含氮体系CVD低压金刚石薄膜淀积条件 被引量：1

1

作者 刘志杰 张卫 +2 位作者 张剑云 万永中 王季陶 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期114-118,共5页

根据非平衡热力学耦合模型理论首次计算得到了碳氢氮体系的金刚石生长的非平衡定态相图与近几年在国际上发表的该体系实验结果相符合，可以为今后的实验研究提供定量化的理论依据．根据理论相图讨论了系统压力和体系中氮的添加对金刚石... 根据非平衡热力学耦合模型理论首次计算得到了碳氢氮体系的金刚石生长的非平衡定态相图与近几年在国际上发表的该体系实验结果相符合，可以为今后的实验研究提供定量化的理论依据．根据理论相图讨论了系统压力和体系中氮的添加对金刚石薄膜淀积条件的影响． 展开更多

关键词 金刚石 相图 化学气相淀积 薄膜 含氮体系

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超大规模集成电路中低介电常数SiOF薄膜研究 被引量：3

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作者 王鹏飞 丁士进 +2 位作者 张卫 张剑云 王季陶 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期37-39,共3页

详细介绍了低介电常数的含氟氧化硅（ＳｉＯＦ）介质薄膜制备的工艺，并分析了试样的ＦＴＩＲ光谱，发现薄膜中大部分的氟以Ｓｉ－Ｆ键形式存在。Ｃ－Ｖ特性测量表明薄膜介电常数随氟含量的增加而减小。本文还进一步讨论了介电常数与氟... 详细介绍了低介电常数的含氟氧化硅（ＳｉＯＦ）介质薄膜制备的工艺，并分析了试样的ＦＴＩＲ光谱，发现薄膜中大部分的氟以Ｓｉ－Ｆ键形式存在。Ｃ－Ｖ特性测量表明薄膜介电常数随氟含量的增加而减小。本文还进一步讨论了介电常数与氟原子含量之间的内在联系。 展开更多

关键词 化学汽相淀积 C-V特性 介电常数

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CVD金刚石薄膜(111)与(100)取向生长的热力学分析 被引量：2

3

作者 张剑云 王鹏飞 +3 位作者 丁士进 张卫 王季陶 刘志杰 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期217-219,共3页

用非平衡热力学耦合模型计算了ＣＶＤ金刚石薄膜生长过程中Ｃ１Ｈ２与ＣＨ３浓度之比［Ｃ２Ｈ２］／［ＣＨ３］随衬底温度和ＣＨ４浓度的变化关系，从理论上探讨了金刚石薄膜（１１１）面和（１００）面取向生长与淀积条件的关系。在衬... 用非平衡热力学耦合模型计算了ＣＶＤ金刚石薄膜生长过程中Ｃ１Ｈ２与ＣＨ３浓度之比［Ｃ２Ｈ２］／［ＣＨ３］随衬底温度和ＣＨ４浓度的变化关系，从理论上探讨了金刚石薄膜（１１１）面和（１００）面取向生长与淀积条件的关系。在衬底温度和 ＣＨ４浓度由低到高的变化过程中，［Ｃ２Ｈ２］／［ＣＨ３］逐渐升高，导致金刚石薄膜的形貌从（１１１）晶面转为（１００）晶面。添加氧后Ｃ２Ｈ２与ＣＨ３浓度都将下降，但Ｃ２Ｈ２下降得更多，因而添加氧也使［Ｃ２Ｈ２］／［Ｃ２Ｈ３］下降，从而有利于生长（１１１）晶面的金刚石薄膜。 展开更多

关键词 化学气相淀积 金刚石薄膜 热力学 CVD

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激活温度对C-H体系低压金刚石生长条件的影响 被引量：1

4

作者 刘志杰 张卫 +1 位作者 万永中 王季陶 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期432-434,共3页

本文根据非平衡热力学耦合模型计算了不同激活温度下的金刚石生长相图，研究了不同激活温度下金刚石生长区的变化．激活温度升高，金刚石生长区变大，有利于生长金刚石．对干不同的衬底温度，随激活温度的升高，金刚石生长区的变化也有... 本文根据非平衡热力学耦合模型计算了不同激活温度下的金刚石生长相图，研究了不同激活温度下金刚石生长区的变化．激活温度升高，金刚石生长区变大，有利于生长金刚石．对干不同的衬底温度，随激活温度的升高，金刚石生长区的变化也有所不同． 展开更多

关键词 激活温度 金刚石 C-H体系 人造金刚石 生长条件

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不同压力下碳氢体系低压金刚石的非平衡定态系列相图 被引量：1

5

作者 刘志杰 张卫 +1 位作者 万永中 王季陶 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1998年第4期412-417,共6页

系统压力是低压金刚石薄膜生长实验中重要的实验参数，如果采用合理的计算方法定量化地预测出压力对金刚石薄膜生长条件的影响，则可以直接用于指导其实验研究。本文报道根据非平衡热力学耦合理论模型绘制了ＣＨ体系金刚石生长投影相... 系统压力是低压金刚石薄膜生长实验中重要的实验参数，如果采用合理的计算方法定量化地预测出压力对金刚石薄膜生长条件的影响，则可以直接用于指导其实验研究。本文报道根据非平衡热力学耦合理论模型绘制了ＣＨ体系金刚石生长投影相图，经与大量实验结果比较相一致，并系统地计算了压力变化的碳氢体系金刚石生长非平衡定态截面相图，得到了金刚石生长区随压力变化的规律。计算得到的相图与经典平衡相图有本质不同，均有金刚石生长区，因而可以合理解决金刚石低压下连续生长而石墨被腐蚀与经典平衡热力学之间的矛盾。本文的计算结果可以为金刚石生长实验提供定量化的压力条件的选择和优化实验条件。 展开更多

