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高灵敏度小型化红外光声气体传感系统被引量：1: 1; 作者李俊纪新明 +2 位作者周嘉包宗明黄宜平《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第2期84-87,共4页; 研制了一种高灵敏度小型化红外光声气体传感系统。该系统检测灵敏度高,对乙烯气体体积分数的检测限达到20×10-9以下。对光声信号和检测相位之间的关系进行了详细的研究,分析了光声信号中峰值相位变化的因素。结果表明:在固定相位... 展开更多; 关键词光声传感器小型化谐振式相位; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于表面等离子体效应的MEMS红外辐射源特性研究被引量：3: 2; 作者王国勋纪新明 +3 位作者周嘉包宗明鲍敏杭黄宜平《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1352-1356,共5页; 研究了一种新型的基于二维光子晶体结构的表面等离子体共振SPR(Surface plasmon resonance)效应的红外辐射源,该辐射源基本结构为Si-SiO2(650nm)-Cr(100nm)-Au(800nm),并在Au表面刻蚀5μm的周期性排列的圆孔。设计加工了几种不同的结构... 展开更多; 关键词表面等离子体效应 MEMS红外辐射源光子晶体; 在线阅读下载PDF 职称材料

改进的一维纵向光声腔仿真模型被引量：2: 3; 作者姚伟纪新明 +3 位作者周嘉包宗明鲍敏杭黄宜平《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第3期353-356,共4页; 依据光声传感器的原理,改进了传输线理论,引入与谐振腔相连接的腔室、管道所引起的非理想因素,提出了一种更为完善的LC等效电路模型。利用此模型完成一维光声腔结构参数的理论分析和计算,通过与以前的模拟结果和实际测量数据进行对比可... 展开更多; 关键词一维纵向光声腔 LC振荡电路微机电系统(MEMS); 在线阅读下载PDF 职称材料

利用喷墨打印技术制备的类神经气体传感器被引量：1: 4; 作者杨涓涓王聪 +3 位作者王金意周嘉蔡文斌黄宜平《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期385-387,共3页; 利用喷墨打印技术沉积生物高分子溶液的方法,打印出金的梳状微电极的阵列图形,并采用NaX型沸石分子筛作为敏感膜,研制了探测神经类毒气沙林的相似物DMMP气体的阻抗型传感器。电极图形使用简单的绘图软件autoCAD画出,通过简单改进过的办... 展开更多; 关键词喷墨打印技术沸石分子筛 DMMP 阻抗型传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于Silicate-1型分子筛修饰的QCM类神经毒气传感器: 5; 作者彭晶姚伟 +4 位作者纪新明胡元元刘全包宗明黄宜平《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期317-320,共4页; 主要研究Silicate-1型纳米分子筛对类神经毒气有机气体甲基磷酸二甲酯(DMMP)的敏感特性,并结合高灵敏度的石英谐振天平(QCM)研制了DMMP气体传感器。采用Silicate-1型纳米分子筛作为敏感膜材料分别对不同浓度的DMMP气体进行检测。QCM传... 展开更多; 关键词气敏传感器 Silicate-1分子筛 QCM DMMP; 在线阅读下载PDF 职称材料

高灵敏度谐振式红外光声气体传感器研究: 6; 作者方兴李嘉 +2 位作者纪新明包宗明黄宜平《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第10期57-60,共4页; 研究了高灵敏度谐振式红外光声气体传感系统,对系统的谐振频谱进行了测试分析,观察到了新的谐振模式。经过对比,发现选用新的谐振模式具有更高的测试灵敏度和信噪比,新的谐振模式源于两边的缓冲腔体内的谐振。研究了麦克风输出腔体结构... 展开更多; 关键词光声传感器谐振式频率灵敏度信噪比; 在线阅读下载PDF 职称材料

光致硅微悬臂梁形变理论研究: 7; 作者郭育林许谷城 +2 位作者周嘉黄宜平鲍敏杭《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1693-1696,共4页; 研究了硅悬臂梁的光致应变效应的基本理论.从力学和半导体物理学基本理论出发,考虑了光生载流子的空间分布以及载流子表面复合,提出了一种新的光致悬臂梁弯曲的模型和计算光致应变效应引起的悬臂梁弯曲量的方法.模型更为合理的解释了光... 展开更多; 关键词光致应变效应微悬臂梁弯曲; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高灵敏度小型化红外光声气体传感系统被引量：1: 1; 作者李俊纪新明周嘉包宗明黄宜平; 机构复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第2期84-87,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(90606054) 教育部博士研究生基金资助项目(20070246099); 文摘研制了一种高灵敏度小型化红外光声气体传感系统。