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国外电子特种气体技术进展及国内合资气体公司概况
被引量：
3
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作者
梁国仑
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
1995年第11期1-12,共12页
综述国外电子特种气体的“超纯”、“超净”技术，一体化供气系统，超微生气体杂质和元素杂质的分析检测技术，电子材种气体市场以及ＩＳＯ９０００系列认证。
关键词
气体
提纯
超净技术
集成电路
电子特种气体
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职称材料
题名
国外电子特种气体技术进展及国内合资气体公司概况
被引量：
3
1
作者
梁国仑
机构
大连化工部光明化工研究所
出处
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
1995年第11期1-12,共12页
文摘
综述国外电子特种气体的“超纯”、“超净”技术，一体化供气系统，超微生气体杂质和元素杂质的分析检测技术，电子材种气体市场以及ＩＳＯ９０００系列认证。
关键词
气体
提纯
超净技术
集成电路
电子特种气体
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TQ028.2 [化学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
国外电子特种气体技术进展及国内合资气体公司概况
梁国仑
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
1995
3
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