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KDP光学零件超精密车削加工误差的频谱特性与控制
被引量：
5
1
作者
王贵林
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第2期159-164,共6页
超精密车削技术适于加工KDP(磷酸二氢钾)等频率转换类型的强光光学零件,但车削表面存在明显的加工纹理,导致抗激光损伤阈值降低。以加工表面误差幅值及其频谱分布为对象,分析了KDP光学零件超精密车削的加工特征和误差形态,采用功率谱密...
超精密车削技术适于加工KDP(磷酸二氢钾)等频率转换类型的强光光学零件,但车削表面存在明显的加工纹理,导致抗激光损伤阈值降低。以加工表面误差幅值及其频谱分布为对象,分析了KDP光学零件超精密车削的加工特征和误差形态,采用功率谱密度(PSD)评价方法研究了工艺参数与误差频谱的内在关系,结果表明:不同进给速度及主轴转速将使螺旋形刀痕的间距发生变化,进而影响KDP表面误差的频率成分;切削深度虽然对误差频谱影响很小,但会改变PSD的幅值;当主轴转速高于500r/min、进给速度小于2mm/min、切削深度小于2μm时能够加工出rms值优于20nm的KDP面形。在此基础上,以典型KDP光学零件加工为例,通过超精密补偿车削方法将低频误差的PSD控制在300nm2·mm以内,中高频误差的PSD控制到国家点火装置(NIF)标准线以下,满足强光系统的工作要求。
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关键词
光学制造
KDP
超精密车削
面形误差
功率谱密度(PSD)
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职称材料
铝合金表面的直接光学抛光实验
被引量：
13
2
作者
张艺
尹自强
尹国举
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期675-680,共6页
单点金刚石车削铝合金表面具有较好的表面质量和精度,但车削"纹路"会产生散射现象,难以满足高品质光学系统要求。对铝合金表面进行直接光学抛光可以去掉表面产生的车削"纹路",提高反射表面的光学性能,分析酸性条件...
单点金刚石车削铝合金表面具有较好的表面质量和精度,但车削"纹路"会产生散射现象,难以满足高品质光学系统要求。对铝合金表面进行直接光学抛光可以去掉表面产生的车削"纹路",提高反射表面的光学性能,分析酸性条件下和碱性条件下的铝镜抛光原理,采用新型抛光盘与抛光液对单点金刚石车削后铝合金表面进行抛光实验。实验结果表明:通过合理控制工艺参数,能够消除铝合金表面残留的周期性车削刀纹,并且不会产生新的表面划痕,得到较好的铝镜光学表面质量,测得的铝镜表面粗糙度Ra=2.6nm。
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关键词
铝合金表面
光学抛光
光学表面
新型抛光盘
抛光液
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职称材料
小特征尺寸连续位相板离子束修形的误差分析
被引量：
4
3
作者
徐明进
戴一帆
+1 位作者
解旭辉
周林
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期2975-2982,共8页
针对小特征尺寸连续位相板中频段成分分布广、误差梯度大的面形特点,分析了离子束修形技术加工连续位相板过程中影响加工精度的几种因素,包括扫描步距、材料去除方式、定位精度和材料去除量求解。分析指出:根据采样定理确定去除函数的...
