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氮化铝薄膜的光学性能
被引量:
11
1
作者
颜国君
陈光德
+1 位作者
邱复生
Zhaoyan Fan
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期221-223,共3页
分别使用X衍射仪和紫外(190nm^800nm)分光光度仪,测量了用分子束外延法生长在SiC(001)基底面上的AIN薄膜的X衍射、透射谱和不同温度下的吸收谱.X衍射表明实验所用的AIN薄膜在c-轴存在应变和应力,该应变和应力主要是由于AIN的晶格常量与...
分别使用X衍射仪和紫外(190nm^800nm)分光光度仪,测量了用分子束外延法生长在SiC(001)基底面上的AIN薄膜的X衍射、透射谱和不同温度下的吸收谱.X衍射表明实验所用的AIN薄膜在c-轴存在应变和应力,该应变和应力主要是由于AIN的晶格常量与基底SiC的晶格常量不匹配所致.透射谱表明AIN薄膜的禁带宽度大约为6.2eV;而其对应的吸收谱在6.2eV处存在一个明显的台阶,此台阶被认为是AIN薄膜中的带边自由激子吸收所产生,忽略激子的结合能(与禁带宽度相比),则该值就对应为AIN的禁带宽度.而其对应的不同温度下(10k^293k)的吸收谱的谱线的形状和位置无明显的变化表明温度对AIN薄膜的禁带宽度亦无明显的影响,这主要是由于在AIN薄膜中存在着应力所致.
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关键词
AIN薄膜
透射谱
吸收谱
禁带带宽
自由激子
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职称材料
AlGaN肖特基势垒二极管的研制
被引量:
1
2
作者
邵庆辉
叶志镇
+3 位作者
黄靖云
赵炳辉
江红星
林景瑜
《浙江大学学报(工学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第10期1244-1247,共4页
为研制适合高温高压下工作的整流器件,利用金属有机化学气相淀积(MOCVD)技术生长的AlGaN/GaN/蓝宝石材料,采用电子束蒸发的方法,用Au和Ti/Al分别作为肖特基接触和欧姆接触的电极,制备了AlGaN肖特基二极管,并对其工艺过程和器件特性进行...
为研制适合高温高压下工作的整流器件,利用金属有机化学气相淀积(MOCVD)技术生长的AlGaN/GaN/蓝宝石材料,采用电子束蒸发的方法,用Au和Ti/Al分别作为肖特基接触和欧姆接触的电极,制备了AlGaN肖特基二极管,并对其工艺过程和器件特性进行了研究.IV测试表明该AlGaN肖特基二极管具有明显的整流特性和较高的反向击穿电压(95V),理想因子为1.93.经300℃1min退火,该器件正、反向IV特性都得到明显改善.采用变温IV法对Au/AlGaN接触的肖特基势垒高度进行了标定,其势垒高度高达1.08eV,更适合在高压、大电流条件下工作.
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关键词
ALGAN
肖特基势垒二极管
势垒高度
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职称材料
类铍Ar^(14+)和类镁Ar^(6+)离子双激发态能级的计算
3
作者
陈信义
苟秉聪
陈政
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
1994年第1期14-18,共5页
用组态相互作用方法计算了类铍Ar14+离子双激发态1s23l3l'和类镁Ar6+离子双激发态1s22s22p64l4l'的能级。两个外层电子与内层原子实1s2或1s22s22s6电子的作用用模型势表示。Ar14+的双...
