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紫外熔石英元件高精度低缺陷控形控性制造技术研究进展 被引量:4
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作者 石峰 舒勇 +4 位作者 宋辞 田野 铁贵鹏 薛帅 肖航 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期11-17,共7页
传统的紫外熔石英元件加工方法本身会引入各类制造缺陷,需要后期加工来消除前期加工带来的缺陷,限制了熔石英元件的加工质量和加工效率。针对这些问题,课题组提出了采用磁流变、离子束、保形光顺和流体动压抛光等可控柔体加工技术提升... 传统的紫外熔石英元件加工方法本身会引入各类制造缺陷,需要后期加工来消除前期加工带来的缺陷,限制了熔石英元件的加工质量和加工效率。针对这些问题,课题组提出了采用磁流变、离子束、保形光顺和流体动压抛光等可控柔体加工技术提升熔石英元件的加工效果,并开展了相关研究。主要介绍了课题组在关键技术上取得的重要进展,包括亚纳米精度表面控形制造技术、纳米精度本征表面控性生成方法、熔石英元件高精度低缺陷组合工艺与设备等一系列关键技术。通过探讨关键技术及其发展现状,为未来紫外熔石英元件高精度低缺陷制造技术的发展提供参考。 展开更多
关键词 熔石英元件 高精度 低缺陷 纳米精度 表面控形制造 本征表面
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复杂曲面铝反射镜超精密制造现状 被引量:7
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作者 徐超 彭小强 戴一帆 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第8期27-38,共12页
由于复杂曲面铝反射镜所具有的独特优势,其在光学系统中的应用越来越广泛。但是只采用超精密车削加工的光学反射镜精度受到超精密车削加工“误差复映”的限制,只能满足红外系统应用需求,其应用的进一步推广遭遇瓶颈。采用超精密车削、... 由于复杂曲面铝反射镜所具有的独特优势,其在光学系统中的应用越来越广泛。但是只采用超精密车削加工的光学反射镜精度受到超精密车削加工“误差复映”的限制,只能满足红外系统应用需求,其应用的进一步推广遭遇瓶颈。采用超精密车削、磁流变抛光、计算机控制表面成形(CCOS)的组合加工工艺,并结合复杂光学曲面的计算全息图法(CGH)面形检测技术,可以进一步提升铝反射镜的面形精度,满足可见光系统的应用需求,为复杂曲面铝合金反射镜的推广奠定了制造基础。 展开更多
关键词 复杂曲面 铝反射镜 超精密车削 抛光 计算全息图法(CGH)
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