针对小特征尺寸连续位相板中频段成分分布广、误差梯度大的面形特点,分析了离子束修形技术加工连续位相板过程中影响加工精度的几种因素,包括扫描步距、材料去除方式、定位精度和材料去除量求解。分析指出:根据采样定理确定去除函数的扫描步距可实现对不同尺寸特征单元的有效加工;进一步优化材料去除方式能够确保修形过程中驻留时间的平稳运行,实现全频段误差一致收敛。另外,采用面形匹配方法对测量误差进行校正实验,可获取准确的面形材料去除量;而采用提高去除函数定位精度的方法可显著提升小尺寸特征单元的加工精度。基于研究结果,在消除各种工艺误差的基础上,采用离子束修形技术对特征尺寸小至1.5mm,面形峰谷值小于200nm,面形梯度高至1.8μm/cm的连续位相板进行了高精度加工,结果显示:加工面形与理论面形的匹配精度达到8.1nm(RMS),证实了误差分析的准确性。
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关键词
连续位相板
离子束修形
误差分析
面形匹配
定位精度
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职称材料
题名
KDP光学零件超精密车削加工误差的频谱特性与控制
被引量：
5
1
作者
王贵林
机构
国防科技大学机电工程与自动化学院超精密加工技术湖南省重点实验室
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第2期159-164,共6页
基金
国家自然科学基金(51475466)
文摘
超精密车削技术适于加工KDP(磷酸二氢钾)等频率转换类型的强光光学零件,但车削表面存在明显的加工纹理,导致抗激光损伤阈值降低。以加工表面误差幅值及其频谱分布为对象,分析了KDP光学零件超精密车削的加工特征和误差形态,采用功率谱密度(PSD)评价方法研究了工艺参数与误差频谱的内在关系,结果表明:不同进给速度及主轴转速将使螺旋形刀痕的间距发生变化,进而影响KDP表面误差的频率成分;切削深度虽然对误差频谱影响很小,但会改变PSD的幅值;当主轴转速高于500r/min、进给速度小于2mm/min、切削深度小于2μm时能够加工出rms值优于20nm的KDP面形。在此基础上,以典型KDP光学零件加工为例,通过超精密补偿车削方法将低频误差的PSD控制在300nm2·mm以内,中高频误差的PSD控制到国家点火装置(NIF)标准线以下,满足强光系统的工作要求。
关键词
光学制造
KDP
超精密车削
面形误差
功率谱密度(PSD)
Keywords
optical manufacturing, KDP, ultra-precision turning, surface error, power spectral density （PSD）
分类号
TN205 [电子电信—物理电子学]
TH161.1 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
铝合金表面的直接光学抛光实验
被引量：
13
2
作者
张艺
尹自强
尹国举
机构
国防科技大学机电工程与自动化学院超精密加工技术湖南省重点实验室
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期675-680,共6页
文摘
单点金刚石车削铝合金表面具有较好的表面质量和精度,但车削"纹路"会产生散射现象,难以满足高品质光学系统要求。对铝合金表面进行直接光学抛光可以去掉表面产生的车削"纹路",提高反射表面的光学性能,分析酸性条件下和碱性条件下的铝镜抛光原理,采用新型抛光盘与抛光液对单点金刚石车削后铝合金表面进行抛光实验。实验结果表明:通过合理控制工艺参数,能够消除铝合金表面残留的周期性车削刀纹,并且不会产生新的表面划痕,得到较好的铝镜光学表面质量,测得的铝镜表面粗糙度Ra=2.6nm。
关键词
铝合金表面
光学抛光
光学表面
新型抛光盘
抛光液
Keywords
aluminum alloy surface
optical polishing
optical surface
new polishing disk
polishing solution
分类号
TG580.692 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
小特征尺寸连续位相板离子束修形的误差分析
被引量：
4
3
作者
徐明进
戴一帆
解旭辉
周林
机构
国防科技大学机电工程与自动化学院超精密加工技术湖南省重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期2975-2982,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.91323302)
文摘
针对小特征尺寸连续位相板中频段成分分布广、误差梯度大的面形特点,分析了离子束修形技术加工连续位相板过程中影响加工精度的几种因素,包括扫描步距、材料去除方式、定位精度和材料去除量求解。分析指出:根据采样定理确定去除函数的扫描步距可实现对不同尺寸特征单元的有效加工;进一步优化材料去除方式能够确保修形过程中驻留时间的平稳运行,实现全频段误差一致收敛。另外,采用面形匹配方法对测量误差进行校正实验,可获取准确的面形材料去除量;而采用提高去除函数定位精度的方法可显著提升小尺寸特征单元的加工精度。基于研究结果,在消除各种工艺误差的基础上,采用离子束修形技术对特征尺寸小至1.5mm,面形峰谷值小于200nm,面形梯度高至1.8μm/cm的连续位相板进行了高精度加工,结果显示:加工面形与理论面形的匹配精度达到8.1nm(RMS),证实了误差分析的准确性。
关键词
连续位相板
离子束修形
误差分析
面形匹配
定位精度
Keywords
Continuous Phase Plate （CPP）
ion beam figuring
error analysis
surface matching
posi-tioning precision
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
KDP光学零件超精密车削加工误差的频谱特性与控制
王贵林
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2017
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
铝合金表面的直接光学抛光实验
张艺
尹自强
尹国举
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2014
13
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
小特征尺寸连续位相板离子束修形的误差分析
徐明进
戴一帆
解旭辉
周林
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
4
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职称材料
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