用组态相互作用方法计算了类铍Ar14+离子双激发态1s23l3l'和类镁Ar6+离子双激发态1s22s22p64l4l'的能级。两个外层电子与内层原子实1s2或1s22s22s6电子的作用用模型势表示。Ar14+的双激发态可用量子数K,T和A标记,而Ar6+的某些组态却不能用上述量子数表示。
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关键词
双激发态
类铍离子
类镁离子
能级
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职称材料
题名
氮化铝薄膜的光学性能
被引量:
11
1
作者
颜国君
陈光德
邱复生
Zhaoyan Fan
机构
西安交通
大学
理学院应用
物理
系
美国西北
大学
电子与计算机工程
系
美国
堪萨斯州立大学物理系
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期221-223,共3页
文摘
分别使用X衍射仪和紫外(190nm^800nm)分光光度仪,测量了用分子束外延法生长在SiC(001)基底面上的AIN薄膜的X衍射、透射谱和不同温度下的吸收谱.X衍射表明实验所用的AIN薄膜在c-轴存在应变和应力,该应变和应力主要是由于AIN的晶格常量与基底SiC的晶格常量不匹配所致.透射谱表明AIN薄膜的禁带宽度大约为6.2eV;而其对应的吸收谱在6.2eV处存在一个明显的台阶,此台阶被认为是AIN薄膜中的带边自由激子吸收所产生,忽略激子的结合能(与禁带宽度相比),则该值就对应为AIN的禁带宽度.而其对应的不同温度下(10k^293k)的吸收谱的谱线的形状和位置无明显的变化表明温度对AIN薄膜的禁带宽度亦无明显的影响,这主要是由于在AIN薄膜中存在着应力所致.
关键词
AIN薄膜
透射谱
吸收谱
禁带带宽
自由激子
Keywords
AIN film
Transmittance spectrum
Absorption spectrum
The direct band-gap energy
Free exciton
分类号
O472 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
AlGaN肖特基势垒二极管的研制
被引量:
1
2
作者
邵庆辉
叶志镇
黄靖云
赵炳辉
江红星
林景瑜
机构
浙江
大学
硅材料国家重点实验室
堪萨斯州立大学物理系
出处
《浙江大学学报(工学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第10期1244-1247,共4页
基金
国家重大基础研究项目基金资助项目(G2000068306).
文摘
为研制适合高温高压下工作的整流器件,利用金属有机化学气相淀积(MOCVD)技术生长的AlGaN/GaN/蓝宝石材料,采用电子束蒸发的方法,用Au和Ti/Al分别作为肖特基接触和欧姆接触的电极,制备了AlGaN肖特基二极管,并对其工艺过程和器件特性进行了研究.IV测试表明该AlGaN肖特基二极管具有明显的整流特性和较高的反向击穿电压(95V),理想因子为1.93.经300℃1min退火,该器件正、反向IV特性都得到明显改善.采用变温IV法对Au/AlGaN接触的肖特基势垒高度进行了标定,其势垒高度高达1.08eV,更适合在高压、大电流条件下工作.
关键词
ALGAN
肖特基势垒二极管
势垒高度
Keywords
Annealing
Current voltage characteristics
Fabrication
Metallorganic chemical vapor deposition
Performance
Semiconducting aluminum compounds
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
类铍Ar^(14+)和类镁Ar^(6+)离子双激发态能级的计算
3
作者
陈信义
苟秉聪
陈政
机构
清华
大学物理
系
出处
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
1994年第1期14-18,共5页
基金
国家自然科学基金
文摘
用组态相互作用方法计算了类铍Ar14+离子双激发态1s23l3l'和类镁Ar6+离子双激发态1s22s22p64l4l'的能级。两个外层电子与内层原子实1s2或1s22s22s6电子的作用用模型势表示。Ar14+的双激发态可用量子数K,T和A标记,而Ar6+的某些组态却不能用上述量子数表示。
关键词
双激发态
类铍离子
类镁离子
能级
Keywords
doubly excited states, model potential, beryllium -like ion, magnesium-like ion.
分类号
O562.4 [理学—原子与分子物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氮化铝薄膜的光学性能
颜国君
陈光德
邱复生
Zhaoyan Fan
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
11
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
AlGaN肖特基势垒二极管的研制
邵庆辉
叶志镇
黄靖云
赵炳辉
江红星
林景瑜
《浙江大学学报(工学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
类铍Ar^(14+)和类镁Ar^(6+)离子双激发态能级的计算
陈信义
苟秉聪
陈政
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
1994
0
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职称材料
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