该系统检测灵敏度高,对乙烯气体体积分数的检测限达到20×10-9以下。对光声信号和检测相位之间的关系进行了详细的研究,分析了光声信号中峰值相位变化的因素。结果表明:在固定相位延迟下利用锁相放大器检测光声信号可以获得比较高的灵敏度。同时根据对光声信号和相位延迟关系的研究,提出了小型化光声腔设计思路。; 关键词光声传感器小型化谐振式相位; Keywords photo-acoustic （PA） sensor miniature resonant phase; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于表面等离子体效应的MEMS红外辐射源特性研究被引量：3: 2; 作者王国勋纪新明周嘉包宗明鲍敏杭黄宜平; 机构复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1352-1356,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(90607015); 文摘研究了一种新型的基于二维光子晶体结构的表面等离子体共振SPR(Surface plasmon resonance)效应的红外辐射源,该辐射源基本结构为Si-SiO2(650nm)-Cr(100nm)-Au(800nm),并在Au表面刻蚀5μm的周期性排列的圆孔。设计加工了几种不同的结构,包括三种不同的圆孔间距即晶格常数:6μm,7μm,和8μm;四种占空比(圆孔直径与晶格常数之比):3/8,4/8,9/16和11/16;以及三种圆孔排列方式:正方形排列,六边型排列,和带规则缺陷六边型排列。本文采用红外傅立叶测量设备对辐射源进行测试分析,通过该辐射源的红外反射谱表征其辐射性能,并利用FDTD软件进行模拟,和实验数据作了比较。研究结果得出了红外辐射源反射谱波谷位置即SPR共振峰位置,波谷强度即SPR共振峰强度与不同结构参数之间的关系。研究发现该辐射源SPR共振峰位置基本与圆孔间距即晶格常数成正比,正方型排列基本接近于1:1,而六边型排列基本接近于3/2;常规六边型排列比带缺陷六边型排列和正方型排列具有更窄的半波宽和更大的SPR共振强度;随着占空比变大,该辐射源的SPR共振峰强度变大。; 关键词表面等离子体效应 MEMS红外辐射源光子晶体; Keywords photonic crystal surface plasmon resonance MEMS.; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名改进的一维纵向光声腔仿真模型被引量：2: 3; 作者姚伟纪新明周嘉包宗明鲍敏杭黄宜平; 机构复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系; 出处《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第3期353-356,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(90607015) 教育部博士研究生基金资助项目(20070246099); 文摘依据光声传感器的原理,改进了传输线理论,引入与谐振腔相连接的腔室、管道所引起的非理想因素,提出了一种更为完善的LC等效电路模型。利用此模型完成一维光声腔结构参数的理论分析和计算,通过与以前的模拟结果和实际测量数据进行对比可知,新模型的模拟结果与实验结果拟合得更好,从而证明了新模型的合理性。; 关键词一维纵向光声腔 LC振荡电路微机电系统(MEMS); Keywords one-dimension photoacoustic cell LC resonant circuit MEMS; 分类号 TN75 [电子电信—电路与系统] TP212.14 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名利用喷墨打印技术制备的类神经气体传感器被引量：1: 4; 作者杨涓涓王聪王金意周嘉蔡文斌黄宜平; 机构复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室复旦大学化学系; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期385-387,共3页; 基金国家自然科学基金项目资助(90607015); 文摘利用喷墨打印技术沉积生物高分子溶液的方法,打印出金的梳状微电极的阵列图形,并采用NaX型沸石分子筛作为敏感膜,研制了探测神经类毒气沙林的相似物DMMP气体的阻抗型传感器。电极图形使用简单的绘图软件autoCAD画出,通过简单改进过的办公用喷墨打印机在金衬底上打印一层自组装膜的阻挡层,经过湿法刻蚀后得到了梳状微电极阵列。将制得的传感器对1ppm(即1×10-6)DMMP气体进行检测,测得在0.01Hz处,其电阻的相对变化值为10.7%。与传统MEMS工艺相比较,喷墨打印方法制备传感器具有工艺步骤简化,成本低,可在柔性等不同材料上制作等优点,有着广泛的应用前景。