多元散射校正技术用于近红外定标波长组合的优选研究 被引量：16

1

作者 芦永军 曲艳玲 +1 位作者 冯志庆 宋敏 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期58-61,共4页

在近红外光谱定量分析技术中,多元散射校正(MSC)算法可以有效地剔除由于样品颗粒度、装填密度、湿度等物理因素所导致的散射影响,有效地提高了光谱的信噪比。相关光谱法反映了样品待测成分光谱信息和浓度信息之间的线性相关性,在定标波... 在近红外光谱定量分析技术中,多元散射校正(MSC)算法可以有效地剔除由于样品颗粒度、装填密度、湿度等物理因素所导致的散射影响,有效地提高了光谱的信噪比。相关光谱法反映了样品待测成分光谱信息和浓度信息之间的线性相关性,在定标波长优选过程中发挥了重要作用。然而采用单一波长通道一元线性回归计算得到的相关光谱极易受到散射的影响,掩盖了待测成分的特征线性信息,将多元散射校正技术用于相关光谱的信息提取和噪声压制,克服了上述的困难,并通过人参样品的定标实验验证,得到了良好的效果和满意的定标结果。 展开更多

关键词 近红外 多元散射校正 相关 定标

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近红外相关光谱的多元散射校正处理研究 被引量：55

2

作者 芦永军 曲艳玲 宋敏 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期877-880,共4页

近红外相关光谱法可以揭示待测成分光谱吸光度数据与浓度数据之间的全光谱线性相关性,明确待测成分在近红外波段的特征吸收位置,为定标波长的优选提供了依据。但是该相关光谱法极易受到样品颗粒的散射影响而掩盖与待测成分相关的光谱信... 近红外相关光谱法可以揭示待测成分光谱吸光度数据与浓度数据之间的全光谱线性相关性,明确待测成分在近红外波段的特征吸收位置,为定标波长的优选提供了依据。但是该相关光谱法极易受到样品颗粒的散射影响而掩盖与待测成分相关的光谱信息。文章首先提出将原始近红外光谱数据进行散射校正处理后再参与相关运算得到散射校正相关光谱的思想,经过实验验证得到的散射校正相关光谱有效地降低了散射的影响,提高了相关光谱的信噪比,更加准确地表征了待测成分吸光度数据与浓度数据之间在近红外全光谱通道的线性相关性。 展开更多

关键词 近红外 相关光谱 多元散射校正

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高非线性色散平坦光子晶体光纤的研究 被引量：5

3

作者 刘兆伦 刘晓东 +2 位作者 倪正华 李曙光 侯蓝田 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期47-50,共4页

利用矢量等效折射率法计算了空气孔间距和空气填充率对非线性系数以及波导色散的影响,通过计算发现孔间距对波导色散曲线的走向起决定性作用,而空气填充率的影响主要是使得波导色散大小和位置发生变化,同时减小孔间距以及增大空气填充... 利用矢量等效折射率法计算了空气孔间距和空气填充率对非线性系数以及波导色散的影响,通过计算发现孔间距对波导色散曲线的走向起决定性作用,而空气填充率的影响主要是使得波导色散大小和位置发生变化,同时减小孔间距以及增大空气填充率都会提高非线性系数,最终设计出了几种不同特性的800nm处色散平坦高非线性光子晶体光纤。 展开更多

关键词 光纤光学 非线性 色散平坦 光子晶体光纤

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液晶波前校正器动态位相响应特性研究 被引量：4

4

作者 芦永军 曹召良 +1 位作者 曲艳玲 王海萍 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期730-735,共6页

