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内腔表面三维形貌光学测量技术及进展(特邀)
1
作者
谢文喆
温国聪
+3 位作者
凌羽溪
唐鑫岚
王启元
孔令豹
《红外与激光工程》
北大核心
2025年第9期48-73,共26页
现代工业中很多零部件具有内腔,这些内腔表面质量比较重要而且通常难以检测。综述介绍了具有内腔结构的特殊零件在航空航天、能源动力、运输、核工程、结构工程、微纳器件及医疗等众多关键领域的应用现状,系统梳理了各类内腔在各自领域...
现代工业中很多零部件具有内腔,这些内腔表面质量比较重要而且通常难以检测。综述介绍了具有内腔结构的特殊零件在航空航天、能源动力、运输、核工程、结构工程、微纳器件及医疗等众多关键领域的应用现状,系统梳理了各类内腔在各自领域的测量需求。文中根据不同尺寸内腔结构在不同测量场景下的检测需求,将当前主流测量技术归纳为接触式测量和非接触式测量。针对应用需求更迫切的光学测量技术,介绍了主流测量方法的技术原理和经典系统,探讨了其在复杂曲面结构测量、高反光镜面内腔测量、短基线三角测量等常见应用场景中的技术瓶颈,并结合具体测量需求,展望了内腔表面三维形貌光学测量方法的光路设计、系统微型化和算法优化。
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关键词
内腔表面测量
三维形貌测量
非接触式测量
接触式测量
光学测量
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职称材料
题名
内腔表面三维形貌光学测量技术及进展(特邀)
1
作者
谢文喆
温国聪
凌羽溪
唐鑫岚
王启元
孔令豹
机构
复旦大学未来信息创新学院上海超精密光学制造工程技术研究中心
出处
《红外与激光工程》
北大核心
2025年第9期48-73,共26页
基金
国家自然科学基金项目(52375414)
上海市科委自然基金项目(23ZR1404200)。
文摘
现代工业中很多零部件具有内腔,这些内腔表面质量比较重要而且通常难以检测。综述介绍了具有内腔结构的特殊零件在航空航天、能源动力、运输、核工程、结构工程、微纳器件及医疗等众多关键领域的应用现状,系统梳理了各类内腔在各自领域的测量需求。文中根据不同尺寸内腔结构在不同测量场景下的检测需求,将当前主流测量技术归纳为接触式测量和非接触式测量。针对应用需求更迫切的光学测量技术,介绍了主流测量方法的技术原理和经典系统,探讨了其在复杂曲面结构测量、高反光镜面内腔测量、短基线三角测量等常见应用场景中的技术瓶颈,并结合具体测量需求,展望了内腔表面三维形貌光学测量方法的光路设计、系统微型化和算法优化。
关键词
内腔表面测量
三维形貌测量
非接触式测量
接触式测量
光学测量
Keywords
internal cavity surface measurement
three-dimensional topographic measurement
non-contact measurement
contact measurement
optical measurement
分类号
TN29 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
内腔表面三维形貌光学测量技术及进展(特邀)
谢文喆
温国聪
凌羽溪
唐鑫岚
王启元
孔令豹
《红外与激光工程》
北大核心
2025
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