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CF_(3)SO_(2)F气体与Al(111)表面相容性及其分解特性模拟
1
作者 陈兴发 郑宇 +2 位作者 任书波 肖亚鹏 郝东昕 《绝缘材料》 北大核心 2025年第2期66-75,共10页
基于密度泛函理论研究CF_(3)SO_(2)F气体分子在Al(111)表面的吸附作用及其分解机理。通过计算CF_(3)SO_(2)F气体分子在Al(111)表面的吸附能、电荷转移、差分电荷密度、电子定域化函数(ELF)和态密度等数据,对二者之间的相容性进行理论分... 基于密度泛函理论研究CF_(3)SO_(2)F气体分子在Al(111)表面的吸附作用及其分解机理。通过计算CF_(3)SO_(2)F气体分子在Al(111)表面的吸附能、电荷转移、差分电荷密度、电子定域化函数(ELF)和态密度等数据,对二者之间的相容性进行理论分析。进一步建立CF_(3)SO_(2)F气体的分解路径理论计算模型,计算CF_(3)SO_(2)F气体在不同分解路径下的自由能,通过过渡态分析得到CF_(3)SO_(2)F气体主要的分解产物。结果表明:CF_(3)SO_(2)F气体在正常工况下与Al(111)表面具有良好的相容性,相互作用表现为物理吸附,CF_(3)SO_(2)F气体的典型分解气体产物主要包括CF_(4)和SO_(2)。研究结果可为评估新型环保绝缘气体CF_(3)SO_(2)F的气-固相容性及稳定性提供理论参考。 展开更多
关键词 CF_(3)SO_(2)F气体 Al(111)表面 密度泛函理论 气固相容性 分解特性
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