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用于高真空测量的MEMS谐振式真空计研制及性能研究
1
作者
王呈祥
侯占强
+1 位作者
肖定邦
吴学忠
《真空与低温》
2022年第4期425-431,共7页
为实现高真空测量仪表的小型化,研制了一种双质量块结构的MEMS谐振式真空计。真空计物理部分与专用ASIC电路集成,采用交流电压驱动、电容检测技术,通过监测输出电压变化反演压力值。简要介绍了真空计的测量原理,研究了真空计的交流驱动...
为实现高真空测量仪表的小型化,研制了一种双质量块结构的MEMS谐振式真空计。真空计物理部分与专用ASIC电路集成,采用交流电压驱动、电容检测技术,通过监测输出电压变化反演压力值。简要介绍了真空计的测量原理,研究了真空计的交流驱动电压与输出电压、频率之间的关系,探索了合适的交流驱动电压,实现了10^(-4)~10^(-1) Pa区间的压力测量和优于1×10^(-6) Pa的测量分辨率。由于体积小,该真空计在微小真空腔体泄露阈值告警、气体泄漏监测等领域具有广阔的应用前景。
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关键词
MEMS
谐振式
高真空测量
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职称材料
环形谐振式传感器及其真空气体阻尼特性研究
2
作者
王呈祥
李青松
+3 位作者
吴锴
王鑫宇
肖定邦
吴学忠
《真空与低温》
2025年第3期336-342,共7页
环形谐振式传感器在不同压力下的阻尼损耗存在显著差异,可通过品质因数测量表征压力。介绍了一种环形谐振式传感器,分析了其真空气体阻尼特性并验证了其用于压力测量的可行性。构建了环形谐振式传感器的气体阻尼损耗模型,分析了品质因...
环形谐振式传感器在不同压力下的阻尼损耗存在显著差异,可通过品质因数测量表征压力。介绍了一种环形谐振式传感器,分析了其真空气体阻尼特性并验证了其用于压力测量的可行性。构建了环形谐振式传感器的气体阻尼损耗模型,分析了品质因数损耗来源、谐振器结构尺寸对气体阻尼的影响,设计并加工了基于熔融石英材料的环形谐振式传感器样机,进行了压力测量。测量结果表明,环形谐振式传感器线性测量范围为0.1~130 Pa,分辨力优于0.01 Pa。
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关键词
环形谐振器
熔融石英
真空
气体阻尼
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职称材料
题名
用于高真空测量的MEMS谐振式真空计研制及性能研究
1
作者
王呈祥
侯占强
肖定邦
吴学忠
机构
国防科技大学智能科学学院湖南省mems工程技术中心
出处
《真空与低温》
2022年第4期425-431,共7页
基金
国家重点研发计划项目(2018YFB2002300)。
文摘
为实现高真空测量仪表的小型化,研制了一种双质量块结构的MEMS谐振式真空计。真空计物理部分与专用ASIC电路集成,采用交流电压驱动、电容检测技术,通过监测输出电压变化反演压力值。简要介绍了真空计的测量原理,研究了真空计的交流驱动电压与输出电压、频率之间的关系,探索了合适的交流驱动电压,实现了10^(-4)~10^(-1) Pa区间的压力测量和优于1×10^(-6) Pa的测量分辨率。由于体积小,该真空计在微小真空腔体泄露阈值告警、气体泄漏监测等领域具有广阔的应用前景。
关键词
MEMS
谐振式
高真空测量
Keywords
MEMS
resonant sensor
high vacuum measurement
分类号
TB772 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
环形谐振式传感器及其真空气体阻尼特性研究
2
作者
王呈祥
李青松
吴锴
王鑫宇
肖定邦
吴学忠
机构
国防科技大学智能科学学院湖南省mems工程技术中心
出处
《真空与低温》
2025年第3期336-342,共7页
基金
自然科学基金区域创新发展联合基金(U21A201733)。
文摘
环形谐振式传感器在不同压力下的阻尼损耗存在显著差异,可通过品质因数测量表征压力。介绍了一种环形谐振式传感器,分析了其真空气体阻尼特性并验证了其用于压力测量的可行性。构建了环形谐振式传感器的气体阻尼损耗模型,分析了品质因数损耗来源、谐振器结构尺寸对气体阻尼的影响,设计并加工了基于熔融石英材料的环形谐振式传感器样机,进行了压力测量。测量结果表明,环形谐振式传感器线性测量范围为0.1~130 Pa,分辨力优于0.01 Pa。
关键词
环形谐振器
熔融石英
真空
气体阻尼
Keywords
ring resonator
fused silica
vacuum
gas damping
分类号
TB771 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
用于高真空测量的MEMS谐振式真空计研制及性能研究
王呈祥
侯占强
肖定邦
吴学忠
《真空与低温》
2022
0
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职称材料
2
环形谐振式传感器及其真空气体阻尼特性研究
王呈祥
李青松
吴锴
王鑫宇
肖定邦
吴学忠
《真空与低温》
2025
0
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职称材料
已选择
0
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参考文献
引证文献
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