为了对畸变波前进行精确校正,研究了液晶波前校正器在不同灰度级之间的动态位相响应特性,准确确定其响应时间。首先给出液晶波前校正器的响应时间和位相变化的检测方案。然后检测了液晶波前校正器在0和255灰度级之间的上升和下降时间,... 为了对畸变波前进行精确校正,研究了液晶波前校正器在不同灰度级之间的动态位相响应特性,准确确定其响应时间。首先给出液晶波前校正器的响应时间和位相变化的检测方案。然后检测了液晶波前校正器在0和255灰度级之间的上升和下降时间,分别为7ms和11ms。在保证校正精度的条件下,对该位相曲线采取λ/10的误差截断,使上升和下降时间分别减少到4ms和6.8ms。最后,研究了各灰度级依次上升到255和从255再以次回落到各灰度级的动态响应时间。结果表明,各灰度级的上升时间在2～5.2ms之间变化,下降时间在3.66～8.74ms之间变化,且无论是上升还是下降,150和255灰度级之间转换速度最快,在255灰度级邻近的灰度响应速度最慢,且响应时间长于0和255灰度之间的响应时间。因此,在波前校正中,须以255灰度邻近的灰度级中最长的响应时间作为液晶波前校正器的响应时间,以确保波前校正精度。 展开更多

关键词 液晶波前校正器 位相 响应时间 动态

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光子晶体光纤的研究新进展及其应用 被引量：2

5

作者 刘兆伦 刘晓东 +2 位作者 倪正华 李曙光 侯蓝田 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期7-9,共3页

光子晶体光纤由于具有传统光纤无法比拟的奇异特性,吸引了学术界和工业界的广泛注意,其研究在短短的十年内取得了很大的进展。本文阐述了光子晶体光纤的一些独特的光学性质、制作技术及其理论研究方法,介绍了关于它的最新成果,并展望其... 光子晶体光纤由于具有传统光纤无法比拟的奇异特性,吸引了学术界和工业界的广泛注意,其研究在短短的十年内取得了很大的进展。本文阐述了光子晶体光纤的一些独特的光学性质、制作技术及其理论研究方法,介绍了关于它的最新成果,并展望其学术研究和应用前景。 展开更多

关键词 光子晶体光纤 非线性 色散 双折射

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等离子体作用下甲烷和氮氧化物活化转化研究 被引量：3

6

作者 牛金海 张志慧 刘东平 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2010年第7期51-56,共6页

比较了不同的放电方式,即单纯脉冲火花放电、脉冲流光放电(针-板式、线-筒式)、介质阻挡放电(正脉冲、交流)对NO和CH4的活化转化能力。其中脉冲火花放电和针-板式脉冲流光放电对CH4的活化能力较强,CH4的最大转化率分别为100%和36%,但是... 比较了不同的放电方式,即单纯脉冲火花放电、脉冲流光放电(针-板式、线-筒式)、介质阻挡放电(正脉冲、交流)对NO和CH4的活化转化能力。其中脉冲火花放电和针-板式脉冲流光放电对CH4的活化能力较强,CH4的最大转化率分别为100%和36%,但是在N2+O2体系中NOx的合成加剧。如在针-板式脉冲流光放电中,在O2体积分数为9.8%时,NO的体积分数为449μL/L。线-筒式脉冲流光放电中,即使在输入功率为14.4W时,CH4的最大转化率小于3%,而NO的最大转化率为25%。正脉冲介质阻挡放电中,在21.6kV、输入功率6.4W时,NO和CH4的转化率分别为31%和4.4%,在交流介质阻挡放电中,在低温下有利于NO的转化,在100℃、输入功率为6W时,NO转化率为34.5%,但是对CH4的活化能力较弱。 展开更多

关键词 脉冲火花放电 脉冲流光放电 介质阻挡放电 氮氧化物 甲烷

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蓝宝石图形衬底上生长GaN的微区拉曼光谱研究(英文)

7

作者 于乃森 郭丽伟 +5 位作者 彭铭征 朱学亮 王晶 贾海强 陈弘 周均铭 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期17-20,共4页