关键词 非平衡定态 生长 相图 金刚石薄膜 压力条件

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C-H-Cl气相体系生长金刚石的相图计算 被引量：1

6

作者 刘志杰 张卫 +1 位作者 万永中 王季陶 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期634-636,共3页

用非平衡热力学耦合模型计算得到了C-H-Cl气相体系生长金刚石的相图，并与报道的实验结果符合很好．比起C-H体系生长金刚石的相图，该相图中的金刚石生长区明显移向低温方向，说明加入氯有利于降低金刚石的生长温度．通过化学反应机理... 用非平衡热力学耦合模型计算得到了C-H-Cl气相体系生长金刚石的相图，并与报道的实验结果符合很好．比起C-H体系生长金刚石的相图，该相图中的金刚石生长区明显移向低温方向，说明加入氯有利于降低金刚石的生长温度．通过化学反应机理的分析探讨了加入氯对金刚石生长温度和生长速率的影响． 展开更多

关键词 C-H-Cl体系 金刚石 相图 气相体系

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非平衡定态相图在含氮体系低压金刚石沉积中的应用

7

作者 刘志杰 张卫 +3 位作者 张剑云 丁士进 王鹏飞 王季陶 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1999年第1期132-134,共3页

０前言最近几年低压金刚石制备研究中，出现了一类以含氮气相混合物为原料的制备方法，正逐渐被人们所重视：少量氮原子的存在（甚至是ｐｐｍ级）可以显著提高金刚石薄膜的淀积速率，改善薄膜质量［１，７］。本文报道根据非平衡热力学... ０前言最近几年低压金刚石制备研究中，出现了一类以含氮气相混合物为原料的制备方法，正逐渐被人们所重视：少量氮原子的存在（甚至是ｐｐｍ级）可以显著提高金刚石薄膜的淀积速率，改善薄膜质量［１，７］。本文报道根据非平衡热力学耦合理论［１０］，首次计算得到了含... 展开更多

关键词 碳氢氮体系 金刚石 非平衡定态 相图 制备 沉积

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氮原子在 CVD 低压金刚石制备过程中的作用

8

作者 刘志杰 张卫 +4 位作者 万永中 张剑云 王季陶 曹传宝 朱鹤孙 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 1998年第9期36-39,共4页

根据理论计算得到了碳氢氮体系低压金刚石生长非平衡定态相图，结果与实验数据相当符合，并通过相图和热力学计算讨论了氮原子含量对金刚石生长条件的影响以及在ＣＶＤ金刚石制备过程中提高金刚石薄膜生长速率的原因。

关键词 氮 化学气相淀积 金刚石 薄膜生长

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低介电常数含氟氧化硅薄膜的研究 被引量：11

9

作者 丁士进 张卫 +3 位作者 王鹏飞 张剑云 刘志杰 王季陶 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期452-455,共4页

综述了近十年来低介电常数含氟氧化硅薄膜的研究状况 ,详细介绍了该薄膜在化学键结构、热性质、湿稳定性以及介电常数四个方面的特性 ,同时也简单介绍了薄膜的台阶覆盖度、填隙能力和漏电流特性 ,指出含氟氧化硅薄膜是一种可用于集成电... 综述了近十年来低介电常数含氟氧化硅薄膜的研究状况 ,详细介绍了该薄膜在化学键结构、热性质、湿稳定性以及介电常数四个方面的特性 ,同时也简单介绍了薄膜的台阶覆盖度、填隙能力和漏电流特性 ,指出含氟氧化硅薄膜是一种可用于集成电路中的极富应用前景的低介电常数材料。 展开更多

关键词 低介电常数 硅薄膜 集成电路 氧化硅 漏电流 台阶 覆盖度 热性质 特性 研究

全文增补中

氯参与的化学气相淀积金刚石的热力学分析 被引量：1

10

作者 刘志杰 张卫 +4 位作者 张剑云 万永中 王季陶 曹传宝 朱鹤孙 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期111-114,共4页

用非平衡热力学耦合模型研究了金刚石在ＣＨＣｌ体系中的生长，计算所得ＣＨＣｌ体系的金刚石生长的相图与大量实验结果符合良好．

关键词 氯 金刚石 化学气相淀积 热力学

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卤素原子在化学气相淀积金刚石薄膜过程中的作用 被引量：1

11

作者 刘志杰 张卫 +1 位作者 万永中 王季陶 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 1998年第6期43-46,共4页

根据非平衡热力学耦合模型计算得到了碳氢氟和碳氢氯体系低压金刚石生长的非平衡定态相图，计算结果与大量实验事实符合良好，可以为实验研究提供理论指导。还详细讨论了卤素原子在金刚石薄膜淀积过程中的作用。

关键词 卤素 化学气相淀积 金刚石 薄膜 非平衡热力学

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氟原子参与的低压金刚石薄膜淀积条件

12

作者 刘志杰 张卫 +2 位作者 张剑云 万永中 王季陶 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期201-205,共5页

本文根据非平衡热力学耦合模型计算得到了碳氢氟体系低压金刚石生长的非平衡定态相图，与大量实验事实比较符合良好。通过相图讨论了系统压力、激活温度和氟含量对低压金刚石薄膜淀积条件的影响，可以为实验研究提供理论指导。还讨论了... 本文根据非平衡热力学耦合模型计算得到了碳氢氟体系低压金刚石生长的非平衡定态相图，与大量实验事实比较符合良好。通过相图讨论了系统压力、激活温度和氟含量对低压金刚石薄膜淀积条件的影响，可以为实验研究提供理论指导。还讨论了氟原子在金刚石薄膜淀积过程中的作用。 展开更多

关键词 金刚石薄膜 相图 化学气相沉积 氟原子 淀积

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