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紫外熔石英元件高精度低缺陷控形控性制造技术研究进展
被引量:
4
1
作者
石峰
舒勇
+4 位作者
宋辞
田野
铁贵鹏
薛帅
肖航
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第3期11-17,共7页
传统的紫外熔石英元件加工方法本身会引入各类制造缺陷,需要后期加工来消除前期加工带来的缺陷,限制了熔石英元件的加工质量和加工效率。针对这些问题,课题组提出了采用磁流变、离子束、保形光顺和流体动压抛光等可控柔体加工技术提升...
传统的紫外熔石英元件加工方法本身会引入各类制造缺陷,需要后期加工来消除前期加工带来的缺陷,限制了熔石英元件的加工质量和加工效率。针对这些问题,课题组提出了采用磁流变、离子束、保形光顺和流体动压抛光等可控柔体加工技术提升熔石英元件的加工效果,并开展了相关研究。主要介绍了课题组在关键技术上取得的重要进展,包括亚纳米精度表面控形制造技术、纳米精度本征表面控性生成方法、熔石英元件高精度低缺陷组合工艺与设备等一系列关键技术。通过探讨关键技术及其发展现状,为未来紫外熔石英元件高精度低缺陷制造技术的发展提供参考。
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关键词
熔石英元件
高精度
低缺陷
纳米精度
表面控形制造
本征表面
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职称材料
复杂曲面铝反射镜超精密制造现状
被引量:
7
2
作者
徐超
彭小强
戴一帆
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第8期27-38,共12页
由于复杂曲面铝反射镜所具有的独特优势,其在光学系统中的应用越来越广泛。但是只采用超精密车削加工的光学反射镜精度受到超精密车削加工“误差复映”的限制,只能满足红外系统应用需求,其应用的进一步推广遭遇瓶颈。采用超精密车削、...
由于复杂曲面铝反射镜所具有的独特优势,其在光学系统中的应用越来越广泛。但是只采用超精密车削加工的光学反射镜精度受到超精密车削加工“误差复映”的限制,只能满足红外系统应用需求,其应用的进一步推广遭遇瓶颈。采用超精密车削、磁流变抛光、计算机控制表面成形(CCOS)的组合加工工艺,并结合复杂光学曲面的计算全息图法(CGH)面形检测技术,可以进一步提升铝反射镜的面形精度,满足可见光系统的应用需求,为复杂曲面铝合金反射镜的推广奠定了制造基础。
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关键词
复杂曲面
铝反射镜
超精密车削
抛光
计算全息图法(CGH)
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职称材料
题名
紫外熔石英元件高精度低缺陷控形控性制造技术研究进展
被引量:
4
1
作者
石峰
舒勇
宋辞
田野
铁贵鹏
薛帅
肖航
机构
国防科技大学
智能科学学院
国防科技大学装备综合保障国防科技重点实验室
湖南省超精密加工技术
重点
实验室
空军工程
大学
航空机务士官学校
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第3期11-17,共7页
基金
国家自然科学基金重点项目(51835013)
国家自然科学基金联合基金项目(U1801259)
国家自然科学基金面上项目(51675526)
文摘
传统的紫外熔石英元件加工方法本身会引入各类制造缺陷,需要后期加工来消除前期加工带来的缺陷,限制了熔石英元件的加工质量和加工效率。针对这些问题,课题组提出了采用磁流变、离子束、保形光顺和流体动压抛光等可控柔体加工技术提升熔石英元件的加工效果,并开展了相关研究。主要介绍了课题组在关键技术上取得的重要进展,包括亚纳米精度表面控形制造技术、纳米精度本征表面控性生成方法、熔石英元件高精度低缺陷组合工艺与设备等一系列关键技术。通过探讨关键技术及其发展现状,为未来紫外熔石英元件高精度低缺陷制造技术的发展提供参考。
关键词
熔石英元件
高精度
低缺陷
纳米精度
表面控形制造
本征表面
Keywords
fused silica components
high precision
few defects
nano-precision
surface controlled manufacturing
intrinsic surface
分类号
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
复杂曲面铝反射镜超精密制造现状
被引量:
7
2
作者
徐超
彭小强
戴一帆
机构
国防科技大学装备综合保障国防科技重点实验室
国防科技大学
智能科学学院
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第8期27-38,共12页
基金
国防基础科研科学挑战专题项目(TZ2018006)
国家自然科学基金重点项目(51835013)。
文摘
由于复杂曲面铝反射镜所具有的独特优势,其在光学系统中的应用越来越广泛。但是只采用超精密车削加工的光学反射镜精度受到超精密车削加工“误差复映”的限制,只能满足红外系统应用需求,其应用的进一步推广遭遇瓶颈。采用超精密车削、磁流变抛光、计算机控制表面成形(CCOS)的组合加工工艺,并结合复杂光学曲面的计算全息图法(CGH)面形检测技术,可以进一步提升铝反射镜的面形精度,满足可见光系统的应用需求,为复杂曲面铝合金反射镜的推广奠定了制造基础。
关键词
复杂曲面
铝反射镜
超精密车削
抛光
计算全息图法(CGH)
Keywords
complex curved surface
aluminum mirror
ultra-precision turning
polishing
computer-generated hologram(CGH)
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
紫外熔石英元件高精度低缺陷控形控性制造技术研究进展
石峰
舒勇
宋辞
田野
铁贵鹏
薛帅
肖航
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
复杂曲面铝反射镜超精密制造现状
徐超
彭小强
戴一帆
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020
7
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职称材料
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