采用微区拉曼光谱对生长在湿法腐蚀获得的无掩膜周期性图形蓝宝石衬底上GaN材料做了研究,结果显示,侧向外延生长区域具有较低的压应力。采用湿法腐蚀结合原子力显微镜对材料的位错进行了表征,侧向外延区域显示了低的位错密度,具有较高... 采用微区拉曼光谱对生长在湿法腐蚀获得的无掩膜周期性图形蓝宝石衬底上GaN材料做了研究,结果显示,侧向外延生长区域具有较低的压应力。采用湿法腐蚀结合原子力显微镜对材料的位错进行了表征,侧向外延区域显示了低的位错密度,具有较高的晶体质量。另外通过对不同生长区域的拉曼纵光学声子与等离子体激元形成的耦合模高频支进行拟合,结果显示侧向外延区域具有较低的背底载流子浓度。研究认为,由于采用图形衬底,侧向外延区域悬空生长降低了位错密度,同时侧向外延区域不与蓝宝石接触,因此采用该方法生长的GaN材料具有较低的压应力和较低的背底载流子浓度。 展开更多

关键词 氮化镓 金属有机化学气相沉积 微区拉曼光谱

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ICP-CVD制备氟化非晶碳(a-C：F)薄膜的研究 被引量：3

8

作者 谷建东 李东明 +2 位作者 冯志庆 牛金海 刘东平 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期61-67,共7页

本文使用CH2F2为源气体,利用电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD)法在不同放电模式(连续或脉冲)、沉积气压、射频功率和位置下制备了a-C∶F薄膜。用原子力显微镜(AFM)观察了薄膜的表面形貌,通过FTIR、XPS对其结构进行了表征。研... 本文使用CH2F2为源气体,利用电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD)法在不同放电模式(连续或脉冲)、沉积气压、射频功率和位置下制备了a-C∶F薄膜。用原子力显微镜(AFM)观察了薄膜的表面形貌,通过FTIR、XPS对其结构进行了表征。研究结果表明:放电模式、放电气压、射频功率、基底位置均对薄膜的表面粗糙度(RMS)和组成具有重要的影响。在脉冲波模式下,增加放电气压,薄膜RMS值的变化呈现出先降低后升高的变化趋势;基底距离线圈的距离越远,所沉积薄膜的RMS值越小。而在连续波模式下,距离线圈较远的B、C位置薄膜的RMS值却相对较高。增加放电功率导致沉积薄膜的RMS值较小。本文也对CH2F2等离子体进行了发射光谱(OES)诊断研究。结果表明,对比脉冲波模式,连续波放电时等离子体中含碳物种明显减少。结合表征结果和OES结果对薄膜的生长机理进行了探讨。 展开更多

关键词 氟化非晶碳薄膜 沉积机理 原子力显微镜 发射光谱

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DBD-PECVD法制备CN薄膜的结构及性能研究

9

作者 张莲莲 刘艳红 +1 位作者 牛金海 刘东平 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期479-483,共5页

使用自行设计的真空系统,采用介质阻挡放电等离子体增强化学气相沉积(DBD-PECVD)法,分别以CH4/N2、C2H2/N2、C2H4/N2混合气体作为反应气体,在单晶硅片上成功制备了CN薄膜。FTIR结果证实了薄膜中碳氮原子结合成化学键,Raman结果说明薄膜... 使用自行设计的真空系统,采用介质阻挡放电等离子体增强化学气相沉积(DBD-PECVD)法,分别以CH4/N2、C2H2/N2、C2H4/N2混合气体作为反应气体,在单晶硅片上成功制备了CN薄膜。FTIR结果证实了薄膜中碳氮原子结合成化学键,Raman结果说明薄膜中含有类金刚石结构,AFM结果表明薄膜粗糙度随放电气压的升高而逐渐增大。三种混合气体沉积的CN薄膜,以CH4/N2的沉积速度最慢,薄膜表面粗糙度最小,含H量最少;C2H2/N2的沉积速度最快,薄膜表面粗糙度最大。 展开更多

关键词 碳氮薄膜 薄膜结构 介质阻挡放电 FTIR AFM RAMAN

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人参总皂甙近红外光谱及定标建模分析 被引量：17

10

作者 芦永军 曲艳玲 +2 位作者 冯志庆 曹志强 宋敏 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期490-493,共4页