; 关键词喷墨打印技术沸石分子筛 DMMP 阻抗型传感器; Keywords Inkjet printing technology Zeolite DMMP Impedance sensor; 分类号 TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于Silicate-1型分子筛修饰的QCM类神经毒气传感器: 5; 作者彭晶姚伟纪新明胡元元刘全包宗明黄宜平; 机构复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室复旦大学化学系; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期317-320,共4页; 基金教育部博士点基金项目(20070246099); 文摘主要研究Silicate-1型纳米分子筛对类神经毒气有机气体甲基磷酸二甲酯(DMMP)的敏感特性,并结合高灵敏度的石英谐振天平(QCM)研制了DMMP气体传感器。采用Silicate-1型纳米分子筛作为敏感膜材料分别对不同浓度的DMMP气体进行检测。QCM传感器随着气体浓度的增加,响应时间增加,气体吸附量增加;当DMMP浓度为50×10-6时,QCM响应频率为50 Hz。分别采用水汽,300×10-6 CO2和500×10-6 NH3作为干扰气体对该敏感膜材料选择性进行了研究,QCM的响应频率分别为178 Hz,28 Hz和15 Hz。采用交变电场作用下N2吹洗脱附,在60 s以内就可以达到85%以上的脱附率。; 关键词气敏传感器 Silicate-1分子筛 QCM DMMP; Keywords gas sensor silicate-1 zeolite QCM DMMP; 分类号 TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高灵敏度谐振式红外光声气体传感器研究: 6; 作者方兴李嘉纪新明包宗明黄宜平; 机构复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第10期57-60,共4页; 文摘研究了高灵敏度谐振式红外光声气体传感系统,对系统的谐振频谱进行了测试分析,观察到了新的谐振模式。经过对比,发现选用新的谐振模式具有更高的测试灵敏度和信噪比,新的谐振模式源于两边的缓冲腔体内的谐振。研究了麦克风输出腔体结构对信号的影响,发现增加输出腔内麦克风到谐振腔的距离可显著增加光声信号。另外,在激光岀射端口放置反射金属膜也有利于提高光声信号,从而提高系统检测极限。; 关键词光声传感器谐振式频率灵敏度信噪比; Keywords photo-acoustic（PA）sensor resonant frequency sensitivity SNR; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光致硅微悬臂梁形变理论研究: 7; 作者郭育林许谷城周嘉黄宜平鲍敏杭; 机构复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1693-1696,共4页; 基金国家自然科学基金项目资助(60476032); 文摘研究了硅悬臂梁的光致应变效应的基本理论.从力学和半导体物理学基本理论出发,考虑了光生载流子的空间分布以及载流子表面复合,提出了一种新的光致悬臂梁弯曲的模型和计算光致应变效应引起的悬臂梁弯曲量的方法.模型更为合理的解释了光致悬臂梁弯曲的根本动力,其计算结果和实验测量结果与文献报道相比更为接近.研究为基于光致应变效应的硅悬臂梁传感器打下了理论基础.; 关键词光致应变效应微悬臂梁弯曲; Keywords photostriction effect microcantilevers bending; 分类号 TN362 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	高灵敏度小型化红外光声气体传感系统	李俊纪新明周嘉包宗明黄宜平	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2011	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于表面等离子体效应的MEMS红外辐射源特性研究	王国勋纪新明周嘉包宗明鲍敏杭黄宜平	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2008	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	改进的一维纵向光声腔仿真模型	姚伟纪新明周嘉包宗明鲍敏杭黄宜平	《压电与声光》 CSCD 北大核心	2010	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	利用喷墨打印技术制备的类神经气体传感器	杨涓涓王聪王金意周嘉蔡文斌黄宜平	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2008	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于Silicate-1型分子筛修饰的QCM类神经毒气传感器	彭晶姚伟纪新明胡元元刘全包宗明黄宜平	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2011	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	高灵敏度谐振式红外光声气体传感器研究	方兴李嘉纪新明包宗明黄宜平	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2012	0	在线阅读下载PDF 职称材料
7	光致硅微悬臂梁形变理论研究	郭育林许谷城周嘉黄宜平鲍敏杭	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2006	0	在线阅读下载PDF 职称材料