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铝基复合材料表面多层复合厚膜的研究 被引量:5
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作者 彭丽平 王兆松 +5 位作者 李剑锋 吕世功 王春 武洪臣 巩水利 李国卿 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期505-509,共5页
对含50%AlN颗粒的铝基复合材料进行预处理后,在其表面依次采用浸锌化学镀镍工艺制备Ni-P过渡层,采用脉冲偏压磁过滤多弧离子镀工艺沉积硬质Ti/TiN调制周期膜,采用脉冲等离子体化学气相沉积工艺制备含氢类金刚石(DLC)膜等工艺最后形成了... 对含50%AlN颗粒的铝基复合材料进行预处理后,在其表面依次采用浸锌化学镀镍工艺制备Ni-P过渡层,采用脉冲偏压磁过滤多弧离子镀工艺沉积硬质Ti/TiN调制周期膜,采用脉冲等离子体化学气相沉积工艺制备含氢类金刚石(DLC)膜等工艺最后形成了多层复合薄膜体系。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、光谱仪、原子力显微镜、微载荷显微硬度仪、摩擦磨损试验机等设备分析了复合薄膜的组织结构、膜层形貌、截面形貌、显微硬度和摩擦系数等性能特点。测试表明:铝基复合材料/Ni-P层/Ti/TiN调制周期膜/含氢DLC膜这一梯度膜系具有结构交替变化,相邻界面形成混合层,性能梯度分布,硬度逐渐增加,摩擦系数小的特点。该复合工艺能够有效地解决铝基复合材料上制备硬质厚膜的热适配和晶格错配度大的难题,制备薄膜具有良好的膜基结合性能。 展开更多
关键词 多层复合膜 Ti/TiN调制周期膜 类金刚石膜 摩擦系数 结合力
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碳素钢强流脉冲电子束处理后的表面火山口状凹坑研究 被引量:11
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作者 邹慧 邹建新 +4 位作者 陈亚军 吴爱民 关庆丰 张庆瑜 董闯 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期343-346,共4页
利用强流脉冲电子束 (HCPEB)技术对碳素钢进行了表面改性处理。利用扫描电镜 (SEM)和X射线衍射 (XRD)对改性试样的表面性质进行了分析 ,结果表明 :样品表面出现了“火山坑”状的凹坑 ,淬火态T8凹坑数量比 4 5 # 钢少 ,凹坑深度比4 5 # ... 利用强流脉冲电子束 (HCPEB)技术对碳素钢进行了表面改性处理。利用扫描电镜 (SEM)和X射线衍射 (XRD)对改性试样的表面性质进行了分析 ,结果表明 :样品表面出现了“火山坑”状的凹坑 ,淬火态T8凹坑数量比 4 5 # 钢少 ,凹坑深度比4 5 # 钢深。凹坑的密度与输入的能量密度成正比关系 ;此外 ,凹坑的分布密度先随轰击次数 (n =1~ 5 )的增加而增加 ,随后 (n=6~ 10 )略有降低 ;分析表明凹坑的形成及分布与位错密度密切相关。 展开更多
关键词 强流脉冲电子束 碳素钢 凹坑 45#钢 表面 淬火 位错密度 分布密度 量比 次数
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