采用近红外光谱分析技术对人参进行了光谱及定量分析。对人参的原始漫反射吸收光谱采用二阶导数、散射校正、相关分析等多种光谱解析手段,研究了人参中的主要成分总皂甙的光谱吸收特性,并结合偏最小二乘回归法对人参总皂甙进行了定标建... 采用近红外光谱分析技术对人参进行了光谱及定量分析。对人参的原始漫反射吸收光谱采用二阶导数、散射校正、相关分析等多种光谱解析手段,研究了人参中的主要成分总皂甙的光谱吸收特性,并结合偏最小二乘回归法对人参总皂甙进行了定标建模分析。分析结果精度高,定标标准差(RMSEC)为0.154%,相关系数为0.982 8。 展开更多

关键词 人参 总皂甙 近红外光谱

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人参总糖的近红外光谱定量分析 被引量：27

11

作者 芦永军 曲艳玲 +1 位作者 曹志强 宋敏 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1457-1459,共3页

采用近红外光谱分析技术对中国人参的总糖指标进行了光谱及定量分析,并且结合偏最小二乘回归法对人参总糖进行了定标建模分析,分析结果表明该技术所给出的分析精度可以和传统化学分析方法相媲美,定标标准差(RMSEC)为1.9%,相关系数为0.95... 采用近红外光谱分析技术对中国人参的总糖指标进行了光谱及定量分析,并且结合偏最小二乘回归法对人参总糖进行了定标建模分析,分析结果表明该技术所给出的分析精度可以和传统化学分析方法相媲美,定标标准差(RMSEC)为1.9%,相关系数为0.951 7,而且具有分析速度快、无化学污染、样品制备简单、分析成本较低、适用于在线成分质量监控等特点。 展开更多

关键词 人参 总糖 近红外光谱

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二维空间紫外LED阵列实现单光斑辐照固化系统的设计 被引量：5

12

作者 芦永军 许文海 +2 位作者 赵欢 曲艳玲 宋敏 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期16-19,共4页

新型大功率紫外LED具有电光转化效率高、光谱纯度高和体积小等优点,但单管LED功率仍很难满足光固化的要求,针对单光斑辐照要求,提出采用空间阵列UV-LED排布实现能量累加的方案。该方案通过单管LED聚光系统与集成阵列系统综合设计实现了... 新型大功率紫外LED具有电光转化效率高、光谱纯度高和体积小等优点,但单管LED功率仍很难满足光固化的要求,针对单光斑辐照要求,提出采用空间阵列UV-LED排布实现能量累加的方案。该方案通过单管LED聚光系统与集成阵列系统综合设计实现了各单元单光斑辐照度在辐照面上的合成,最终得到的光斑辐照度分布均匀、尺寸合理,阵列系统后工作距离长,完全满足现场应用的具体指标要求。通过外围电子线路控制阵列LED的电流强度及通断状态可实现光斑辐照度在(1000～1800)mW/cm2可调,光斑尺寸为1cm2,后工作距离为10cm。 展开更多

关键词 光学设计 紫外二极管 LED阵列 紫外固化

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365nm紫外LED二维空间阵列光学系统设计 被引量：4

13

作者 芦永军 许文海 +2 位作者 曲艳玲 赵欢 宋敏 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期268-271,共4页

针对紫外固化技术领域中新型大功率365nmUV-LED光源进行了拓展性应用研究.提出了空间阵列排布实现能量累加的技术方案,给出了其优化设计原理与软件实例仿真结果.结果证明:该二维空间阵列光学设计方案的正确性和可行性,完全可以实现应用... 针对紫外固化技术领域中新型大功率365nmUV-LED光源进行了拓展性应用研究.提出了空间阵列排布实现能量累加的技术方案,给出了其优化设计原理与软件实例仿真结果.结果证明:该二维空间阵列光学设计方案的正确性和可行性,完全可以实现应用现场的实际光学技术指标(辐照度、光斑尺寸、后工作距离、光斑等);其中指标要求在辐照面实现50mm×10mm线状辐照光斑,后工作距离≥50mm,辐照度≥1W/cm2,辐照面光斑分布均匀,设计出的空间阵列光学系统在结构上实现了最高优化设计. 展开更多

