使不锈钢的耐水溶液腐蚀性能提高,并改善材料的钝性和耐小孔腐... 用电化学测试和俄歇电子能谱分析研究了离子注入不同剂量的Mo、Ti对304L奥氏体不锈钢在H_2SO_4、NaCl水溶液中的腐蚀行为,结果表明:注入Mo、Ti可使不锈钢的耐水溶液腐蚀性能提高,并改善材料的钝性和耐小孔腐蚀能力;在腐蚀过程中,注入元素在膜中富集,膜中Cr/Fe比值提高,从而达到耐蚀性能改善之目的;在适当的注入剂量下,可获得最佳的耐蚀改性效果。 展开更多
关键词 等离子体 改性 耐蚀性 奥氏体不锈钢 腐蚀
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碳化硅晶须增强铝复合材料扩散焊的研究──焊接表面状态对接头性能的影响
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作者 杜兴春 牛济泰 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第3期365-368,共4页
By using a Gleeble-1500 thermal and mechanical material testing machine, the authors have welded the Al-Matrix composites material by the diffusion welding method, and studied the effects of the surface treatment cond... By using a Gleeble-1500 thermal and mechanical material testing machine, the authors have welded the Al-Matrix composites material by the diffusion welding method, and studied the effects of the surface treatment conditions of the joint before welding on the joint performance and painted out there are a lot of the different surface treatment conditions. These influences and the influence excessively by high grinding of the surface of joints before welding are helpful to raising the strength of the joint in vacuum diffusion welding. The suitable grinding with suitable welding parameters, the joint strength can reach 90% of that of the base material, and also studied the reason thoroughly by using SEM. XRD. etc. 展开更多
关键词 晶须 复合材料 碳化硅 扩散焊
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