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VDMOS器件贴片工艺中气泡的形成机制与影响
被引量:
4
1
作者
潘少辉
何伦文
+1 位作者
汪礼康
张卫
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期436-439,共4页
功率MOS管的封装贴片工艺会在贴片层中引入气泡,从而严重降低器件的机械性能、热性能和电学性能。本研究就VDMOS管D-PAK封装模式,给出了贴片工艺中气泡的产生机制及其影响,并利用FEA方法建立了其D-PAK封装的热学模型。根据模拟结果,在...
功率MOS管的封装贴片工艺会在贴片层中引入气泡,从而严重降低器件的机械性能、热性能和电学性能。本研究就VDMOS管D-PAK封装模式,给出了贴片工艺中气泡的产生机制及其影响,并利用FEA方法建立了其D-PAK封装的热学模型。根据模拟结果,在贴片层中气泡含量提高时,热阻会急剧增大而降低器件的散热性能。
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关键词
横向双扩散金属氧化物
贴片工艺
有限元分析法
热阻
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职称材料
题名
VDMOS器件贴片工艺中气泡的形成机制与影响
被引量:
4
1
作者
潘少辉
何伦文
汪礼康
张卫
机构
复旦大学微电子学系专用集成电路国家重点实验室
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期436-439,共4页
基金
国家自然科学基金项目(90607019)
文摘
功率MOS管的封装贴片工艺会在贴片层中引入气泡,从而严重降低器件的机械性能、热性能和电学性能。本研究就VDMOS管D-PAK封装模式,给出了贴片工艺中气泡的产生机制及其影响,并利用FEA方法建立了其D-PAK封装的热学模型。根据模拟结果,在贴片层中气泡含量提高时,热阻会急剧增大而降低器件的散热性能。
关键词
横向双扩散金属氧化物
贴片工艺
有限元分析法
热阻
Keywords
VDMOS
die attach
FEA
thermal impedance
分类号
TN305.94 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
VDMOS器件贴片工艺中气泡的形成机制与影响
潘少辉
何伦文
汪礼康
张卫
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007
4
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