关键词 光学设计 紫外二极管 阵列 紫外固化

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掺Er^3＋的镉硅酸盐玻璃的光限幅特性 被引量：4

14

作者 宋昭远 刘晓东 +4 位作者 陈月娥 韩颖 付剑 冯志庆 侯蓝田 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期29-31,35,共4页

利用调Q纳秒Nd∶YAG激光脉冲,使用z扫描技术研究了掺Cd2+重金属硅酸盐基质玻璃及其掺Er3+玻璃的三阶非线性光学特性。发现基质玻璃具有负的三阶非线性折射系数和正的非线性吸收系数,而随着Er3+的掺入,反而具有正的三阶非线性折射系数和... 利用调Q纳秒Nd∶YAG激光脉冲,使用z扫描技术研究了掺Cd2+重金属硅酸盐基质玻璃及其掺Er3+玻璃的三阶非线性光学特性。发现基质玻璃具有负的三阶非线性折射系数和正的非线性吸收系数,而随着Er3+的掺入,反而具有正的三阶非线性折射系数和非线性吸收系数,属于自聚焦反饱和吸收型的光学介质。光限幅测量表明,掺Er3+玻璃在入射功率密度>154mW/mm2时,介质的吸收系数逐渐增加,激光透射率逐渐降低,且具有强于基质玻璃的光限幅效应。 展开更多

关键词 三阶光学非线性 光限幅 Z扫描 掺ER^3+ 玻璃

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PDP荧光粉的相对亮度与VUV激发光谱的测量 被引量：5

15

作者 冯志庆 王淑荣 +2 位作者 王晓君 狄卫华 李福田 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期59-63,共5页

在自行研制的测试仪器的基础上，用增加激发光总量检测和荧光粉表面漫反射光检测，两者相减获得绝对吸收的方法改善荧光粉在120～300nm紫外一真空波段的相对量子效率测量精度。总量检测通过一块漫反射板标定实现，给出了标定和测量过程... 在自行研制的测试仪器的基础上，用增加激发光总量检测和荧光粉表面漫反射光检测，两者相减获得绝对吸收的方法改善荧光粉在120～300nm紫外一真空波段的相对量子效率测量精度。总量检测通过一块漫反射板标定实现，给出了标定和测量过程。改进后相埘量子效率测量误差减小到1％以内，同时利用该方法获得了较为精细的激发光谱曲线，光谱分辨率达到1nm。对BaMgAI10O17Eu蓝色荧光粉和LaOO4：Tb、LaPO4：CeTb以及YPO4：Tb三种绿色荧光粉激发光谱进行了测量。 展开更多

关键词 平板等离子体显示 荧光粉 相对亮度 VUV激发光谱

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折射率引导型微结构光纤的奇异非线性效应和应用 被引量：1

16

作者 倪正华 刘晓东 +3 位作者 刘兆伦 李曙光 周桂耀 侯蓝田 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2005年第5期52-55,共4页

折射率引导型微结构光纤不但有很多新颖的色散特性,而且还有很高的等效非线性系数,这两者相结合赋予RG-MOF很多独特的基于非线性特性的应用。介绍这种光纤中所产生的强非线性效应,如超连续谱生成、三次谐波生成和光学孤子生成等,然后参... 折射率引导型微结构光纤不但有很多新颖的色散特性,而且还有很高的等效非线性系数,这两者相结合赋予RG-MOF很多独特的基于非线性特性的应用。介绍这种光纤中所产生的强非线性效应,如超连续谱生成、三次谐波生成和光学孤子生成等,然后参照最新的研究报道介绍其最新应用,如MOF波长转换器、高速信号分离器、基于SC分离的多信道脉冲源。 展开更多

关键词 微结构光纤 光子晶体光纤 折射率引导

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具有奇异色散特性的光子晶体光纤

17

作者 宋昭远 高艳东 +4 位作者 刘兆伦 倪正华 李曙光 侯蓝田 刘晓东 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第9期50-53,共4页

光子晶体光纤作为一种结构特殊的一类新型光纤,引起了全世界的广泛关注,尤其是它所拥有的奇异色散特性,已使它在许多领域得到了实际应用。阐述了光子晶体光纤奇异的色散特性:短波零色散、近零超平坦色散和高负色散。

