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Ti掺杂对Sb_(2)Te_(3)薄膜的结构及光学性质的调控
被引量：
1
1
作者
廖袁杰
李耀鹏
+9 位作者
宋晓晓
张欣彤
张书博
张腾飞
吕孟奇
刘镇
邹意蕴
张野
胡二涛
李晶
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期1022-1029,共8页
对Sb2Te3薄膜的结构、线性光学及非线性吸收性质的Ti掺杂影响进行了系统性探究。利用磁控溅射和高温退火手段制备了不同Ti掺杂浓度的晶态Sb_(2)Te_(3)薄膜。X射线光电子能谱分析显示Sb_(2)Te_(3)薄膜中的Ti元素以Ti^(4+)化学态以TiTe_(2...
对Sb2Te3薄膜的结构、线性光学及非线性吸收性质的Ti掺杂影响进行了系统性探究。利用磁控溅射和高温退火手段制备了不同Ti掺杂浓度的晶态Sb_(2)Te_(3)薄膜。X射线光电子能谱分析显示Sb_(2)Te_(3)薄膜中的Ti元素以Ti^(4+)化学态以TiTe_(2)的形式存在。线性光学性质结果表明,在保持非线性器件中宽工作波长特性的同时,Ti掺杂可以提高Sb2Te3薄膜的透射率,并降低光学带隙从1.32 eV至1.25 eV,根据Burstein-Moss理论,这取决于载流子的减少。利用自主搭建的开孔Z扫描系统,测试了薄膜样品在132 GW/cm^(2)强度下800 nm飞秒激光激发的非线性吸收性质,结果显示的Ti掺杂引起的饱和吸收可调谐行为可归因于光学带隙减小与晶化抑制的竞争效应。此外,Ti掺杂将Sb2Te3薄膜的激光损伤阈值从188.6 GW/cm^(2)提高到了265.5 GW/cm^(2)。总而言之,Ti掺杂Sb2Te3薄膜在非线性光学器件领域具有广泛的应用前景。
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关键词
钛掺杂
碲化锑薄膜
光学带隙
饱和吸收
开孔Z扫描
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职称材料
飞秒激光辐照Ge_2Sb_2Te_5相变薄膜的拉曼光谱研究
2
作者
孔杰
魏慎金
+2 位作者
王召兵
李国华
李晶
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期6-8,37,共4页
室温下,采用磁控溅射镀膜系统在Si(100)基片上制备了Ge2Sb2Te5(GST)薄膜样品.对分别经过不同能量密度的飞秒激光辐照及经退火炉200℃退火处理的样品,进行拉曼光谱测试,通过分析其拉曼光谱峰位的变化来研究GST薄膜从非晶态到晶态转变的...
室温下,采用磁控溅射镀膜系统在Si(100)基片上制备了Ge2Sb2Te5(GST)薄膜样品.对分别经过不同能量密度的飞秒激光辐照及经退火炉200℃退火处理的样品,进行拉曼光谱测试,通过分析其拉曼光谱峰位的变化来研究GST薄膜从非晶态到晶态转变的相变过程.随着辐照激光能量密度的增加,薄膜的拉曼峰位出现了定向移动.经200℃退火样品的拉曼谱与经24mJ/cm2飞秒激光辐照的样品拉曼谱相似,表明在一定条件下,超快激光光致相变与温控相变具有相似的效果.
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关键词
拉曼光谱
Ge2Sb2Te5相变薄膜
飞秒激光
退火
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职称材料
题名
Ti掺杂对Sb_(2)Te_(3)薄膜的结构及光学性质的调控
被引量：
1
1
作者
廖袁杰
李耀鹏
宋晓晓
张欣彤
张书博
张腾飞
吕孟奇
刘镇
邹意蕴
张野
胡二涛
李晶
机构
复旦大学
光科学与工程系上海超精密光学制造工程技术研究中心
南京邮电
大学
电子与光学工程学院&
微
电子学院
复旦大学
微
纳
光子
结构
教育部
重点
实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期1022-1029,共8页
基金
Supported by National Natural Science Foundation of China(60578047,61427815)
Natural Science Foundation of Shanghai(17ZR1402200,13ZR1402600)。
文摘
对Sb2Te3薄膜的结构、线性光学及非线性吸收性质的Ti掺杂影响进行了系统性探究。利用磁控溅射和高温退火手段制备了不同Ti掺杂浓度的晶态Sb_(2)Te_(3)薄膜。X射线光电子能谱分析显示Sb_(2)Te_(3)薄膜中的Ti元素以Ti^(4+)化学态以TiTe_(2)的形式存在。线性光学性质结果表明,在保持非线性器件中宽工作波长特性的同时,Ti掺杂可以提高Sb2Te3薄膜的透射率,并降低光学带隙从1.32 eV至1.25 eV,根据Burstein-Moss理论,这取决于载流子的减少。利用自主搭建的开孔Z扫描系统,测试了薄膜样品在132 GW/cm^(2)强度下800 nm飞秒激光激发的非线性吸收性质,结果显示的Ti掺杂引起的饱和吸收可调谐行为可归因于光学带隙减小与晶化抑制的竞争效应。此外,Ti掺杂将Sb2Te3薄膜的激光损伤阈值从188.6 GW/cm^(2)提高到了265.5 GW/cm^(2)。总而言之,Ti掺杂Sb2Te3薄膜在非线性光学器件领域具有广泛的应用前景。
关键词
钛掺杂
碲化锑薄膜
光学带隙
饱和吸收
开孔Z扫描
Keywords
Ti-dopant
Sb_(2)Te_(3)thin film
optical band gap
saturable absorption
open-aperture Z-scan
分类号
O43 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
飞秒激光辐照Ge_2Sb_2Te_5相变薄膜的拉曼光谱研究
2
作者
孔杰
魏慎金
王召兵
李国华
李晶
机构
曲阜师范
大学
激光研究所
复旦大学
信息学院光科学与工程系
复旦大学微纳光子结构教育部实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期6-8,37,共4页
基金
曲阜师范大学科研启动基金(Bsqd2007031)
山东省教育厅科研基金(J08LI07)
国家自然科学基金(60578047)
文摘
室温下,采用磁控溅射镀膜系统在Si(100)基片上制备了Ge2Sb2Te5(GST)薄膜样品.对分别经过不同能量密度的飞秒激光辐照及经退火炉200℃退火处理的样品,进行拉曼光谱测试,通过分析其拉曼光谱峰位的变化来研究GST薄膜从非晶态到晶态转变的相变过程.随着辐照激光能量密度的增加,薄膜的拉曼峰位出现了定向移动.经200℃退火样品的拉曼谱与经24mJ/cm2飞秒激光辐照的样品拉曼谱相似,表明在一定条件下,超快激光光致相变与温控相变具有相似的效果.
关键词
拉曼光谱
Ge2Sb2Te5相变薄膜
飞秒激光
退火
Keywords
Raman spectroscopy
Ge2Sb2Te5 phase change film
femtosecond laser
anneal
分类号
O43 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Ti掺杂对Sb_(2)Te_(3)薄膜的结构及光学性质的调控
廖袁杰
李耀鹏
宋晓晓
张欣彤
张书博
张腾飞
吕孟奇
刘镇
邹意蕴
张野
胡二涛
李晶
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
飞秒激光辐照Ge_2Sb_2Te_5相变薄膜的拉曼光谱研究
孔杰
魏慎金
王召兵
李国华
李晶
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
0
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