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题名沸石分子筛修饰的QCM类神经毒气传感器
被引量：7
- 1
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作者
杨涓涓
任楠
周嘉
张亚红
刘全
黄宜平
唐颐
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机构
复旦大学微电子学系专用集成电路及系统国家重点实验室
复旦大学化学系
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05B期2111-2113,2118,共4页
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基金
国家自然科学基金项目资助(60476032)
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文摘
研究了Cu2+-Beta型纳米分子筛对类神经毒剂DMMP有机气体的敏感特性,并结合高灵敏的石英谐振微天平(QCM)研制了DMMP气体的传感器.研究结果表明,选择Cu2+-Beta纳米分子筛作为敏感膜对DMMP气体的检测灵敏度大大提高,达到14.4811Hz/lg(C/ppm).在0.2ppmDMMP气体浓度下,传感器的响应时间和恢复时间分别为40s和100s,响应达到103Hz.同时经过高温和水汽吹扫脱附处理,该传感器表现了较好的重复性.
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关键词
Cu^2+-Beta分子筛
QCM
DMMP
气敏传感器
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Keywords
Cu^2＋-Beta
QCM （Quartz Crystal Microbalance）
DMMP
gas sensor
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分类号
TP212.3
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名基于13X型沸石分子筛的类神经毒气传感器
被引量：3
- 2
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作者
杨涓涓
任楠
周嘉
刘全
黄宜平
唐颐
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机构
复旦大学微电子学系专用集成电路及系统国家重点实验室
复旦大学化学系
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008年第2期86-88,92,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(90607015)
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文摘
研制了基于13X型分子筛阻抗型气体传感器,探测了神经类毒气沙林的相似物甲基磷酸二甲脂(DMMP)。通过交流电压对传感器进行激励,得到其交流阻抗谱的变化,从而实现对不同体积分数DMMP的检测。对0.2×10-6,0.4×10-6和1×10-6DMMP气体分别进行了检测,在1×10-6时(频率为0.01 Hz)电阻的相对变化可达13.2%;同时,分别采用13X型和Cu-β型分子筛作为敏感膜对1×10-6DMMP,100×10-6CO2和饱和蒸汽压下的乙醇气体进行了选择性比较实验。实验表明:基于13X型分子筛膜传感器对DMMP的探测有较好的灵敏度和选择性。
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关键词
分子筛
气体传感器
甲基磷酸二甲脂
选择性
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Keywords
zeolite
gas sensor
DMMP
selectivity
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分类号
TP212.3
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名DMMP在纳米分子筛敏感薄膜中的解吸附特性
被引量：1
- 3
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作者
姚伟
纪新明
周嘉
包宗明
鲍敏杭
黄宜平
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机构
复旦大学微电子学系专用集成电路及系统国家重点实验室
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2010年第1期21-23,29,共4页
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基金
教育部博士点基金资助项目(20070246099)
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文摘
分子筛膜的脱附困难是制约纳米分子筛敏感膜传感器发展的主要技术瓶颈之一,传统的高温脱附和纯氮气吹洗的方法无法有效地使纳米分子筛膜得到再生。针对Silicalite—1,ZSM—5和Cu-ZSM—5 3种纳米分子筛,利用石英晶体微天平(QCM)技术,研究了氮气吹洗法、高温脱附法和高频交变电场脱附法对甲基磷酸二甲酯(DMMP)气体的脱附特性。结果显示:超声频交变电场脱附法可以使脱附时间从传统方法的20 min缩短到60 s以内,并达到85%以上的脱附率,使传感器的重复性很快得到再现。
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关键词
纳米分子筛
类神经毒气甲基磷酸二甲酯
吸附与脱附
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Keywords
nano-zeolite
nerve gas DMMP
absorption and desorption
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分类号
TP212.3
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名三维神经微电极阵列新制作技术研究
被引量：4
- 4
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作者
吕尊实
周嘉
黄宜平
是慧芳
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机构
复旦大学微电子学系专用集成电路及系统国家重点实验室
中国科学院上海技术物理研究所
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期553-555,共3页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60476032)
上海自然科学基金资助项目(05ZR14015)
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文摘
尝试了一种低成本的三维微电极阵列微加工的新方法。玻璃划片形成的柱状阵列,经掩膜腐蚀后形成阳模板,再利用PDMS的微复制技术形成阴模板。利用阴模板进行电镀,可以得到三维微电极阵列。制作的铜电极阵列高度约180μm,为制作更长的神经微电极阵列打下了基础。
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关键词
微加工
电镀
微电极阵列
PDMS(Polydimethylsiloxane
聚二甲基硅氧烷)
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Keywords
microfabrication
electroplating
microelectrode array
PDMS（Polydimethylsiloxane）
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分类号
TM930.5
[电气工程—电力电子与电力传动]
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题名镧掺杂对PZT铁电薄膜漏电学特性的影响
被引量：1
- 5
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作者
程继
林殷茵
汤庭鳌
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机构
复旦大学微电子学系专用集成电路及系统国家重点实验室
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出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期692-694,697,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60206005)
上海青年科技基金资助项目(02QD14009)
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文摘
研究了镧掺杂对PZT铁电性能和相结构的影响。研究表明镧掺杂增加了(110)和(200)峰的强度,减小了(111)峰的相对强度,导致矫顽场和极化强度的下降。研究了镧掺杂对漏电特性的影响,以及肖特基势垒电流模型。
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关键词
PZT
矫顽场
极化强度
漏电模型
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Keywords
PZT
coercive field
polarization strength
leakage current model
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分类号
O482
[理学—固体物理]
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