关键词 光子晶体光纤 色散特性 平坦色散 短波 零色散 奇异 领域

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溶胶-凝胶法Er_2O_3薄膜的结构和光学特性

18

作者 王兴军 董斌 周治平 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1213-1215,共3页

针对稀土Er掺杂Si光源中Er离子掺杂浓度低的问题,采用溶胶-凝胶(Sol-gel)法在Si(100)和SiO2/Si(100)基片上旋涂法制备Er2O3光学薄膜,Er离子浓度与以前掺杂方法相比提高了2个数量级.900℃热处理获得单一立方结构的Er2O3薄膜材料.光致发光... 针对稀土Er掺杂Si光源中Er离子掺杂浓度低的问题,采用溶胶-凝胶(Sol-gel)法在Si(100)和SiO2/Si(100)基片上旋涂法制备Er2O3光学薄膜,Er离子浓度与以前掺杂方法相比提高了2个数量级.900℃热处理获得单一立方结构的Er2O3薄膜材料.光致发光(PL)特性研究表明在654nm波长的激光泵浦下,Er2O3薄膜材料获得了1.535μm的发光峰,并具有较小的温度猝灭1/5.在SiO2/Si(100)基体上制备的Er2O3薄膜材料的光致发光强度比Si(100)基体上制备的薄膜提高2-3倍.研究结果表明具有强光致发光特性的Er2O3薄膜是一种有前景的硅基光源和放大器材料. 展开更多

关键词 发光学 光学薄膜 溶胶-凝胶法 氧化铒

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聚合物光子晶体光纤

19

作者 刘晓东 宋昭远 +2 位作者 倪正华 刘兆伦 侯蓝田 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2004年第7期16-19,共4页

石英基光子晶体光纤是目前人们制造最多的光子晶体光纤,与传统结构的石英通信光纤相比具有许多优异性能,在众多领域,尤其是在短距离数据传输和色散补偿器件中有重要的应用。借鉴石英基光子晶体光纤而诞生的聚合物光子晶体光纤同时具有... 石英基光子晶体光纤是目前人们制造最多的光子晶体光纤,与传统结构的石英通信光纤相比具有许多优异性能,在众多领域,尤其是在短距离数据传输和色散补偿器件中有重要的应用。借鉴石英基光子晶体光纤而诞生的聚合物光子晶体光纤同时具有石英光子晶体光纤和传统聚合物光纤所无法比拟的光学性能,可以应用于现代光通信系统,尤其是光纤局域网建设中。简要介绍了石英光子晶体光纤的性能,重点阐述了诞生刚刚3年的聚合物光子晶体光纤的光学性能、制备技术、应用现状和潜力。 展开更多

关键词 聚合物光子晶体光纤 光子晶体光纤 光通信 光子带隙 局域网

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原位SiN_x掩膜生长GaN材料的应力及其对光学性质的影响(英文) 被引量：3

20

作者 李夏南 于乃森 +2 位作者 曹保胜 丛妍 周均铭 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期776-779,共4页

研究了以金属有机化学气相沉积方法生长在SiNx掩模层的GaN的应力状态,以及应力对光学性质的影响。通过微区拉曼光谱对应力进行了表征,结果显示,随着SiNx掩模淀积时间的增加,其上生长的GaN应力会相应地,释放。相应地,低温光致发光测试显... 研究了以金属有机化学气相沉积方法生长在SiNx掩模层的GaN的应力状态,以及应力对光学性质的影响。通过微区拉曼光谱对应力进行了表征,结果显示,随着SiNx掩模淀积时间的增加,其上生长的GaN应力会相应地,释放。相应地,低温光致发光测试显示,施主束缚激子发光峰峰位出现明显的红移。我们认为,随着SiNx掩模淀积时间的增加,掩模覆盖度的增大,促进了侧向外延的生长,释放了压应力,进而影响了材料的光学性质。 展开更多

关键词 氮化镓 金属有机化学气相沉积 应力 原位氮化硅掩膜

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