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硅锗基区异质结双极型晶体管的研究进展 被引量:1
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作者 阮刚 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第8期67-73,54,共8页
本文综述了SiGe-HBT工艺及性能研究的最新进展,提出了若干重要的研究课题.
关键词 硅锗应变层 双极型晶体管 异质结
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适用于VLSI工艺的多功能二维离子注入模拟器FUTIS
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作者 徐晨曦 阮刚 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第6期14-19,共6页
本文改进和发展了硅中二维离子注入、离子注入退火及高剂量氧注入分布模型;处理了多次注入、多层掩蔽、多种材料掩蔽及多种掩模边缘;在此基础上给出了适用于VLSI工艺的多功能、实用化二维离子注入模拟器FUTIS。通过与其它工艺模型、模... 本文改进和发展了硅中二维离子注入、离子注入退火及高剂量氧注入分布模型;处理了多次注入、多层掩蔽、多种材料掩蔽及多种掩模边缘;在此基础上给出了适用于VLSI工艺的多功能、实用化二维离子注入模拟器FUTIS。通过与其它工艺模型、模拟器及实验比较,表明FUTIS在精度上有明显改进,在功能上有很大扩展,是一种能适应当今VLSI工艺发展要求的先进的离子注入模拟器。 展开更多
关键词 VLSI FUTIS 离子注入 模拟器
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短沟道MOSFET渡越时间物理模型
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作者 牛国富 阮刚 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1995年第2期142-148,共7页
叙述了一个考虑包括速度过冲等短沟道效应的MOSFET渡越时间解析模型,计算结果与二维数值模拟符合较好。基于该模型,探讨了在线性工作区和饱和工作区渡越时间对栅偏压依赖关系的不同,并作了物理解释。模型还表明由速度过冲带来... 叙述了一个考虑包括速度过冲等短沟道效应的MOSFET渡越时间解析模型,计算结果与二维数值模拟符合较好。基于该模型,探讨了在线性工作区和饱和工作区渡越时间对栅偏压依赖关系的不同,并作了物理解释。模型还表明由速度过冲带来渡越时间的缩短对沟道长度大于0.25μm的MOSFET不超过10% 展开更多
关键词 渡越时间 速度过冲 MOSFET 沟道 物理模型
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硅片Map图信息的提取和利用
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作者 张东红 阮刚 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1995年第2期180-184,共5页
分析了硅片Map图所提供的生产成品率和各类不合格芯片的位置分布信息,讨论了利用硅片之间Overlap法(重叠法)和硅片上Window法(窗口法)对Map图进行的统计。着重讨论了:按硅片中不合格芯片密度的显著差异划分边... 分析了硅片Map图所提供的生产成品率和各类不合格芯片的位置分布信息,讨论了利用硅片之间Overlap法(重叠法)和硅片上Window法(窗口法)对Map图进行的统计。着重讨论了:按硅片中不合格芯片密度的显著差异划分边缘区及中心区;不合格芯片局部聚集现象的定量表示;随机性强的不合格芯片的统计分布;有关信息由相应C语言软件自动提取,与Map图计算机测试进行联用,可用于生产监控、影响成品率因素分析和工艺缺陷的深入研究。 展开更多
关键词 硅片 MAP图 工艺缺陷 成品率
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考虑速度过冲效应的亚1/4微米MOSFET器件解析模型
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作者 牛国富 阮刚 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1994年第1期14-21,共8页
提出了一个考虑速度过冲效应的亚1/4微米MOSFET器件解析模型。亚1/4微米MOSFET靠近源端沟道内电子速度过冲归因于该区域内的强电场。采用源附近电场的弱强阶梯场近似,根据有关弱强阶梯场中速度过冲模拟结果,提出了... 提出了一个考虑速度过冲效应的亚1/4微米MOSFET器件解析模型。亚1/4微米MOSFET靠近源端沟道内电子速度过冲归因于该区域内的强电场。采用源附近电场的弱强阶梯场近似,根据有关弱强阶梯场中速度过冲模拟结果,提出了一个半经验速度过冲因子模型。用此模型和准二维分析方法,得到了解析的漏电流、跨导模型。计算得到的漏电流、跨导与有关实验报导符合较好。速度过冲分析得到的器件速度过冲模型与沟道掺杂浓度的关系得到了有关实验验证。 展开更多
关键词 载流子温度 场效应晶体管 速度效应
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